JPH01186711A - 超電導物質線材およびその製造方法 - Google Patents
超電導物質線材およびその製造方法Info
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- JPH01186711A JPH01186711A JP63006169A JP616988A JPH01186711A JP H01186711 A JPH01186711 A JP H01186711A JP 63006169 A JP63006169 A JP 63006169A JP 616988 A JP616988 A JP 616988A JP H01186711 A JPH01186711 A JP H01186711A
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、酸化物超電導物質を素材とする大型電磁石
用のコイル、送電線等の超電導線材、およびその製造方
法に関する。
用のコイル、送電線等の超電導線材、およびその製造方
法に関する。
（従来の技術）
ＲｘＢｙＣｕ−−ｙ−ＪＯ□なる組成の酸化物超電導物
質（例えば、ＹＢａ＊Ｃｕ５Ｏｑ４ ）は、高い超電導
遷移温度（Ｔ ｃ ）をもつことが知られており、これ
を線材にする試みがなされている。しかし、この物質の
粉末を銅あるいは銀のパイプに詰めて線引きする従来の
方法で得、られる線材は、臨界電流密度（Ｊｃ）がたか
だか１０００ Ａ／ｃ■ｚ程度と低く、エネルギー分野
への実用化には程遠い、また、磁気的および熱的な安定
性の改善には直径数μ−程度の細線化が必要であるが、
酸化物特有の難加工性のために細線化には限界がある。
質（例えば、ＹＢａ＊Ｃｕ５Ｏｑ４ ）は、高い超電導
遷移温度（Ｔ ｃ ）をもつことが知られており、これ
を線材にする試みがなされている。しかし、この物質の
粉末を銅あるいは銀のパイプに詰めて線引きする従来の
方法で得、られる線材は、臨界電流密度（Ｊｃ）がたか
だか１０００ Ａ／ｃ■ｚ程度と低く、エネルギー分野
への実用化には程遠い、また、磁気的および熱的な安定
性の改善には直径数μ−程度の細線化が必要であるが、
酸化物特有の難加工性のために細線化には限界がある。
酸化物の超電導物質には電子の流れに異方性があること
が知られており、ペロブスカイト型酸化物超電導物質で
は結晶のＣ軸方向に電流が流れにくく、Ｃ軸に垂直な方
向には電流が流れやすい。
が知られており、ペロブスカイト型酸化物超電導物質で
は結晶のＣ軸方向に電流が流れにくく、Ｃ軸に垂直な方
向には電流が流れやすい。
このことは、ＹＢａｘＣｕ！Ｏｔ＊、の単結晶を用いた
実験によって確かめられている（ Ｊａｐａｎｅｓｅ
Ｊｏｕｒｎａｌｏｆ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ
、Ｖｏｌ、２６ （１９８７）、Ｌ７２６ ）。
実験によって確かめられている（ Ｊａｐａｎｅｓｅ
Ｊｏｕｒｎａｌｏｆ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ
、Ｖｏｌ、２６ （１９８７）、Ｌ７２６ ）。
従って、もしペロブスカイト型酸化物超電導物質のＣ軸
が線材の長手方向と直角の方向にそろった線材ができれ
ば、その臨界電流密度は大きくなる筈である。しかし、
銅などの鞘（パイプ）に酸化物の焼結粒子を詰めて、こ
れを線引きする方法では、超電導物質の結晶方位はラン
ダムになり、上記のように結晶方位のそろった線材は得
られない。
が線材の長手方向と直角の方向にそろった線材ができれ
ば、その臨界電流密度は大きくなる筈である。しかし、
銅などの鞘（パイプ）に酸化物の焼結粒子を詰めて、こ
れを線引きする方法では、超電導物質の結晶方位はラン
ダムになり、上記のように結晶方位のそろった線材は得
られない。
一方、スパッタリング蒸着法によって酸化物系超電導物
質の結晶膜をセラミック基板上にＣ軸が基板面に垂直方
向に優先配向するように成長させることが知られている
（ Ｊａｐａｎｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ八へｐｌ
ｊｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ、Ｖｏｌ、２６（１９８７）
、 Ｌ１２２１ ） 、 また、本出願人は、
この蒸着法による超電導物質被覆材の改良された製造方
法について先に特許出願をした。（昭和６２年１２月２
４日出ＩＪＩ ’）（発明が解決しようとする課題） 本発明は、臨界電流密度が高く線径の小さな超電導線材
を提供すること、およびスパッタリング法などの超電導
物質被覆材の製法と圧延その他の線材の製造方法を結合
した上記線材の新しい製造方法を提供すること、を目的
とする。
質の結晶膜をセラミック基板上にＣ軸が基板面に垂直方
向に優先配向するように成長させることが知られている
（ Ｊａｐａｎｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ八へｐｌ
ｊｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ、Ｖｏｌ、２６（１９８７）
、 Ｌ１２２１ ） 、 また、本出願人は、
この蒸着法による超電導物質被覆材の改良された製造方
法について先に特許出願をした。（昭和６２年１２月２
４日出ＩＪＩ ’）（発明が解決しようとする課題） 本発明は、臨界電流密度が高く線径の小さな超電導線材
を提供すること、およびスパッタリング法などの超電導
物質被覆材の製法と圧延その他の線材の製造方法を結合
した上記線材の新しい製造方法を提供すること、を目的
とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、下記の超電導物質線材およびその製造方法を
要旨とする。
要旨とする。
（１） ＲｘＢｖＣｕ＊−ｙ−Ｊｏｇ型酸化物超電導
物質と金属、またはＲＸ Ｂ ｖｃｕｘ＊ｖ−Ｇｏ ｚ
型酸化物超電導物質と他の酸化物と金属とから成る線材
であって、前記酸化物超電導物質の結晶のＣ軸が線材の
長さ方向に対して垂直方向に優先成長してなることを特
徴とする超電導物質線材。
物質と金属、またはＲＸ Ｂ ｖｃｕｘ＊ｖ−Ｇｏ ｚ
型酸化物超電導物質と他の酸化物と金属とから成る線材
であって、前記酸化物超電導物質の結晶のＣ軸が線材の
長さ方向に対して垂直方向に優先成長してなることを特
徴とする超電導物質線材。
（２） Ｒ，ＢｙＣｕ＊−ｙ４ＪＯｘ型酸化物超電導
物質の結晶のＣ軸が金属基板または上記以外の酸化物で
被覆された金属基板の表面の垂直方向に優先成長してな
る板状の素材を線状に巻くことを特徴とする超電導物質
線材の製造方法。
物質の結晶のＣ軸が金属基板または上記以外の酸化物で
被覆された金属基板の表面の垂直方向に優先成長してな
る板状の素材を線状に巻くことを特徴とする超電導物質
線材の製造方法。
（３）上記（２）で得た線材を更に圧延または／および
引き抜きして、より細い線材とする方法。
引き抜きして、より細い線材とする方法。
上記（１）、（２）のＲｇ Ｂ ｙｃｕｘ＋ｙ＋Ｊｏ
２の組成式において、ＲはＹ、 Ｅｕ、 Ｇｄ、 Ｔｂ
、口ｙ、 ［！ｒ、 Ｗｂのいずれかを示し、ＢはＳｒ
またはＨａを示す。
２の組成式において、ＲはＹ、 Ｅｕ、 Ｇｄ、 Ｔｂ
、口ｙ、 ［！ｒ、 Ｗｂのいずれかを示し、ＢはＳｒ
またはＨａを示す。
第１図は、本発明の超電導線材の製造工程を模式的に示
したものである。この図にそって本発明方法を工程順に
説明する。
したものである。この図にそって本発明方法を工程順に
説明する。
■ 薄膜状の超電導被覆材を作る工程
金属基板１、例えば厚さ１０〜１００μ鴇程度の銀の薄
板の上に下記のような条件でスパッタリングによってＲ
真Ｂ ｙｃｕｘ＊ｙＪｏ ２の膜（厚み２〜１０ｕｒｓ
程度）をつける、このとき、基板としては、第１図のＡ
”のように金属薄板の上にＭｇＯ或いは５ｒＴｉ（ｈの
ような酸化物層３をもつものとしてもよい、このような
酸化物層を設ければ、基板の金属としてＲｘＢａｖｃｕ
、。１．ＳＯ□型酸型物化物応を起こしやすい金属、例
えばＹＢａｇＣｕｌＯｔ４と反応しやすい銅、を使用し
ても、酸化物層３がその反応を抑制するから、材料選定
の自由度が増す。
板の上に下記のような条件でスパッタリングによってＲ
真Ｂ ｙｃｕｘ＊ｙＪｏ ２の膜（厚み２〜１０ｕｒｓ
程度）をつける、このとき、基板としては、第１図のＡ
”のように金属薄板の上にＭｇＯ或いは５ｒＴｉ（ｈの
ような酸化物層３をもつものとしてもよい、このような
酸化物層を設ければ、基板の金属としてＲｘＢａｖｃｕ
、。１．ＳＯ□型酸型物化物応を起こしやすい金属、例
えばＹＢａｇＣｕｌＯｔ４と反応しやすい銅、を使用し
ても、酸化物層３がその反応を抑制するから、材料選定
の自由度が増す。
上記のような基板上に酸化物超電導物質の層を形成させ
るスパッタリングの条件を例示すれば下記のとおりであ
る。
るスパッタリングの条件を例示すれば下記のとおりであ
る。
方式： ２極スパツタリング
電圧：１．５にＶ
雰囲気＝Ａｒガス分圧０．０３〜０．０５ Ｔｏｒｒ。
＋酸素ガス分圧０．０３〜０．０５ Ｔｏｒｒ。
陰極ＣＲｘＢａｖＣｕｗｈｖＪＯｚ焼結体）と陽極（基
［） との間隔：５ｃ醜 基板温度： ＹＢａｘＣｕｓＯｙＪを形成する場合５
００℃以上 ＹＳｒｔＣｕｓＯｙ−ｒを形成する場合４５０℃以上 上記のような条件によって、第１図ＡまたはＡ′に示す
超電導物質ＲＸ Ｂ ｙＣｕ□ｙ＊ｊｏ！の結晶２のＣ
軸を基板表面に対して垂直方向に優先成長させる。
［） との間隔：５ｃ醜 基板温度： ＹＢａｘＣｕｓＯｙＪを形成する場合５
００℃以上 ＹＳｒｔＣｕｓＯｙ−ｒを形成する場合４５０℃以上 上記のような条件によって、第１図ＡまたはＡ′に示す
超電導物質ＲＸ Ｂ ｙＣｕ□ｙ＊ｊｏ！の結晶２のＣ
軸を基板表面に対して垂直方向に優先成長させる。
なお、金属薄板の上にＭｇＯ層をもつ基板を使用する場
合は、本発明者らの一人が発明した前記先願の方法、即
ち、＜１００＞方向が基板面の垂直方向に対して傾斜し
ているＭＪＩＯ結晶を用いる方法、を採用するのが望ま
しい。
合は、本発明者らの一人が発明した前記先願の方法、即
ち、＜１００＞方向が基板面の垂直方向に対して傾斜し
ているＭＪＩＯ結晶を用いる方法、を採用するのが望ま
しい。
■線状に巻く工程
第１図ＡまたはＡｏに示すような表面に超電導酸化物膜
が形成された板状の素材を巻いて同図Ｂに示すような線
にする。圧延してテープ状の製品にする場合には、Ｂか
ら更にＣのように平板状に成形するか、またはＡ （Ａ
’）から直接Ｃの形状にする。薄い銀のような金属基板
を用いる限り、酸化物層の剥離や結晶方位の乱れもな（
容易に線材にすることができる。なお、本発明では、上
記の平板状およびテープ状も含めて「線状」と総称する
ことにする。
が形成された板状の素材を巻いて同図Ｂに示すような線
にする。圧延してテープ状の製品にする場合には、Ｂか
ら更にＣのように平板状に成形するか、またはＡ （Ａ
’）から直接Ｃの形状にする。薄い銀のような金属基板
を用いる限り、酸化物層の剥離や結晶方位の乱れもな（
容易に線材にすることができる。なお、本発明では、上
記の平板状およびテープ状も含めて「線状」と総称する
ことにする。
■圧延、引き抜きの工程
第１図Ｂ、Ｃのままでも超電導線材として利用できるが
、通常はこれを更に圧延または／および引き抜きして細
線にする。超電導線材の実用化に当たっては、電流のオ
ン−オフ時の磁束移動による超電導状態の破壊を避ける
ためには、数μ−径の線材にしなければならない、一般
に酸化物系超電導材は、他のセラミックスと同様に加工
性が悪く、細線化はきわめて難しい、しかし、本発明の
方法によれば、比較的容易に数μ−径の細線または数μ
−厚のテープが得られる。
、通常はこれを更に圧延または／および引き抜きして細
線にする。超電導線材の実用化に当たっては、電流のオ
ン−オフ時の磁束移動による超電導状態の破壊を避ける
ためには、数μ−径の線材にしなければならない、一般
に酸化物系超電導材は、他のセラミックスと同様に加工
性が悪く、細線化はきわめて難しい、しかし、本発明の
方法によれば、比較的容易に数μ−径の細線または数μ
−厚のテープが得られる。
従来の方法では、金属の管に酸化物超電導体の粉末を詰
め、これを圧延または引き抜きするのであるが、この粉
末充填に手間がかかるだけでなく、管の径を小さくする
のにも限界がある。これに対して、本発明の方法では、
例えば１ＯｕＩｌというような極めて薄い金属板に前記
のように酸化物超電導体を被着しているので、これを巻
いたり、圧延、引き抜きの加工を施すのも容易である。
め、これを圧延または引き抜きするのであるが、この粉
末充填に手間がかかるだけでなく、管の径を小さくする
のにも限界がある。これに対して、本発明の方法では、
例えば１ＯｕＩｌというような極めて薄い金属板に前記
のように酸化物超電導体を被着しているので、これを巻
いたり、圧延、引き抜きの加工を施すのも容易である。
こうして得られた本発明の線材では、第１図のＢでも分
かるように、超電導物質の結晶のＣ軸が線材の長手方向
に対して垂直方向にそろっている。
かるように、超電導物質の結晶のＣ軸が線材の長手方向
に対して垂直方向にそろっている。
言い換えれば、線材の長手方向が電流の流れやすい方向
になっている。圧延または引き抜きの加工で、酸化物超
電導体の結晶粒が壊れて小さな結晶粒になるが、その場
合でもＣ軸の優先配向は保たれる。従って、この線材は
、従来の超電導物質の結晶方向がランダムな線材に較べ
て、著しく高い臨界電流密度を示すのである。
になっている。圧延または引き抜きの加工で、酸化物超
電導体の結晶粒が壊れて小さな結晶粒になるが、その場
合でもＣ軸の優先配向は保たれる。従って、この線材は
、従来の超電導物質の結晶方向がランダムな線材に較べ
て、著しく高い臨界電流密度を示すのである。
また、本発明の超電導線材は、その断面は金属薄板と超
電導物質薄膜の積層構造になっているから、一部で超電
導状態が破れて熱が発生しても、その熱は金属薄板を通
して容易に放出される。
電導物質薄膜の積層構造になっているから、一部で超電
導状態が破れて熱が発生しても、その熱は金属薄板を通
して容易に放出される。
（実施例１）
厚さ０．１ａ＋ｍの銀を基板として、下記の条件でＤＣ
スパッタリングにより厚みｌＯμ−のＹＢａｔＣｕｓＯ
ｔ−Ｊ膜を蒸着して板状素材を得た。
スパッタリングにより厚みｌＯμ−のＹＢａｔＣｕｓＯ
ｔ−Ｊ膜を蒸着して板状素材を得た。
スバ・・ １ン
雰囲気 ：アルゴン分圧 ０．０５Ｔｏｒｒ。
＋酸素分圧０．０５ Ｔｏｒｒ。
ターゲント（陰極） ： ＹＢａｔＣｕ３０ｙ−Ｊ焼
結体またはＹＳｒｚ（：ｕ２０７−Ｊ焼結体放電電圧：
１．５ＫＶ 陽極−陰極間隔：５ｃｍ 基板温度：６００″に うして得た素材を第２図に示すように平板状に厚さ（ｔ
）１＋ｗｍ、幅（ｗ）５ａ＋ｍ、長さ（ｊ！ ） １１
００ｖになるよう１０層に巻き、冷間圧延によって厚さ
０．３ａ＋ｗのテープに成形してその超電導遷移温度（
Ｔ ｃ ）を調べた。その結果を第３図に示す。
結体またはＹＳｒｚ（：ｕ２０７−Ｊ焼結体放電電圧：
１．５ＫＶ 陽極−陰極間隔：５ｃｍ 基板温度：６００″に うして得た素材を第２図に示すように平板状に厚さ（ｔ
）１＋ｗｍ、幅（ｗ）５ａ＋ｍ、長さ（ｊ！ ） １１
００ｖになるよう１０層に巻き、冷間圧延によって厚さ
０．３ａ＋ｗのテープに成形してその超電導遷移温度（
Ｔ ｃ ）を調べた。その結果を第３図に示す。
（実施例２）
基板として０．１ｍｍのＣｕＯ上に１０μｍのｌ１ｇｏ
皮膜をもつ薄板を使用し、実施例１と同様にＹＢａｌＣ
ｕｓＯ？−５またはＹ Ｓｒ、Ｃｕｓ Ｏｔ−１を１０
μ−の厚さに蒸着し、実施例１と同じ条件で板状素材か
ら厚さ０．３ ｎｕ＋のテープを得た。その超電導遷移
温度（Ｔｃ）の測定結果を第４図に示す。
皮膜をもつ薄板を使用し、実施例１と同様にＹＢａｌＣ
ｕｓＯ？−５またはＹ Ｓｒ、Ｃｕｓ Ｏｔ−１を１０
μ−の厚さに蒸着し、実施例１と同じ条件で板状素材か
ら厚さ０．３ ｎｕ＋のテープを得た。その超電導遷移
温度（Ｔｃ）の測定結果を第４図に示す。
（比較例）
従来の製造方法と同様に、外径６ｍ−のＹＢａｔＣｕｓ
Ｏ１４とＹＳｒｔＣｕｓＯｙ−Ｊの焼結体をそれぞれ外
径１０ａｓ、内径６１の銀パイプに詰め、冷間で伸線を
行い、外径３−の線材を作製した。
Ｏ１４とＹＳｒｔＣｕｓＯｙ−Ｊの焼結体をそれぞれ外
径１０ａｓ、内径６１の銀パイプに詰め、冷間で伸線を
行い、外径３−の線材を作製した。
こうして得られた線材と、前記実施例１．２で得た線材
について、７７ Ｋでの臨界電流密度を測定した。その
結果を第１表に示す。
について、７７ Ｋでの臨界電流密度を測定した。その
結果を第１表に示す。
第１表
（発明の効果）
実施例の結果から明らかなとおり、本発明の超電導物質
線材は、ＲＸ Ｂ ｙｃｕ＊＊ｙ＋Ｊ Ｏｚ本来のＴｃ
を維持しながら、臨界電流密度は従来の製法によるもの
よりもはるかに高い。
線材は、ＲＸ Ｂ ｙｃｕ＊＊ｙ＋Ｊ Ｏｚ本来のＴｃ
を維持しながら、臨界電流密度は従来の製法によるもの
よりもはるかに高い。
本発明は上記のような高性能の超電導線材とその優れた
製造方法を提供し、酸化物系超電導物質の実用化を促進
するものである。
製造方法を提供し、酸化物系超電導物質の実用化を促進
するものである。
第１図は、本発明の超電導物質線材の製造工程を模式的
に示す図、 第２図は、本発明の実施例で製造した線材の概略斜視図
、 第３図および第４図は、本発明の実施例で得た線材の超
電導遷移温度の測定結果を示す図、である。
に示す図、 第２図は、本発明の実施例で製造した線材の概略斜視図
、 第３図および第４図は、本発明の実施例で得た線材の超
電導遷移温度の測定結果を示す図、である。
Claims (3)
- （１）Ｒ＿ＸＢ＿ＹＣｕ＿Ｘ＿＋＿Ｙ＿＋＿δＯ＿Ｚ型
酸化物超電導物質と金属、またはＲ＿ＸＢ＿ＹＣｕ＿Ｘ
＿＋＿Ｙ＿＋＿δＯ＿Ｚ型酸化物超電導物質と他の酸化
物と金属とから成る線材であって、前記酸化物超電導物
質の結晶のＣ軸が線材の長さ方向に対して垂直方向に優
先成長してなることを特徴とする超電導物質線材。 ただし、ＲはＹ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｅｒ、Ｙｂ
のいずれかであり、ＢはＳｒまたはＢａである。 - （２）Ｒ＿ＸＢ＿ＹＣｕ＿Ｘ＿＋＿Ｙ＿＋＿δＯ＿Ｚ型
酸化物超電導物質の結晶のＣ軸が金属基板または上記以
外の酸化物で被覆された金属基板の表面の垂直方向に優
先成長してなる板状の素材を線状に巻くことを特徴とす
る超電導物質線材の製造方法。 ただし、ＲはＹ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｂｒ、Ｙｂ
のいずれかであり、ＢはＳｒまたはＢａである。 - （３）線状に巻いた後、更に圧延若しくは引き抜き、ま
たはその両者の加工を施す特許請求の範囲第２項記載の
超電導物質線材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63006169A JPH01186711A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | 超電導物質線材およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63006169A JPH01186711A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | 超電導物質線材およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01186711A true JPH01186711A (ja) | 1989-07-26 |
Family
ID=11631040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63006169A Pending JPH01186711A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | 超電導物質線材およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01186711A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04104409A (ja) * | 1990-08-22 | 1992-04-06 | Hitachi Ltd | 酸化物超電導体および酸化物超電導線ならびに超電導コイル |
-
1988
- 1988-01-14 JP JP63006169A patent/JPH01186711A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04104409A (ja) * | 1990-08-22 | 1992-04-06 | Hitachi Ltd | 酸化物超電導体および酸化物超電導線ならびに超電導コイル |
| US5798312A (en) * | 1990-08-22 | 1998-08-25 | Hitachi, Ltd. | Elongate superconductor elements comprising oxide superconductors, superconducting coils and methods of making such elements |
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