JPH01166504A - 感湿セラミック組成物 - Google Patents

感湿セラミック組成物

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JPH01166504A
JPH01166504A JP62324926A JP32492687A JPH01166504A JP H01166504 A JPH01166504 A JP H01166504A JP 62324926 A JP62324926 A JP 62324926A JP 32492687 A JP32492687 A JP 32492687A JP H01166504 A JPH01166504 A JP H01166504A
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達也 鈴木
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行雄 坂部
Yasunobu Yoneda
康信 米田
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Murata Manufacturing Co Ltd
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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は感湿セラミック組成物に関し、特にたとえば
湿度センサなどの材料として用いられる感湿セラミック
組成物に関する。
、 (従来技術) 従来の感湿セラミック組成物としては、たとえばM g
 −Cr −T i系、Zn−Cr−Li系およびV−
Ti系などの感湿セラミック組成物がある。
これらの感湿セラミック組成物を用いて湿度センサが形
成される。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、従来の感湿セラミック組成物を用いた湿
度センサでは、100℃以下の低温度域では良好な感度
を得ることができるが、高温度域では十分な感度を得る
ことができない。そのため、このような湿度センサをた
とえば電子レンジなどのような高温度域で絶対湿度を検
知することが要求される機器に使用する場合、その要求
を満たすことができなかった。また、従来の感湿セラミ
ック組成物を用いた湿度センサでは、その特性の経時変
化が大きく、このような湿度センサを実用化する上で問
題があった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、高温度域で感度
が良く、かつ特性の経時変化の小さい湿度センサを得る
ことができる、感湿セラミック組成物を提供することで
ある。
(問題点を解決するための手段) この発明は、80〜99.5モル%のABI−。
CX03(ただし、AはCa、SrおよびBaの中から
選ばれる少なくとも1種類、BはCeおよびZrの中か
ら選ばれる少なくとも1種類、Cはアクチノイドを除(
I[[a族の元素およびInの中から選ばれる少なくと
も1種類)と、0.5〜20モル%のA ’ B ’ 
+−y Dy Ox  (ただし、A′はCa、Srお
よびBaの中から選ばれる少なくとも1種類、B′はC
eおよびZrの中から選ばれる少なくとも1種類、Dは
TaおよびNbの中から選ばれる少なくとも1種類)と
を含み、Xが0≦X≦0.3の範囲にあり、yが0.4
≦y≦0.6の範囲にある、感湿セラミック組成物であ
、る。
(発明の効果) この発明によれば、高温度域でも絶対湿度を高感度で検
知することができ、かつその特性の経時変化の小さい湿
度センサを得ることができる。したがって、このような
感湿セラミック組成物を用いた湿度センサを電子レンジ
、オープンおよび食器乾燥機などの機器に使用すること
ができる。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、以下の実施例の詳細な説明から一層明らかとなろう
(実施例) その一般式がAB、□C,O,+およびA’B’1−y
 D、 O,で表される組成物において、表に示す組成
が得られるように原料となる金属酸化物を調合し、ボー
ルミルで湿式混合することによって2種類の混合物を得
た。これらの混合物を蒸発乾燥した後、1200℃で仮
焼し粉砕して粉砕物を得た。
得られた2種類の粉砕物を表に示す割合で混合し、酢酸
ビニル系樹脂を10重量%加えて約2゜Otonの圧力
で直径Low、厚み1.0mの円板状に成型し成型物を
得た。この成型物を空気中において1350℃で2時間
焼結し焼結物を得た。
この焼結物に白金電極を形成し感湿素子サンプルを得た
これらの感湿素子サンプルを用いて、Ht =10’p
pm(重量比)の水蒸気を含む雰囲気中における抵抗値
RHIおよびH,=10’ ppm  (重量比)の水
蒸気を含む雰囲気中における抵抗値RM2を測定した。
そして、次式から検温感度Sを算出した。
R,、=R工z (Hl /Hz ) −’そして、こ
の測定結果を表に示した。
また、500℃の雰囲気中において、99.9モル%の
B aZ r o、qoYo、tooxと0.1モル%
のB a Ceo、s N bo、s Osとを用いた
サンプルおよび95モル%のBaZr、0.oYo、+
oOzと5モル%のT3 a Ceo、s N bo、
s Osとを用いたサンプルの抵抗値の経時変化を図に
示した。
なお、試料番号4のようにXが0.30より大きいか試
料番号6のようにA’B’、、D、O。
の添加量が20モル%より大きい場合、その検温感度が
小さくなる。
また、yが0.40より小さいかyが0.60より大き
い場合、またはA’B’1−、Dy03の添加量が0.
5モル%より小さい場合、図に示すように、抵抗値の経
時変化が大きくなる。
それに対して、この発明の組成物を用いた感湿素子サン
プルでは、高温度域で絶対湿度を高感度で検知すること
ができ、かつその抵抗値の経時変化も小さい。したがっ
て、電子レンジなどの高温度域で湿度を検知する必要の
ある機器にこの感湿セラミック組成物を用いた湿度セン
サを使用することができる。
【図面の簡単な説明】
図はこの発明の実施例の組成物およびこの発明の範囲外
の組成物を用いた感湿素子サンプルの抵抗値の経時変化
を示すグラフである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  80〜99.5モル%のAB_1_−_xC_xO_
    3(ただし、AはCa,SrおよびBaの中から選ばれ
    る少なくとも1種類、BはCeおよびZrの中から選ば
    れる少なくとも1種類、Cはアクチノイドを除くIIIa
    族の元素およびInの中から選ばれる少なくとも1種類
    )と、 0.5〜20モル%のA′B′_1_−_yD_yO_
    3(ただし、A′はCa,SrおよびBaの中から選ば
    れる少なくとも1種類、B′はCeおよびZrの中から
    選ばれる少なくとも1種類、DはTaおよびNbの中か
    ら選ばれる少なくとも1種類)とを含み、 xが0≦x≦0.3の範囲にあり、yが0.4≦y≦0
    .6の範囲にある、感湿セラミック組成物。
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