JPH01168723A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は感光性樹脂組成物に関し、更に詳しくは印刷配
線板製造、金属精密加工等に使用し得る保護膜形成用の
感光性樹脂組成物に関する。

（従来の技術） 従来、印刷配線板業界において、ソルダマスク。

化学めっき用レジスト等に使用可能な優れた特性を有す
る感光性樹脂組成物が知られている。ソルダマスクの主
な目的は、はんだ付は時のはんだ付は領域を限定し、は
んだブリッジ等を防ぐこと。

裸の銅導体の腐食を防止することおよび長期にわたって
導体間の電気絶縁性を保持することである。

通常ソルダマスクとしては、エポキシ樹脂、アミノプラ
スト樹脂等の熱硬化性樹脂を主成分とする印刷マスクが
用いられる。

しかし、近年、印刷配線板の配線密度が高まり。

また導体間の電気絶縁性の要求も厳しくなり、それに用
いるソルダマスクも厚膜で寸法精度の優れたものが要求
されるようになり、スクリーン印刷方式のものでは対処
できなくなっている。

そこで写真法（像状露光に続く現像により画像を形成す
る方法）で厚膜（通常導体上２５μｍが望まれている）
で、かつ寸法精度の優れた高信頼性のソルダマスクを形
成する感光性樹脂組成物の出現が望まれている。

従来、ソルダマスク形成用感光性樹脂組成物としては、
アクリル系ポリマおよび光重合性モノマを主成分とする
感光性樹脂組成物（特開昭５３−５６０１８号公報、特
開昭５４−１０１８号公報等）が知られている。

しかしながら、これらの感光性樹脂組成物にはフィルム
性付与のためアクリル系ポリマを多量に使用しているた
め、硬化皮膜の耐熱性が十分でないという欠点がある。

一方、耐熱性の良好な感光性樹脂組成物として主鎖にカ
ルコン基を有する感光性エポキシ樹脂およびエポキシ樹
脂硬化剤を主成分とする組成物（特開昭５４−８２０７
３号公報、特開昭５８−６２６３６号公報等）が提案さ
れている。しかし。

これら光二量化型感光性樹脂組成物は感度が低いため厚
膜のレジスト形成が困難であり、更に現像液としてシク
ロヘキサノン等の可燃性有機溶剤を使用する必要がある
ため安全上も好ましくない。

厚膜硬化可能なソルダマスク形成用感光性樹脂組成物と
しては、エポキシ基を含有するノボラック型エポキシア
クリレートおよび光重合開始剤を主成分とする組成物（
特開昭６１−２７２号公報等）が提案されている。これ
らの組成物は耐熱性も優れ有用であるが、現像液として
１．１．１−　トリクロルエタン／低級アルコール混合
液を用いる必要があり、現像液管理に問題がある。また
１、　１．１−トリクロルエタンの使用は地下水汚染の
恐れがあり、環境保全上好ましくない。

安全性および経済性に優れたアルカリ水溶液で現像可能
なソルダマスク形成用感光性樹脂組成物としてはカルボ
キシル基含有ポリマ、単量体、光重合開始剤および熱硬
化性樹脂を主成分とする組成物（特開昭４８−７３１４
８号公報、特開昭５７−１７８２３７号公報、特開昭５
８−４２０４０号公報、特開昭５９−１５１１５２号公
報等）が知られている。これら組成物では熱硬化性樹脂
として、エポキシ樹脂、メラミン樹脂。

尿素樹脂等が用いられ、トリグリシジルイソシアヌレー
ト等、有機溶剤に不溶性のエポキシ樹脂を分散使用する
例も開示されている。しかし、これらの組成物は解像度
、耐溶剤性、吸湿時の半田耐熱性等の特性が必ずしも充
分とはいえない。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明の目的は、前記の従来技術の欠点を除去し、安全
性および経剤性に優れたアルカリ水溶液により現像でき
、かつ解像度および吸湿時の半田耐熱にも優れた高信頼
性ソルダマスクを形成することのできる感光性樹脂組成
物を提供することにある。

（問題点を解決するための手段） 本発明は ｔａ＞　　アルカリ水溶液に可溶性であり、かつ水に不
溶性である高分子結合剤 （ｂ）トリグリシジルイソシアヌレートと不飽和基含有
モノカルボン酸とを酸当量／エポキシ当量（ｃ）　　末
端エチレン基を少なくとも２個有する光重合可能な不飽
和化合物 （ｄ）　　アミノ樹脂 並びに Ｔｅ）　　活性光線の照射により遊離ラジカルを生成す
る増感剤および／または増感剤系を含有してなる感光性
樹脂組成物に関する。

本発明になる感光性樹脂組成物は、必須成分（ａ）とし
てアルカリ水溶液に可溶性であプ、かつ水に不溶性であ
る高分子結合剤を含有する。このような高分子結合剤は
既に公知であシ、カルボキシル基、無水カルボン酸基、
スルホン酸基、スルホンアミド基等のアルカル可溶性付
与基を有する高分子結合剤が使用される。これらは例え
ば特開昭５９−１５１１５２号公報、特開昭５８−４２
０４０号公報、特開昭４８−７３１４８号公報等に記載
される。

好ましい高分子結合剤としては例えばメタクリル酸、ア
クリル酸、イタコン酸、クロトン酸、無水マレイン酸か
らなる群から選ばれる不飽和基を１個有するカルボン酸
または酸無水物とビニル単量体との共重合体をあげるこ
とができる。

共重合されるビニル単量体の例としてはメタクリル酸メ
チル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸メチル、アクリ
ル酸ブチル、２−エチルへキシルメタクリレート、２−
エチルへキシルアクリレート、α−メチルスチレン、ビ
ニルトルエン、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、
２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、テトラフルオ
ロプロピルアクリレート、テトラヒドロフルフリルメタ
クリレート、トリブロモフェニルメタクリレート。

２．３ジブロモプロピルメタクリレート、アクリルアミ
ド、アクリロニトリル、ブタジェン等をあげることがで
きる。

特に好ましい高分子結合剤の例としては、メチルメタク
リレート／エチルアクリレート／メタクリル酸共重合体
、メチルメタクリレート／エチルアクリレート／アクリ
ル酸共重合体、メチルメタクリレート／メタクリル酸ブ
チル／２−ヒドロキシエチルアクリレート／メタクリル
酸ブチル／メタクリル酸共重合体、メチルメタクリレー
ト／トリブロモフェニルアクリレート／メタクリル酸共
重合体等をあげることができる。これらの高分子結合剤
はカルボキシル基含有量が２０〜５０モルチであること
が好ましい。

本発明になる感光性樹脂組成物は必須成分（ｂ）として
、トリグリシジルイソシアヌレートと不飽和基含有モノ
カルボン酸とを酸当量／エポキシ当量比を０．３〜０．
９の範囲として付加反応させて得られるエポキシ基含有
不飽和化合物を含有する。トリグリシジルイソシアヌレ
ートは公知の化合物であり、商業的にも入手可能であり
９例えば日量化学工業■が製造販売しているＴＥＰＩＣ
−８，’［’ＥＰＩＣ−Ｇ、ＴＥＰＩＣ−７等を使用す
ることができる。不飽和基含有モノカルボン酸としては
、アクリル酸。

メタクリル酸等が用いられる。

本発明において、トリグリシジルイソシアヌレートと不
飽和基含有モノカルボン酸との付加反応は酸当量／エポ
キシ当量比を０．３〜０．９の範囲として常法により行
なわれる。酸当量／エポキシ当量比が０．３未満ではイ
メージ露光後の現像処理により光硬化被膜が膨潤しやす
く、また酸当量／エポキシ当量比が０．９を超える場合
には、密着性。

半田耐熱性等の特性が低下する。

本発明において、特に好ましいエポキシ含有不飽和化合
物としてはトリグリシジルイソシアヌレートとアクリル
酸との付加反応物（酸当量／エポキシ当量比０．４〜０
．７）、）リグリシジルイソシアヌレートとメタクリル
酸との付加反応物（酸当量／エポキシ当量比０．３〜０
．７）等を挙げ得る。

本発明の感光性樹脂組成物は末端エチレン基を少なくと
も２個有する光重合可能な不飽和化合物を必須成分（ｃ
）として含有する。

この不飽和化合物としては２例えばトリメチロールプロ
パン、トリメチロールエタン、ペンタエリスリトール、
ジペンタエリスリトール、１．３−ブチレングリコール
、１．４−ブチレングリコール。

１．５−ペンタジオール、ポリカプロラクトンジオール
、ポリプロピレングリコール、デカメチレングリコール
、グリセリン、ネオペンチルグリコール、ス２−ビスＣ
４，４’　（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕フロ
パン、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌル酸
等の多価アルコールとアクリル酸またはメタクリル酸と
のエステル、無水フタル酸−ジエチレングリコール−ア
クリル酸（１／２／２のモル比）網金物オトリメチロー
ルプロパンーテトラヒドロ無水フタル酸−アクリル酸（
２／１／４のモル比）縮合物等の末端にアクリロイルオ
キシ基および（または）メタクリロイルオキシ基を有す
る低分子ポリエステル樹脂などが挙げられる。特公昭５
２−４３０９２号公報等に記載されるジオールモノアク
リレートまたはジオールモノメタクリレートとジイソシ
アネートとの反応生成物、特開昭５７−５５９１４号公
報等に記載されるジオールモノアクリレート／２価フル
コール／トリメチルへキサメチレンジイソシアナート反
応物、インシアナートエチルメタクリレート／水（２／
１モル比）反応物、１．６ヘキサンジオールジアクリレ
ート／モノエタノールアミン（３７２モル比）反応物等
を用いることもできる。

本発明の感光性樹脂組成物はアミノ樹脂を必須成分（ｄ
）として含有する。

本発明においてアミン樹脂とはメラミン、尿素。

べ／ゾグアナミン等のアミノ基含有化合物にアルデヒド
を反応させて得られる初期縮合物であり。

例としてはトリメチロールメラミン、テトラメチロール
メラミン、ヘキサメチａ−ルメラミン、ヘキサメトキシ
メチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン、　Ｎ
、Ｎジメチロール、尿素、三井東圧すイメル社製メラミ
ン樹脂（サイメル３００゜サイノル３０１．サイメル３
０３．サイメル３２５゜サイノル３５０等）日立化成工
業■製メラミン樹脂（フラン５２３．メラン６２３．メ
ラン２０００等）９日立化成工業■製尿素樹脂（フラン
１８等）。

日立化成工業■製ペンゾグアナ之ン樹脂（フラン３６２
Ａ等）等が挙げられる。特に好ましい例としてはへキサ
メトキシメチルメラミン、サイメル３００、サイノル３
０１．サイメル３０３．サイメル３２５．サイノル３５
０．メラン５２３などがある。

本発明の感光性樹脂組成物は活性光の照射により遊離ラ
ジカルを生成する増感剤および／または増感剤系を必須
成分（ｃ）として含有する。

増感剤としては、置換または非置換の多核キノン類ｓ　
例１ｉｉ’ｔ　　２−エチルアントラキノン、２−ｔ−
ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、
１．２−ベンズアントラキノン、２３−ジフェニルアン
トラキノン等、ジアセチルベンジル等のケトアルドニル
化合物、ベンゾイン、ヒバロン等のα−ケタルドニルア
ルコール類およびエーテル類、α−炭化水素置換芳香族
アシロイン類。

例、ｔ　ハα−フェニル−ベンゾイン、α、α−ジェト
キシアセトフェノン等、ベンゾフェノン、４．４’−ビ
スジアルキルアミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン類
、２メチルチオキサｙトン、２．４−ジエチルチオキサ
ントン、２−クロルチオキサントン、ａ−イングロビル
チオキサントン、２−エチルチオキサント７等のチオキ
サントン類、２−メチル−１−（：４−（メチルチオ）
フェニルツー２−モルホリノ−プロパノン−１が用いら
れ、これらは単独でも組み合わせて使用してもよい。

増感剤系としては９例えば２．４．５−　）　ＩＪアリ
ルイミダゾールニ量体と２−メルカプトベンゾキナゾー
ル、Ｉ：！イコクリスタルバイオレット、トリス（４−
ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）メタン等との組
み合わせが用いられる。またそれ自体で光開始性はない
が、前記物質と組み合わせて用いることにより全体とし
て光開始性能のよシ良好な増感剤系となるような添加剤
９例えば、ベンゾフェノンに対するトリエタノールアミ
ン等の３級アミン、チオキサントン類に対するジメチル
アミノ安息香酸イソアミル、Ｎ−メチルジエタールアミ
ン、ビスエチルアミノベンゾフェノン等を用いることも
できる。

本発明の感光性樹脂組成物は、上記の高分子結合剤（ａ
）　１００重量部に対し、上記のエポキシ含有不飽和化
合物（ｂ）を２５〜１９０重量部、上記の光重合可能な
不飽和化合物（ｃ１を２５〜１９０重量部。

アミノ樹脂（ｄ）を１０〜６０重量部、増感剤および／
または増感剤系（ｅ）を０．１〜４０重量部の範囲で用
いることが、解像度、半田耐熱性および耐煮沸性に優れ
たソルダマスクを形成する上で好ましい。

更に本発明の感光性樹脂組成物は微粒状充填剤を含有し
てもよい。

微粒状充填剤としては９例えばタルク、シリカ。

酸化チタン、クレイ、炭酸カルシウム、含水珪酸。

水酸化アルミニウム、アルミナ、硫酸バリウム。

三酸化アンチモン、炭酸マグネシウム、マイカ粉。

珪酸アルミニウム、珪酸マグネシウム等が用いられる。

微粒状充填剤の粒径は、解偉度、硬化被膜の密着性等の
低下防止の点から、好ましくは０．０１〜１０μｍ、よ
り好ましくは０．０１〜１．５μｍである。微粒状充填
剤は感光性樹脂組成物中に均一に分散されていることが
好ましい。充填剤と前記光重合性不飽和化合物との間の
接着力を増すために、充填剤の表面を、水酸基、アミノ
基、エポキシ基、ビニル基等の官能基を有するシランカ
ップリング剤で処理することもできる。シランカップリ
ング剤としては９例えばγ−アミノプロピルトリエトキ
シシラン、β−アミノエチル−ｒ−アミノプロピルトリ
メトキシシラン、Ｔ−グリシドオキシプロビルトリメト
キシシラン、ｒ−メタアクリロキシプロピルトリメトキ
シシラン等が挙げられる。

更に本発明になる感光性樹脂組成物は他の副次的成分を
含有していてもよい。副次的成分としては、ｐ−メトキ
シフェノール等の熱重合防止剤。

ベンゾトリアゾール、５−アミノ−１，＆４−チアジア
ゾールー２−チオール、５−メルカプト−ＩＨ−１，Ｚ
４−トリアゾール等の密着性向上剤、フタロシアニング
リーン等の顔料、三酸化アンチそン等の難燃剤、エポキ
シ樹脂の潜在性硬化剤等が挙げられる。

本発明の感光性樹脂組成物はデイツプコート法。

フローコート法、スクリーン印刷法等の常法により、加
工保護すべき基板上に直接塗工し、厚さ１０〜１５０μ
ｍの感光層を容易に形成することができる。塗工にあた
り、必要ならば組成物を溶剤に溶解させて行なうことも
できる。溶剤としてハ、　例エバメチルエチルケトン、
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテ
ート、シクロヘキサノン、メチルセロソルブ、プロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート、塩化メチ
レン、プロピレングリコールモノメチルエーテル等を挙
げることができる。

こうして形成された感光層の露光および現像は常法によ
り行なわれる。すなわち、光源として超高圧水銀灯、高
圧水銀灯等を用い、感光性樹脂組成物の層上に直接また
はポリエチレンテレフタレートフィルム等の透明フィル
ムを介し、ネガマスクを通して像的に露光する。露光後
透明フィルムが残っている場合には、これを剥離した後
現像する。

現俸処理に用いられる現像液としてはアルカリ水溶液が
用いられ、その塩基としては、リン酸ナトリウム、リン
酸カリウム等のアルカリ金属リン酸塩、炭酸ナトリウム
等のアルカリ金属炭酸塩等が例示でき、特に炭酸す）　
ＩＪウムの水溶液が好ましい。

上記の方法で得られた像的な保護被膜は９通常のエツチ
ング、めっき等のための耐食膜としての特性を持ってい
るが、現像後に８０〜２００℃で加熱処理を行なうこと
により、密着性、耐熱性。

耐溶剤等の特性を向上でき、ソルダマスクとしての特性
を満足する永久的な保護膜が得られる。

（発明の効果） 本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより。

安全性および経済性に優れたアルカリ水溶液により現像
でき、かつ解像度および吸湿時の耐熱性にも優れた高信
頼性ソルダマスクを形成することができる。しかも本発
明の感光性樹脂組成物を用いれば、写真法により厚膜の
ソルダマスクを形成することもできる。

また１本発明の感光性樹脂組成物を用いて得られる保護
被膜は塩化メチレン、メタノール、トリクレン、メチル
エチルケトン、イソプロピルアルコール、トルエン等の
有機溶剤に十分耐え、酸性水溶液にも耐える。さらにこ
の保護被膜は耐熱性や耐冷熱衝撃性等の機械的特性にも
優れているため、ソルダマスク等の永久的な保護膜とし
て充分な特性を有するものである。

さらに本発明の感光性樹脂組成物を用いて得られる保護
被膜は、優れた化学的および物理的特性を有し、このた
め多層印刷配線板の眉間絶縁層。

感光性接着剤、塗料、プラスチックレリーフ、印刷版材
料、金属精密加工材料等にも使用することができる。

（実施例） 本発明の詳細な説明する。実施例中の部は重量部を意味
する。

実施例１ ＋８）　　エポキシ基含有不飽和化合物（ｂ）の合成り
、アクリル酸　　　　　　　　　　　４８０部ｐ−メト
キシフェノール　　　　　　　１部温度計、攪拌装置、
冷却管および滴下器の付いた加熱および冷却可能な２１
の反応器に、前記入を加え、攪拌しながら１４０℃に昇
温し、均一に溶解させた後、１１０℃に冷却し９反応温
度を１１０℃に保ちながら１時間かけて均一にＢを滴下
した。Ｂの滴下後、１１０℃で約７時間攪拌を続は反応
系の酸価を１以下にした後、Ｃを添加し。

不揮発分７５重量％のトリグリシジルイソシアヌレート
／アクリル酸（酸当量／エポキシ当量比＝２／３）系エ
ポキシ基含有不飽和化合物の溶液（Ｉ）を得た。

（ｂ）　　感光性樹脂組成物の調製 （ａ）で得られたエポキシ基含有不飽和化合物の溶液（
Ｉ）３６部（不揮発分２７部）１日立化成工業■製ＦＡ
７３１Ａ（（２−ヒドロキシエチル）インシアヌール酸
トリアクリレート）３５部、ヘキサメトキシメチルメラ
ミン１０部、メタクリル酸メチル／アクリル酸ｎ−ブチ
ル／メタクリル酸（７０７５／２５重量比）共重合体（
分子量約８万、カルボキシル基金有量２７モル係）３５
部、２−メチル−１−（４−（メチルチオ）フェニル〕
−２−モルホリノ−プロペン−１，８部、４．４’ビス
ジエチルアミノペンゾフエノン０．８部、５−アミノ−
１，３，４−チアジアゾール−２−チオール０．１部及
ヒプロピレングリコールモノメチルエーテル２３０部を
配合し、均一に攪拌溶解して本発明の感光性樹脂組成物
の溶液を調製した。

（ｃ）　　硬化被膜の形成 （ｂ）で得られた感光性樹脂組成物の溶液を、銅張り積
層板上に塗布し、室温で２０分、８０’Ｃで２０分間乾
燥し、厚さ４０μｍの感光層を形成した。次いでネガマ
スクを通してオーク製作所■製。

フェニックス３００ｏ型露光機を用い、４００ｍＪ／♂
で露光した。露光後８０℃で５分間加熱し。

常温で３０分放置した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を
用いて、３０℃で６０秒間スプレー現像し。

直ちに６０秒間スプレ水洗した。次いで１５０℃で３０
分間加熱処理して、ネガマスクに相応する寸法精度の優
れたソルダマスクを得た。このソルダマスクは吸湿後の
半田耐熱性に優れ、沸騰水に１時間浸漬後、ロジン系フ
ラックＡ−２２６（タムラ化研■製）を用いて２６０℃
で６０秒間半田処理してもマスクの剥れ、フクレは認め
られなかった。またこのソルダマスクは耐溶剤性にも優
れ。

塩化メチレン／メタノール（３部１重量比）混合溶剤に
２５℃で１０分間浸漬しても被膜の膨潤や剥れは認めら
れなかった。

実施例２ （ａ）　　エポキシ基含有不飽和化合物（ｂｌの合成り
、メタクリル酸　　　　　　　　　４３０部ｐ−メトキ
シフェノール　　　　　　　１部Ｃ６プロピレングリコ
ールモノメチル　　　４９４部エーテルアセテート Ａ−Ｃを用い、その他は実施例１（ａ）と同様にして、
不揮発分７５重量％のトリグリシジルイソシアヌレート
／メタクリル酸（酸当量／エポキシ肖量比＝０．５）系
エポキシ基含有不飽和化合物の溶液（Ｉｌｌを得た。

（ｂｌ　　感光性樹脂組成物の調製 （ａ）で得られたエポキシ基含有不飽和化合物の溶液（
Ｉｆ）２６部（不揮発分２０部）、トリメチルへキサメ
チレンジイソシアナート／２−ヒドロキシエチルアクリ
レート（１／２モル比）反応物３０部。

ヘキサメトキシメラミン５部、メタクリル酸メチル／テ
トラヒドロフルフリルメタクリレート／２−ヒドロキシ
エチルメタクリレート／メタクリル酸（５８／１０／７
／２５重量比）共重合体（分子量約５万、カルボキシル
基含有量２９モルチ）４０部、２−メチル−１−〔４−
（メチルチオ）フェニルシー２−モルホリノ−プロペン
−１，８部、２，４ジメチルチオキサントン０．８部、
５−アミノ−１，＆４−チアジアゾールー２−チオール
０．１部及びプロピレングリコールモノメチルエーテル
２４０部を攪拌溶解して９本発明の感光性樹脂組成物の
溶液を調製した。以下実施例１（ｃ）と同様にして、耐
熱性に優れた硬化被膜が得られた。

実施例３ （ａｌ　　エポキシ基含有不飽和化合物（ｂ）の合成Ａ
、ＴＥＰＩＣ−８１０５０部 Ｂ、アクリル酸　　　　　　　　　　　１４４部メタク
リル酸　　　　　　　　　１７２部ｐ−メトキシフェノ
ール　　　　　　１部Ａ−Ｃを用い、その他は実施例１
（ａ）と同様にして、不揮発分７５重量％のトリグリシ
ジルイソシアヌレート／アクリル酸／メタクリル酸系（
酸当量／エポキシ当量比０．３）エポキシ含有不飽和化
合物の溶液（ＩＩ［）を得た。

（ｂｌ　　感光性樹脂組成物の調製 （ａ）で得られたエポキシ基含有不飽和化合物の溶液（
ＩＩｎ１３．４部（不揮発分１０部）、ペンタエリスリ
トールトリアクリレート２０部、トリメチルへキサメチ
レンジイソシアナート／ジプロピレングリコール／２−
ヒドロキシエチルアクリレート（１１０，２／１．６モ
ル比）反応物２０部、サイメル３２５（三井東圧すイメ
ル社製メラミン樹脂）１０部、メタクリル酸メチル／ア
クリル酸ブチル／メタクリル酸（６０／２０／２’Ｏ重
量比）共重合体（分子量約８万、カルボキシル基含有量
２４モル％）４０部、２メチル−（４−（メチルチオ）
フェニル）−２−モルホリノ−プロペン−１，８部、Ｚ
４ジメチルチオキサントン０．８部、５−アミノ−１，
１４−チアジアゾール−２−チオール０．１部及ヒプロ
ピレ／グリコールモノメチルエーテル２５０部を攪拌溶
解して９本発明の感光性樹脂組成物を得た。

以下、実施例１（ｃ）と同様にして、耐熱性に優れた硬
化被膜が得られた。

実施例４ メタクリル酸メチル／トリブロモフェニルアクリレート
／２−ヒドロキシエチルメタクリレート／メタクリル酸
（６４／１０１５／２１重量比）共重合体（分子量約３
万、カルボキシル基含有量２０モル％　’）　３５部ヲ
７”ロピレングリコールモノメチルエーテル８０部、キ
シレン４０部に溶解シ。

これに三酸化アンチモン２部、ミクロエースＰ−４（日
本タルク製タルク、平均粒径１８５μｍ）１０部および
フタロシアニングリーン１部を配合し。

三本ロールを用いてフィラー分散液を調製した。

次に、実施例１（ａ）で得られたエポキシ基含有不飽和
化合物の溶液ば）３６部（不揮発分２７部）。

ＦＡ７３１Ａ　２０部、メラン５２３　１０部、２−メ
チル−１−（：４−（メチルチオ）フェニルシー２−モ
ルホリノ−プロペン−１，８部、４．４′−ビスジエチ
ルアミノベンゾフェノン０．８部およびプロピレングリ
コールモノメチルエーテル２０部を攪拌溶解し２次いで
上記フィラー分散液１６７部を配合し、攪拌分散して９
本発明の感光性樹脂組成物を得た。以下、実施例１（ａ
）と同様にして、耐熱性に優れた硬化被膜が得られた。

（発明の効果） 本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより。

写真法による厚膜の１偉形成が可能であり、またアルカ
リ水溶液を用いて、解像度および耐熱性に優れた高信頼
性のソルダマスクを形成することができる。

“、さ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. １．（ａ）アルカリ水溶液に可溶性であり，かつ水に不
   溶性である高分子結合剤 （ｂ）トリグリシジルイソシアヌレートと不飽和基含有
   モノカルボン酸とを酸当量／エポキシ当量比を０．３〜
   ０．９の範囲として付加反応させて得られるエポキシ基
   含有不飽和化合物 （ｃ）末端エチレン基を少なくとも２個有する光重合可
   能な不飽和化合物 （ｄ）アミノ樹脂 並びに （ｅ）活性光線の照射により遊離ラジカルを生成する増
   感剤および／または増感剤系を含有してなる感光性樹脂
   組成物。
2. ２．アルカリ水溶液に可溶性であり，かつ水に不溶性で
   ある高分子結合剤がメタクリル酸，アクリル酸，イタコ
   ン酸，クロトン酸および無水マレイン酸からなる群から
   選ばれるカルボン酸または酸無水物とビニル単量体との
   共重合体である特許請求の範囲第１項記載の感光性樹脂
   組成物。
3. ３．アミノ樹脂がメラミン樹脂である特許請求の範囲第
   １項または第２項記載の感光性樹脂組成物。
4. ４．アミノ樹脂がヘキサメトキシメチルメラミンである
   特許請求の範囲第１項または第２項記載の感光性樹脂組
   成物。
5. ５．（ａ）アルカリ水溶液に可溶性であり，かつ水に不
   溶性である高分子結合剤を１００重量部（ｂ）トリグリ
   シジルイソシアヌレートと不飽和基含有モノカルボン酸
   とを酸当量／エポキシ当量比を０．３〜０．９の範囲と
   して付加反応させて得られるエポキシ基含有不飽和化合
   物を２５−１９０重量部 （ｃ）末端エチレン基を少なくとも２個有する光重合可
   能な不飽和化合物を２５−１９０重量部（ｄ）アミノ樹
   脂を１０−６０重量部 並びに （ｅ）活性光線の照射により遊離ラジカルを生成する増
   感剤および／または増感剤系を０．１−４０重量部 とした特許請求の範囲第１項，第２項，第３項または第
   ４項記載の感光性樹脂組成物。