JPH04329348A - 感湿セラミック組成物 - Google Patents
感湿セラミック組成物Info
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- JPH04329348A JPH04329348A JP3128441A JP12844191A JPH04329348A JP H04329348 A JPH04329348 A JP H04329348A JP 3128441 A JP3128441 A JP 3128441A JP 12844191 A JP12844191 A JP 12844191A JP H04329348 A JPH04329348 A JP H04329348A
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Links
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Landscapes
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は感湿セラミック組成物
に関し、特にたとえば、湿度センサなどの材料として用
いられる感湿セラミック組成物に関する。
に関し、特にたとえば、湿度センサなどの材料として用
いられる感湿セラミック組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の感湿セラミック組成物としては、
たとえばＭｇ−Ｃｒ−Ｔｉ系，Ｚｎ−Ｃｒ−Ｌｉ系，Ｖ
−Ｔｉ系などの感湿セラミック組成物があった。そして
、これらの感湿セラミック組成物を用いて、湿度センサ
が作製されていた。
たとえばＭｇ−Ｃｒ−Ｔｉ系，Ｚｎ−Ｃｒ−Ｌｉ系，Ｖ
−Ｔｉ系などの感湿セラミック組成物があった。そして
、これらの感湿セラミック組成物を用いて、湿度センサ
が作製されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の感湿
セラミック組成物を用いた湿度センサでは、１００℃以
下の低温度域では良好な感度を得ることができるが、高
温度域では十分な感度を得ることができない。そのため
、たとえば電子レンジなどのように、高温度域で絶対湿
度を検知することが要求されるものに湿度センサを使用
する場合、その要求を満たすことができなかった。
セラミック組成物を用いた湿度センサでは、１００℃以
下の低温度域では良好な感度を得ることができるが、高
温度域では十分な感度を得ることができない。そのため
、たとえば電子レンジなどのように、高温度域で絶対湿
度を検知することが要求されるものに湿度センサを使用
する場合、その要求を満たすことができなかった。
【０００４】また、従来の感湿セラミック組成物を使っ
た湿度センサでは、その特性の経時変化が大きく、実用
上問題があった。
た湿度センサでは、その特性の経時変化が大きく、実用
上問題があった。
【０００５】それゆえに、この発明の主たる目的は、高
温度域でも感度がよく、かつ特性の経時変化の小さい湿
度センサを得ることができる感湿セラミック組成物を提
供することである。
温度域でも感度がよく、かつ特性の経時変化の小さい湿
度センサを得ることができる感湿セラミック組成物を提
供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、ＡをＣａ，
Ｓｒ，Ｂａの中から選ばれる少なくとも１種類、ＭをＣ
ｅ，Ｚｒの中から選ばれる少なくとも１種類、ＱをＴｉ
，Ｓｎ，Ｈｆの中から選ばれる少なくとも１種類、Ｒを
アクチノイドを除くＩＩＩａ族の元素およびＩｎの中か
ら選ばれる少なくとも１種類としたとき、次の一般式Ａ
（Ｍ１−ｘ Ｑｘ ）１−ｙ Ｒｙ Ｏ３ で表され、
ｘおよびｙが、０．１０≦ｘ≦０．９０、ｙ≦０．３０
の範囲にある、感湿セラミック組成物である。
Ｓｒ，Ｂａの中から選ばれる少なくとも１種類、ＭをＣ
ｅ，Ｚｒの中から選ばれる少なくとも１種類、ＱをＴｉ
，Ｓｎ，Ｈｆの中から選ばれる少なくとも１種類、Ｒを
アクチノイドを除くＩＩＩａ族の元素およびＩｎの中か
ら選ばれる少なくとも１種類としたとき、次の一般式Ａ
（Ｍ１−ｘ Ｑｘ ）１−ｙ Ｒｙ Ｏ３ で表され、
ｘおよびｙが、０．１０≦ｘ≦０．９０、ｙ≦０．３０
の範囲にある、感湿セラミック組成物である。
【０００７】
【発明の効果】この発明の感湿セラミック組成物を使用
すれば、高温度域で感度よく絶対湿度を検知でき、かつ
特性の経時変化の小さい湿度センサを得ることができる
。
すれば、高温度域で感度よく絶対湿度を検知でき、かつ
特性の経時変化の小さい湿度センサを得ることができる
。
【０００８】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【０００９】
【実施例】まず、原料として、ＣａＯ，ＳｒＯ，ＢａＯ
，ＺｒＯ２ ，ＣｅＯ２ ，ＴｉＯ２ ，ＳｎＯ２ ，
ＨｆＯ２ ，Ｉｎ２ Ｏ３ および希土類元素の酸化物
を準備した。 これらの原料を表１の組成となるように秤量し、秤量物
を得た。
，ＺｒＯ２ ，ＣｅＯ２ ，ＴｉＯ２ ，ＳｎＯ２ ，
ＨｆＯ２ ，Ｉｎ２ Ｏ３ および希土類元素の酸化物
を準備した。 これらの原料を表１の組成となるように秤量し、秤量物
を得た。
【００１０】
【表１】
【００１１】得られた秤量物をボールミルで湿式混合し
たのち、脱水，乾燥し、１２００℃で２時間仮焼して、
仮焼物を得た。この仮焼物を粉砕して、酢酸ビニル系樹
脂を１０重量％加えて混合し、造粒粉末を得た。得られ
た造粒粉末を約２ｔｏｎ／ｃｍ２ の圧力で直径１０ｍ
ｍ，厚さ０．５ｍｍの円板状に成形して、成形体を得た
。この成形体を空気中において、１３５０℃の温度で２
時間焼成し、直径８．００ｍｍ，厚さ０．４５ｍｍの円
板状の焼結体を得た。この焼結体の両主面に直径７．０
０ｍｍの白金のポーラス電極を付与し、湿度センサとし
た。
たのち、脱水，乾燥し、１２００℃で２時間仮焼して、
仮焼物を得た。この仮焼物を粉砕して、酢酸ビニル系樹
脂を１０重量％加えて混合し、造粒粉末を得た。得られ
た造粒粉末を約２ｔｏｎ／ｃｍ２ の圧力で直径１０ｍ
ｍ，厚さ０．５ｍｍの円板状に成形して、成形体を得た
。この成形体を空気中において、１３５０℃の温度で２
時間焼成し、直径８．００ｍｍ，厚さ０．４５ｍｍの円
板状の焼結体を得た。この焼結体の両主面に直径７．０
０ｍｍの白金のポーラス電極を付与し、湿度センサとし
た。
【００１２】得られた湿度センサを用いて、水蒸気を１
０４ ｐｐｍｗ（重量比表示）含む４５０℃の雰囲気中
における抵抗値ＲＨ１ および水蒸気を１０５ ｐｐｍ
ｗ含む４５０℃の雰囲気中における抵抗値ＲＨ２ を、
それぞれ測定した。さらに、これらの値を次式に代入し
て湿度感度ｓを算出した。 ＲＨ１ ＝ＲＨ２ （Ｈ１ ／Ｈ２ ）−ｓそして、こ
れらの結果を表２に示した。なお、表１および表２の中
の＊印を付したものはこの発明の範囲外であり、それ以
外は発明の範囲内のものである。
０４ ｐｐｍｗ（重量比表示）含む４５０℃の雰囲気中
における抵抗値ＲＨ１ および水蒸気を１０５ ｐｐｍ
ｗ含む４５０℃の雰囲気中における抵抗値ＲＨ２ を、
それぞれ測定した。さらに、これらの値を次式に代入し
て湿度感度ｓを算出した。 ＲＨ１ ＝ＲＨ２ （Ｈ１ ／Ｈ２ ）−ｓそして、こ
れらの結果を表２に示した。なお、表１および表２の中
の＊印を付したものはこの発明の範囲外であり、それ以
外は発明の範囲内のものである。
【００１３】
【表２】
【００１４】また、４００℃の雰囲気中において、Ｂａ
Ｚｒ０．９０Ｙ０．１０Ｏ３ とＢａ（Ｚｒ０．７０Ｓ
ｎ０．３０）０．９０Ｙ０．１０Ｏ３ のインピーダン
ス値の経時変化を測定し、その結果を図１に示した。
Ｚｒ０．９０Ｙ０．１０Ｏ３ とＢａ（Ｚｒ０．７０Ｓ
ｎ０．３０）０．９０Ｙ０．１０Ｏ３ のインピーダン
ス値の経時変化を測定し、その結果を図１に示した。
【００１５】なお、試料番号６のようにｘが０．１未満
のものでは、図１からわかるように、抵抗値の経時変化
が大きくて好ましくない。また、試料番号９のようにｘ
が０．９を超えるか、試料番号５および１４のようにｙ
が０．３を超えると、湿度感度が低下して好ましくない
。
のものでは、図１からわかるように、抵抗値の経時変化
が大きくて好ましくない。また、試料番号９のようにｘ
が０．９を超えるか、試料番号５および１４のようにｙ
が０．３を超えると、湿度感度が低下して好ましくない
。
【００１６】それに対して、この発明の感湿セラミック
組成物を用いると、高温度域でも湿度感度が大きく、か
つ抵抗値の経時変化の少ない湿度センサを得ることがで
きる。
組成物を用いると、高温度域でも湿度感度が大きく、か
つ抵抗値の経時変化の少ない湿度センサを得ることがで
きる。
【００１７】この発明の感湿セラミック組成物では、表
１に示されているほかにも、アクチノイドを除くＩＩＩ
ａ族の元素、たとえばＰｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｈｏ，
Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕなどを使用してもよい。また、湿度セ
ンサの製造方法としては、上述の実施例に示した方法以
外にも、シート成形方式やペーストによる厚膜方式など
、他の方法を用いてもよい。
１に示されているほかにも、アクチノイドを除くＩＩＩ
ａ族の元素、たとえばＰｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｈｏ，
Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕなどを使用してもよい。また、湿度セ
ンサの製造方法としては、上述の実施例に示した方法以
外にも、シート成形方式やペーストによる厚膜方式など
、他の方法を用いてもよい。
【図１】この発明の範囲内の感湿セラミック組成物と発
明の範囲外の感湿セラミック組成物とを用いた湿度セン
サのインピーダンス値の経時変化を示すグラフである。
明の範囲外の感湿セラミック組成物とを用いた湿度セン
サのインピーダンス値の経時変化を示すグラフである。
Claims (1)
- 【請求項１】 ＡをＣａ，Ｓｒ，Ｂａの中から選ばれ
る少なくとも１種類、ＭをＣｅ，Ｚｒの中から選ばれる
少なくとも１種類、ＱをＴｉ，Ｓｎ，Ｈｆの中から選ば
れる少なくとも１種類、Ｒをアクチノイドを除くＩＩＩ
ａ族の元素およびＩｎの中から選ばれる少なくとも１種
類としたとき、次の一般式 Ａ（Ｍ１−ｘ Ｑｘ ）１−ｙ Ｒｙ Ｏ３ で表され
、ｘおよびｙが、 ０．１０≦ｘ≦０．９０ ｙ≦０．３０ の範囲にある、感湿セラミック組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3128441A JPH04329348A (ja) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | 感湿セラミック組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3128441A JPH04329348A (ja) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | 感湿セラミック組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04329348A true JPH04329348A (ja) | 1992-11-18 |
Family
ID=14984812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3128441A Pending JPH04329348A (ja) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | 感湿セラミック組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04329348A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2012099088A1 (ja) * | 2011-01-21 | 2014-06-30 | 株式会社村田製作所 | 感湿セラミック材料および感湿セラミック素子 |
-
1991
- 1991-04-30 JP JP3128441A patent/JPH04329348A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2012099088A1 (ja) * | 2011-01-21 | 2014-06-30 | 株式会社村田製作所 | 感湿セラミック材料および感湿セラミック素子 |
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