JPS59155102A - 感湿素子 - Google Patents
感湿素子Info
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- JPS59155102A JPS59155102A JP58029723A JP2972383A JPS59155102A JP S59155102 A JPS59155102 A JP S59155102A JP 58029723 A JP58029723 A JP 58029723A JP 2972383 A JP2972383 A JP 2972383A JP S59155102 A JPS59155102 A JP S59155102A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は感湿素子に関する。
大気中の湿度を測定、検出する感湿素子（湿度センサ）
は、これまでに極めて多数の方式が提案され、かつ実用
化されている。特に、近年は電気的に直接湿度を検出で
きる方式の湿度センサが種々提案されている。この湿度
センサは湿度の検出のみならず、湿度の制御をも簡便に
電気的信号で処理できる特長を有するために注目されて
いる。
は、これまでに極めて多数の方式が提案され、かつ実用
化されている。特に、近年は電気的に直接湿度を検出で
きる方式の湿度センサが種々提案されている。この湿度
センサは湿度の検出のみならず、湿度の制御をも簡便に
電気的信号で処理できる特長を有するために注目されて
いる。
ところで、上述した湿度センサは大気中の湿度を測定す
るために、大気中の水分を感湿素子の表面に物理吸着さ
せ、電気的抵抗値を読みとるものが一般的である。こう
した湿度センサの感湿素体としては、従来、高分子物質
、金属酸化物の焼結体、或いは基板上に金属酸化物を焼
付けたものが用いられている。
るために、大気中の水分を感湿素子の表面に物理吸着さ
せ、電気的抵抗値を読みとるものが一般的である。こう
した湿度センサの感湿素体としては、従来、高分子物質
、金属酸化物の焼結体、或いは基板上に金属酸化物を焼
付けたものが用いられている。
しかしながら、高分子物質を感湿素体とした湿度センナ
は低湿度領域での抵抗値がＩＭＱ乃至１０ｙＩＱ以上と
極めて大きくなるため、通常の電気的検出回路では容易
に湿度を検出できず、精度も極めて悪くまるという欠点
があった。
は低湿度領域での抵抗値がＩＭＱ乃至１０ｙＩＱ以上と
極めて大きくなるため、通常の電気的検出回路では容易
に湿度を検出できず、精度も極めて悪くまるという欠点
があった。
また、金属酸化物を感湿素体とした湿度センサは初期の
感度が優れているものの、いずれも長期間の使用におい
ては抵抗値の変化が大きいという欠点があった。この点
を克服するために金属酸化物の焼結体よシなる湿度セン
サにヒータを付設し、湿度測定前に一時的に感湿素体を
加熱し、高温状態にして感湿素体面を再生した後に湿度
を検出するものも知られている。つまシ、金属酸化物か
らなる感湿素体の熱安定性を利用し、湿度を検出する直
前に高温にすることによシ感湿素体を初期状態に戻して
再現性を確保している。しかしながら、かかる湿度セン
サでは、湿度検出直前に加熱を行なう必要があるために
、連続的な湿度検出は不可能である。しかも、ヒータや
ヒータ制御回路という複雑な機構が必要となシ、コスト
高の一因となる。
感度が優れているものの、いずれも長期間の使用におい
ては抵抗値の変化が大きいという欠点があった。この点
を克服するために金属酸化物の焼結体よシなる湿度セン
サにヒータを付設し、湿度測定前に一時的に感湿素体を
加熱し、高温状態にして感湿素体面を再生した後に湿度
を検出するものも知られている。つまシ、金属酸化物か
らなる感湿素体の熱安定性を利用し、湿度を検出する直
前に高温にすることによシ感湿素体を初期状態に戻して
再現性を確保している。しかしながら、かかる湿度セン
サでは、湿度検出直前に加熱を行なう必要があるために
、連続的な湿度検出は不可能である。しかも、ヒータや
ヒータ制御回路という複雑な機構が必要となシ、コスト
高の一因となる。
このようなことから、最近、湿度センサとし”’（Ｚｎ
０８５〜９９ モル％、ＬｉＺｒＶＯ４０，５〜、１０
モル係及びＣｒ２Ｏ５−）−Ｆｅ２Ｏ３０，５〜５モル
係の組成の金属酸化物からなる感湿素体を用いたもの（
特開昭５６−４２０４号）が開発されている。この湿度
センサはヒータ等の再生処理なしで通常の環境条件（０
〜４０℃、３０〜９０−％ＲＨ） テ長期間に亘って安
定的に、しかも低い抵抗値で使用できるものであシ、エ
アコンや加湿器における湿度制御には充分適用できる。
０８５〜９９ モル％、ＬｉＺｒＶＯ４０，５〜、１０
モル係及びＣｒ２Ｏ５−）−Ｆｅ２Ｏ３０，５〜５モル
係の組成の金属酸化物からなる感湿素体を用いたもの（
特開昭５６−４２０４号）が開発されている。この湿度
センサはヒータ等の再生処理なしで通常の環境条件（０
〜４０℃、３０〜９０−％ＲＨ） テ長期間に亘って安
定的に、しかも低い抵抗値で使用できるものであシ、エ
アコンや加湿器における湿度制御には充分適用できる。
しかしながら、かかる湿度センサは高温条件で使用する
と、必ずしも充分な経時特性、再現性を得られない場合
があった。
と、必ずしも充分な経時特性、再現性を得られない場合
があった。
本発明は高温条件下で長時間使用しても抵抗値変化はほ
とんど生じずに安定に使用でき、かつ広範囲の湿度領域
においても使い易い電気的抵抗値を有する感湿素子を提
供しようとするものである。
とんど生じずに安定に使用でき、かつ広範囲の湿度領域
においても使い易い電気的抵抗値を有する感湿素子を提
供しようとするものである。
本発明はＣｒ２Ｏ５２１〜７３モル％、ＺｎＯ及びＭｇ
Ｏのうちの少なくとも１種２５〜５５モル獣Ｃｕ００．
５〜８．０モル％、Ｌ１２００．５〜８．０モル係、ｖ
２ｏ５ ｏ、 ５〜８．０モル係を必須成分とした焼結
体からなる感湿素子である。こうした感湿素子は例えば
周囲温度２５℃、相対湿度３０チの場合では約５００ｋ
Ｑ１同温度で相対湿度９０チの場合では約１０にΩ、と
広範囲な湿度領域において使い易い抵抗値を持ち、しか
も８５℃という高温条件下に長期間放置しても経時変化
が小さく高信頼性を有するものである。このように本発
明の感湿素子が優れた特性を有するのは、Ｃｒ２Ｏ３１
ＺｎＯ（又はＺｎＯとＭｇＯ、ＭｇＯ単独）の結晶性粒
子の粒界にこれらＣｒ２Ｏ５やＺｎＯ等の少量のＣｕｂ
。
Ｏのうちの少なくとも１種２５〜５５モル獣Ｃｕ００．
５〜８．０モル％、Ｌ１２００．５〜８．０モル係、ｖ
２ｏ５ ｏ、 ５〜８．０モル係を必須成分とした焼結
体からなる感湿素子である。こうした感湿素子は例えば
周囲温度２５℃、相対湿度３０チの場合では約５００ｋ
Ｑ１同温度で相対湿度９０チの場合では約１０にΩ、と
広範囲な湿度領域において使い易い抵抗値を持ち、しか
も８５℃という高温条件下に長期間放置しても経時変化
が小さく高信頼性を有するものである。このように本発
明の感湿素子が優れた特性を有するのは、Ｃｒ２Ｏ３１
ＺｎＯ（又はＺｎＯとＭｇＯ、ＭｇＯ単独）の結晶性粒
子の粒界にこれらＣｒ２Ｏ５やＺｎＯ等の少量のＣｕｂ
。
Ｌｔ２ｏ 、 Ｖ２Ｏ５の成分が存在する構造になって
いるためであると推定される。
いるためであると推定される。
上記Ｃｒ２Ｏ３の配合割合を限定した理由は、その量を
２１モモル係満にすると、感湿特性としての抵抗値が全
般的に高くなシ、かといりてその童が７３モルｑｂを越
えると、高温放置での経時変化が大きくなるからである
。
２１モモル係満にすると、感湿特性としての抵抗値が全
般的に高くなシ、かといりてその童が７３モルｑｂを越
えると、高温放置での経時変化が大きくなるからである
。
上記ＺｎＯ及びＭｇＯのうちの少なくとも１種の配合割
合を限定した理由は、その量を２５モル係未満にすると
、高温放置での経時変化が太きくなシ、かといってその
量が５５モル係を越えると、感湿特性としての抵抗値が
全般的に高くなるからである。この場合、ｚｎＯ、Ｍｇ
Ｏを夫々単独で用いても、それらを併用しても同様な作
用を発揮できる。
合を限定した理由は、その量を２５モル係未満にすると
、高温放置での経時変化が太きくなシ、かといってその
量が５５モル係を越えると、感湿特性としての抵抗値が
全般的に高くなるからである。この場合、ｚｎＯ、Ｍｇ
Ｏを夫々単独で用いても、それらを併用しても同様な作
用を発揮できる。
上記ＣｕＯの配合割合を限定した理由は、その量を０．
５モル係未満にすると、高温放置での経時変化が大きく
なシ、かといってその量が８．０モル係を越えると、低
湿度側での感度が低下するからである。
５モル係未満にすると、高温放置での経時変化が大きく
なシ、かといってその量が８．０モル係を越えると、低
湿度側での感度が低下するからである。
上記Ｌｉ２Ｏ、Ｖ、２０５の配合割合を夫々限定した理
由はＬｉ２Ｏ＊ Ｖ２Ｏ５の量を各々０．５モル係未満
にすると、感湿特性としての抵抗値が全般的に亘って高
くなシ、かといってＬｉ２Ｏ、Ｖ２Ｏ５の量が各々８．
０モル係を越えると、高温放置での経時変化が大きくな
るからである。
由はＬｉ２Ｏ＊ Ｖ２Ｏ５の量を各々０．５モル係未満
にすると、感湿特性としての抵抗値が全般的に亘って高
くなシ、かといってＬｉ２Ｏ、Ｖ２Ｏ５の量が各々８．
０モル係を越えると、高温放置での経時変化が大きくな
るからである。
次に、本発明の詳細な説明する。
実施例１
まず、出発原料として酸化クロム、酸化亜鉛。
酸化銅、炭酸リチウム、酸化バナジウム・の微粉末を用
いた。これら出発原料を、Ｃｒ２Ｏ５ｒ ＺｎＯ＋Ｃｕ
Ｏｘ Ｌｉ２Ｏ、Ｖ２Ｏ５のモル比で４５％、４５％。
いた。これら出発原料を、Ｃｒ２Ｏ５ｒ ＺｎＯ＋Ｃｕ
Ｏｘ Ｌｉ２Ｏ、Ｖ２Ｏ５のモル比で４５％、４５％。
４チ、３％、３俤となるように秤量を行ない、しかる後
にポットミルで２４時時間式混合した。
にポットミルで２４時時間式混合した。
つづいて、この混合物を１２０℃で１２時間乾燥した後
、８００℃で仮焼した。ひきつづき、仮焼物をポットミ
ルで２４時時間式粉砕した後、１２０℃で１２時時間区
乾燥して原料粉末を調製した。
、８００℃で仮焼した。ひきつづき、仮焼物をポットミ
ルで２４時時間式粉砕した後、１２０℃で１２時時間区
乾燥して原料粉末を調製した。
次いで、上記原料粉末にポリビニルアルコール（粘結剤
）を２重量係加え、ライカ機で造粒した後、との造粒物
を５００ ｋｇ／ｃｎの条件で加圧成形して直径８鱈、
厚さ約２ｒｍの円盤状成形体を造った。つづいて、この
成形体を１３００℃の温度下で２時間焼成した後、焼結
体の両主面を研磨して厚さＩＩＩＩＩ＋とした。ひきつ
づき、この焼結体（感湿素体）の両主面に酸化ルテニウ
ムペーストをスクリーン印刷した後、約７００℃で焼付
けを行なって格子状の電極を形成し、第１図に示す構造
の感湿素子を製造した。なお、第１図中の１は感湿素体
、２は電極である。
）を２重量係加え、ライカ機で造粒した後、との造粒物
を５００ ｋｇ／ｃｎの条件で加圧成形して直径８鱈、
厚さ約２ｒｍの円盤状成形体を造った。つづいて、この
成形体を１３００℃の温度下で２時間焼成した後、焼結
体の両主面を研磨して厚さＩＩＩＩＩ＋とした。ひきつ
づき、この焼結体（感湿素体）の両主面に酸化ルテニウ
ムペーストをスクリーン印刷した後、約７００℃で焼付
けを行なって格子状の電極を形成し、第１図に示す構造
の感湿素子を製造した。なお、第１図中の１は感湿素体
、２は電極である。
しかして、本実施例１の感湿素子について周囲温度を２
５℃に一定とし、相対湿度を３０〜９０チに変化させた
時の抵抗値（感湿特性）を調べたところ、第２図に示す
特性図を得た。この第２図から明らかな如く本発明の感
湿素子は周囲温度２５℃下、相対湿度３０ｑ６では４２
０にΩ、同温度下、相対湿度９０チでは９にΩと広範囲
の湿度領域で極めて使い易い低い抵抗値を示すことがわ
かる。
５℃に一定とし、相対湿度を３０〜９０チに変化させた
時の抵抗値（感湿特性）を調べたところ、第２図に示す
特性図を得た。この第２図から明らかな如く本発明の感
湿素子は周囲温度２５℃下、相対湿度３０ｑ６では４２
０にΩ、同温度下、相対湿度９０チでは９にΩと広範囲
の湿度領域で極めて使い易い低い抵抗値を示すことがわ
かる。
また、本実施例１の感湿素子について温度８５℃の恒温
槽に１０００時間放置した後、周囲温度２５℃で相対湿
度を３０〜９０％に変化させた時の抵抗値（感湿特性）
を調べたところ、第３図に示す特性図を得た。この第３
図から明らかな如く、本発明の感湿素子は高温放置した
後の感湿特性がほとんど変化しておらず、安定した経時
特性を有することがわかる。
槽に１０００時間放置した後、周囲温度２５℃で相対湿
度を３０〜９０％に変化させた時の抵抗値（感湿特性）
を調べたところ、第３図に示す特性図を得た。この第３
図から明らかな如く、本発明の感湿素子は高温放置した
後の感湿特性がほとんど変化しておらず、安定した経時
特性を有することがわかる。
実施例２〜７
前記実施例１と同様な方法によシ下記第１表に示す組成
の焼結体（感湿素体）を備えた６種の感湿素子を製造し
た。
の焼結体（感湿素体）を備えた６種の感湿素子を製造し
た。
しかして、本実施例２〜７の感湿素子について周囲温度
２５℃下、相対湿度３０％、９０％の抵抗値（初期感湿
特性）、並びに８５℃の恒温槽に１０００時間放置した
後での周囲温度２５℃下、相対湿度３０ｆ６．９０％の
抵抗値（高温放置後の感湿特性）を調べた。その結果を
同第１表に併記した。また、同第１表中には本発明の組
成範囲をはずれる感湿素体を備えた感湿素子を参照例１
〜６として併記した。
２５℃下、相対湿度３０％、９０％の抵抗値（初期感湿
特性）、並びに８５℃の恒温槽に１０００時間放置した
後での周囲温度２５℃下、相対湿度３０ｆ６．９０％の
抵抗値（高温放置後の感湿特性）を調べた。その結果を
同第１表に併記した。また、同第１表中には本発明の組
成範囲をはずれる感湿素体を備えた感湿素子を参照例１
〜６として併記した。
上記第１表から明らかな如く、本発明の感湿素子は広範
囲の湿度領域で極めて使い易い抵抗値を有し、かつ高温
条件下でも安定した経時特性を有することがわかる。こ
れに対し、本発明の組成範囲からはずれた焼結体からな
る感湿素子（参照例１〜６）は前記広範囲の湿度領域で
使い易い抵抗値と、高温条件下で安定した経時特性との
両方を満足しない。
囲の湿度領域で極めて使い易い抵抗値を有し、かつ高温
条件下でも安定した経時特性を有することがわかる。こ
れに対し、本発明の組成範囲からはずれた焼結体からな
る感湿素子（参照例１〜６）は前記広範囲の湿度領域で
使い易い抵抗値と、高温条件下で安定した経時特性との
両方を満足しない。
実施例８
まず、出発原料として酸化クロム、炭酸マグネシウム、
酸化銅、炭酸リチウム、酸化バナジウムの微粉末を用い
た。これら出発原料を、Ｃｒ２Ｏ３ｐ ＭｇＯ−、Ｃｕ
Ｏｒ Ｌｉ２Ｏ、Ｖ２Ｏ５のモル比で４５％、４５チ、
４％、３チ、３チとなるように秤量を行ない、しかる後
にポットミルで２４時時間式混合した。つづいて、この
混合物を１２０℃で１２時間乾燥した後、８００℃で仮
焼した。ひきつづき、仮焼物をポットミルで２４時時間
式粉砕した後、１２０℃で１２時間再度乾燥して原料を
調製した。
酸化銅、炭酸リチウム、酸化バナジウムの微粉末を用い
た。これら出発原料を、Ｃｒ２Ｏ３ｐ ＭｇＯ−、Ｃｕ
Ｏｒ Ｌｉ２Ｏ、Ｖ２Ｏ５のモル比で４５％、４５チ、
４％、３チ、３チとなるように秤量を行ない、しかる後
にポットミルで２４時時間式混合した。つづいて、この
混合物を１２０℃で１２時間乾燥した後、８００℃で仮
焼した。ひきつづき、仮焼物をポットミルで２４時時間
式粉砕した後、１２０℃で１２時間再度乾燥して原料を
調製した。
次いで、上記原料粉末を用いて実施例１と同様な方法に
よ）第１図と同構造の感湿素子を製造した。
よ）第１図と同構造の感湿素子を製造した。
しかして、本実施例８の感湿素子について、周囲温度を
２５０に一定とし、相対湿度を３０〜９０％に変化させ
た時の抵抗値（感湿特性）を調べたとζろ、第４図に示
す特性図を得た。この第４図から明らかな如く本発明の
感湿素子は周囲温度２５℃下、相対湿度３０９６では６
００にΩ、同温度下、相対湿度９０チでは７にΩと広範
囲の湿度領域で極めて使い易い低い抵抗値を示すことが
わかる。
２５０に一定とし、相対湿度を３０〜９０％に変化させ
た時の抵抗値（感湿特性）を調べたとζろ、第４図に示
す特性図を得た。この第４図から明らかな如く本発明の
感湿素子は周囲温度２５℃下、相対湿度３０９６では６
００にΩ、同温度下、相対湿度９０チでは７にΩと広範
囲の湿度領域で極めて使い易い低い抵抗値を示すことが
わかる。
また、本実施例８の感湿素子に゛ついて温度８５℃の恒
温槽に１０００時間放置した後、周囲温度２５℃で相対
湿度を３０〜９０％に変化させた時の抵抗値（感湿特性
）を調べたところ、第５図に示す特性図を得た。この第
５図から明らかな如く、本発明の感湿素子は高温放置し
た後の感湿特性がほとんど変化しておらず、安定した経
時特性を有することがわかる。
温槽に１０００時間放置した後、周囲温度２５℃で相対
湿度を３０〜９０％に変化させた時の抵抗値（感湿特性
）を調べたところ、第５図に示す特性図を得た。この第
５図から明らかな如く、本発明の感湿素子は高温放置し
た後の感湿特性がほとんど変化しておらず、安定した経
時特性を有することがわかる。
実施例９〜１４
前記実施例１と同様な方５法により下記第２表に示す組
成の焼結体（感湿素体）を備えた６種の感湿素子を製造
した。
成の焼結体（感湿素体）を備えた６種の感湿素子を製造
した。
しかして、本実施例９〜１４の感湿素子について周囲温
度２５℃下、相対湿度３０％、９０チの抵抗値（初期感
湿特性）、並びに８５℃の恒温槽に１０００時間放置し
た後での周囲温度２５℃下、相対湿度３０％、９０％の
抵抗値（高温放置後の感湿特性）゛を調べた。その結果
を同第２表に併記した。また、同第２表中には本発明の
組成範囲をはずれる感湿素体を備えた感湿素子を参照例
７〜１２として併記した。
度２５℃下、相対湿度３０％、９０チの抵抗値（初期感
湿特性）、並びに８５℃の恒温槽に１０００時間放置し
た後での周囲温度２５℃下、相対湿度３０％、９０％の
抵抗値（高温放置後の感湿特性）゛を調べた。その結果
を同第２表に併記した。また、同第２表中には本発明の
組成範囲をはずれる感湿素体を備えた感湿素子を参照例
７〜１２として併記した。
上記第２表から明らかな如く、本発明の感湿素子は広範
囲の湿度領域で極めて使い易い抵抗値を有し、かつ高温
条件下でも安定した経時特性を有することがわかる。こ
れに対し、本発明の組成範囲からはずれた焼結体からな
る感湿素子（参照例７〜１２）は前記広範囲の湿度領域
で使い易い抵抗値と、高温条件下で安定した経時特性と
の両方を満足しない。
囲の湿度領域で極めて使い易い抵抗値を有し、かつ高温
条件下でも安定した経時特性を有することがわかる。こ
れに対し、本発明の組成範囲からはずれた焼結体からな
る感湿素子（参照例７〜１２）は前記広範囲の湿度領域
で使い易い抵抗値と、高温条件下で安定した経時特性と
の両方を満足しない。
実施例１５〜１９
前記実施例１と同様な方法によシ下記第３表に示す組成
の焼結体（感湿素体）を備えた６種の感湿素子を製造し
た。
の焼結体（感湿素体）を備えた６種の感湿素子を製造し
た。
しかして、本実施例１５〜１９の感湿素子について周囲
温度２５℃下、相対湿度３０％。
温度２５℃下、相対湿度３０％。
９０％の抵抗値（初期感湿特性）、並びに８５℃の恒温
槽に１０００時間放置した後での周囲温度２５℃下、相
対湿度βＯ％、９０％の抵抗値（高温放置後の感湿特性
）を調べた。その結果を同第３表に併記した。また、同
第３表中には本発明の組成範囲をはずれる感湿素体を備
えた感湿素子を参照例１３〜１４として併記した上記第
３表から明らかな如く、本発明の感湿素子は広範囲の湿
度領域で極めて使い易い抵抗値を有し、かつ高温条件下
でも安定した経時特性を有することがわかる。これに対
し、本発明の組成範囲からはずれた焼結体からなる感湿
素子（参照例１３〜１４）は前記広範囲の湿度領域で使
い易い抵抗値と、高温条件下で安定した経時特性との両
方を満足しない。゛ 〔発明の効果〕 以上詳述した如く、本発明によれば広範囲の湿度領域に
おいても使い易い電気抵抗値（感湿特性）を有し、しか
も高温条件下で長時間使用しても抵抗値変化をほとんど
生じずに安定的に使用できる高信頼性の感湿素子を提供
できる。
槽に１０００時間放置した後での周囲温度２５℃下、相
対湿度βＯ％、９０％の抵抗値（高温放置後の感湿特性
）を調べた。その結果を同第３表に併記した。また、同
第３表中には本発明の組成範囲をはずれる感湿素体を備
えた感湿素子を参照例１３〜１４として併記した上記第
３表から明らかな如く、本発明の感湿素子は広範囲の湿
度領域で極めて使い易い抵抗値を有し、かつ高温条件下
でも安定した経時特性を有することがわかる。これに対
し、本発明の組成範囲からはずれた焼結体からなる感湿
素子（参照例１３〜１４）は前記広範囲の湿度領域で使
い易い抵抗値と、高温条件下で安定した経時特性との両
方を満足しない。゛ 〔発明の効果〕 以上詳述した如く、本発明によれば広範囲の湿度領域に
おいても使い易い電気抵抗値（感湿特性）を有し、しか
も高温条件下で長時間使用しても抵抗値変化をほとんど
生じずに安定的に使用できる高信頼性の感湿素子を提供
できる。
第１図は本発明の感湿素子の一形態を示す斜視図、第２
図は実施例１の感湿素子における初期感湿特性を示す線
図、第３図は同実施例１の感湿素子における高温放置後
の感湿特性を示す線図、第４図は実施例８の感湿素子に
おける初期感湿特性を示す線図、第５図は同実施例８の
感湿素子における高温放置後の感湿特性を示す線図であ
る。 Ｉ・・・焼結体（感湿素体）、２・・・電極。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 意力１図 第２図 第３図 ３０ ５０ ７０ ９０ ３０
５０ ７０ ９０Ｊ＠Ｚ−ｆ’１ｉＡＣ°ｔ、）
苅苅、：ｔｌｊＥ、（’／、）第４図 第５
図 α
図は実施例１の感湿素子における初期感湿特性を示す線
図、第３図は同実施例１の感湿素子における高温放置後
の感湿特性を示す線図、第４図は実施例８の感湿素子に
おける初期感湿特性を示す線図、第５図は同実施例８の
感湿素子における高温放置後の感湿特性を示す線図であ
る。 Ｉ・・・焼結体（感湿素体）、２・・・電極。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 意力１図 第２図 第３図 ３０ ５０ ７０ ９０ ３０
５０ ７０ ９０Ｊ＠Ｚ−ｆ’１ｉＡＣ°ｔ、）
苅苅、：ｔｌｊＥ、（’／、）第４図 第５
図 α
Claims (1)
- Ｃｒ２Ｏ５２１〜７３モル係、ＺｎＯ及びＭｇＯのうち
の少なくとも１種２５〜５５モルｅｆｔ、Ｃｕ０Ｏ１５
〜８．０モル係、Ｌ１２００．５〜８．０モル係、Ｖ２
Ｏ５０，５〜８．０モル係を必須成分とした焼結体から
なることを特徴とする感湿素子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58029723A JPS59155102A (ja) | 1983-02-24 | 1983-02-24 | 感湿素子 |
| US06/582,553 US4529540A (en) | 1983-02-24 | 1984-02-22 | Humidity-sensitive resistive element |
| DE8484301175T DE3465785D1 (en) | 1983-02-24 | 1984-02-23 | Humidity-sensitive resistive element |
| EP84301175A EP0123385B1 (en) | 1983-02-24 | 1984-02-23 | Humidity-sensitive resistive element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58029723A JPS59155102A (ja) | 1983-02-24 | 1983-02-24 | 感湿素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59155102A true JPS59155102A (ja) | 1984-09-04 |
| JPH0378761B2 JPH0378761B2 (ja) | 1991-12-16 |
Family
ID=12284026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58029723A Granted JPS59155102A (ja) | 1983-02-24 | 1983-02-24 | 感湿素子 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4529540A (ja) |
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| JP (1) | JPS59155102A (ja) |
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-
1983
- 1983-02-24 JP JP58029723A patent/JPS59155102A/ja active Granted
-
1984
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- 1984-02-23 DE DE8484301175T patent/DE3465785D1/de not_active Expired
Patent Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPS6351363A (ja) * | 1986-08-21 | 1988-03-04 | Tekukemu:Kk | アミノ基を有するジフエニ−ル化合物の製造方法 |
Also Published As
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