JPH01165093A - 半導体メモリ - Google Patents

半導体メモリ

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JPH01165093A
JPH01165093A JP62323083A JP32308387A JPH01165093A JP H01165093 A JPH01165093 A JP H01165093A JP 62323083 A JP62323083 A JP 62323083A JP 32308387 A JP32308387 A JP 32308387A JP H01165093 A JPH01165093 A JP H01165093A
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JP
Japan
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Pending
Application number
JP62323083A
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Inventor
Kouichi Magome
馬篭 幸一
Shigeo Oshima
成夫 大島
Hiroshi Sawara
佐原 弘
Haruki Toda
春希 戸田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Priority to DE3850483T priority patent/DE3850483T2/de
Priority to MYPI88001459A priority patent/MY103940A/en
Priority to KR1019880017146A priority patent/KR920007444B1/ko
Publication of JPH01165093A publication Critical patent/JPH01165093A/ja
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Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67294Apparatus for monitoring, sorting or marking using identification means, e.g. labels on substrates or labels on containers
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/66Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70733Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
    • G03F7/70741Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06KGRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K17/00Methods or arrangements for effecting co-operative working between equipments covered by two or more of main groups G06K1/00 - G06K15/00, e.g. automatic card files incorporating conveying and reading operations
    • G06K17/0022Methods or arrangements for effecting co-operative working between equipments covered by two or more of main groups G06K1/00 - G06K15/00, e.g. automatic card files incorporating conveying and reading operations arrangements or provisious for transferring data to distant stations, e.g. from a sensing device
    • G06K2017/0051
    • G06K2017/007

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は半導体メモリに関し、特に画像用メモリのよ
うにデータの高速書換えが要求される半導体メモリに関
する。
(従来の技術) 画像用メモリとしては、任意の番地のデータをアクセス
できるランダムアクセスメモリ ′(RAM)とシリア
ルにデータをアクセスできるシリアルアクセスメモリ(
SAM)の両方を備えたデュアルポートメモリが広く用
いられている。
このデュアルポートメモリの一般的な使い方は1、  
RAMのある行に書かれたデータをSAMに転送し、そ
の転送されたデータをSAMからシリアルに出力して画
像表示するものである。ところで、画像を短い時間に一
斉にクリアしようとする場合には、RAMからSAMへ
転送されるデータの内容を全て同一(全てが“1”ある
いは“0′)にすることが必要である。すなわち、RA
Mにおいて“1”と“0°がバラバラに書かれてぃたあ
る行のデータを短時間で全て“1”または“0”の同一
データに書換えることが必要になる。
第3図は従来のRAMのメモリセルアレイ構造を示すも
のであるが、このようなRAMにおいては、ある行のセ
ルデータを全て同じ内容に書換えるためにページモード
が通常用いられている。
つまり、第4図のタイミングチャートに示すように、ま
ず行アドレスストローブ信号RASを低レベルにしであ
る行を選択し例えば行線W L 。
を付勢する。次に、列アドレスストローブ信号CASに
よって列を順次選択する。アドレスADRによって例え
ば列選択信号C3LIが付勢された場合には、I10バ
ッファがら出力されたデータが列線BLIを介してメモ
リセルMCIに書込まれる。このように、ページモード
では列を順次選択することによって行線W L oに繋
がる全てのセルに対し列毎にデータを書込んで行く。
この方法は従来のRAMの機能をそのまま用いられるの
で有効であるが、RAMデータの書換えに時間がかかり
過ぎる問題がある。つまり、この方法では、ある行のデ
ータ書換えに、「メモリセルアレイの列の数Xページモ
ードサイクルタイムTpc」だけの時間が必要になる。
データの書換え方式としては、ページモードのように列
毎にデータを書込んで行くのではなく、ある行のセルデ
ータ全てを一斉に“0”あるいは“1”に書換える技術
も考えられている。この書換え方式を用いる場合には、
メモリセルアレイ自体は第3図に示す通り通常のRAM
でよいが、動作のタイミングは第5図のようになる。即
ち、行アドレスストローブ信号RASを低レベルにして
行アドレスに対応する行を選択した後は、列アドレスに
関係なく全ての列を選択し、1つのワード線に繋がる全
てのセルに“1”か“0”をI10バッファから強制的
に書込む方式である。
この方式を用いれば、通常のRASのサイクルタイムの
期間にある行のセルデータを全て同一にすることができ
データの高速書換えが可能となる。
しかしながら、この方式を用いると以下のような問題が
生じる。
すなわち、ある行に繋がる全てのセルに同時にデータを
書込む方式を用いる場合には、データの誤書込みを防ぐ
ために実際には駆動能力の大きい書込みバッファが必要
となり、書込みバッファの寸法が非常に大きくなる問題
が生じる。また、書込み時にかなり大きな電流が瞬時に
流れるので電源線ノイズの発生原因となり易く、その対
策が非常に困難である。
(発明が解決しようとする問題点) この発明は前述の事情に鑑みなされたもので、従来の半
導体メモリではデータの書換えを高速に行なうことが困
難であった点を改善し、電源線ノイズの発生や書込みバ
ッファの寸法の増大を招くことなく、データを高速に書
換えることができる半導体メモリを提供することを目的
とする。
[発明の構成コ (問題点を解決するための手段) この発明による半導体メモリにあっては、−対の列線と
、この列線それぞれに接続されるメモリセルと、行アド
レス信号に応じて前記メモリセルを選択する行線と、正
電源電位または接地電位が供給される固定電位供給端と
前記一対の列線との間に各々の電流通路がそれぞれ接続
された第1および第2のトランジスタとを具備し、これ
ら第1および第2のトランジスタのゲートは前記行線と
独立に選択可能なデータ書換え用の第1および第2の行
線にそれぞれ接続されていることを特徴とする。
(作用) 前記構成半導体メモリにあっては、前記データ書換え用
の行線を選択することによって、列線の電位を低または
高電位に設定することができる。
したがって、書込みバッファからメモリセルにデータを
強制的に書込むことを必要とせずに、選択された行線に
繋がる全てのメモリセルのデータを同一データに書換え
ることが可能となる。
(実施例) 以下、図面を参照してこの発明の実施例を説明する。
第1図にこの発明の一実施例に係わる半導体メモリを示
す。第1図には1列分に対応する構成だけを示すが、他
の列についてもそれぞれ同様の構成になっている。
すなわち、この半導体メモリの一対の列線BLI、BL
Iには、第3図の従来の半導体メモリと同様に行線WL
o、WLIによってそれぞれ選択されるメモリセルMC
I 、MC2の他に、データ書換え用のNチャネルMO
S)ランジスタQIO,Qllが接続されている。
メモリセルMCIはゲートが行線W L oに接続され
たNチャネルMOS)ランジスタQ1どキャパシタC1
とにより構成され、またメモリセルMC2はゲートが行
線WLIに接続されたNチャネルMOSトランジスタQ
2とキャパシタC2とにより構成されている。
データ書換え用のNチャネルMOSトランジスタQIO
は列線BLIと接地端子間にその電流通路が接続され、
そのゲートにはデータ書換え用に設けられた行線WLl
Oが接続されている。また、NチャネルMOSトランジ
スタQllは列線BLIと接地端子間に電流通路が接続
され、そのゲートにはデー゛夕書換え用に設けられた行
線WLllが接続されている。これら行線WLIQ、W
L11は、それぞれメモリセルを選択するための行線W
Lo。
WLIと独立に選択可能なものである。
また、図示しない他の各列にも同様にしてデータ書換え
用の2個のNチャネルMOSトランジスタが設けられて
おり、これらのゲートにはそれぞれ行線WLIO,WL
IIが接続されている。
さらに、一対の列線BLI、BLIは、通常のようにセ
ンスアンプlOおよび列選択回路12を介して共通デー
タ線に接続されている。列選択回路12はNチャネルM
OS)ランジスタQ20およびQ21より構成され、列
アドレスの内容に応じて付勢される列選択信号C3L1
によってスイッチング制御される。
次に、第2図のタイミングチャートを参照して第1図に
示した半導体メモリのデータ書換え動作について説明す
る。
まず行線W L oに繋がる各列のメモリセルに“0“
データを書込む場合の回路動作を述べる。
まず行アドレスストローブ信号RASが低レベルになり
、行アドレスが取込まれて行線W L oが選択される
。この行線W L oの選択時には、行線WLIOも同
時に選択される。この結果、トランジスタQ1およびQ
IOが共に導通状態になる。したがって、列線BLIの
電位はキャパシタC1の容量と列線BLIに付加されて
いる容量cbとそしてMOSトランジスタQIOの駆動
能力で決定される。
例えば、メモリセルMCIに記憶されているデータが“
1”でキャパシタCtに電荷が充電されている場合に、
もしトランジスタQIOが導通していなければ列線BL
Iの電位は行線W L oが付勢される前の電位つまり
プリチャージ電位よりも上昇する。しかし、行線W L
 oの選択時に前述のように行線WLIOも選択してト
ランジスタQIOを導通状態に制御すると、キャパシタ
C1に蓄積された電荷は列線BL1.トランジスタQL
Oを介して接地端子へ放電され、列線BLIの電位はプ
リチャージ時の電位よりも低下する。したがって、この
状態においてセンスアンプIOを駆動すれば1、列線B
LIを低電位にBLIを高電位に設定することができる
。この後は、行アドレスストローブ信号RASを高電位
に戻せば、行線WLo、WLIOが共に非選択状態にな
るからメモリセルMCIには“0゛が書込まれる。同様
にして、行線W L oに繋がる各列の全てのメモリセ
ルにも同時にデータ“0゛が書込まれる。
今、行線W L oに繋がっているメモリセルのデータ
が“11で、それに“0”を書込む場合を説明したが、
もしもセルデータが“01であって、それに“0゛を書
込むことも同様にして行なうことができる。
逆に、メモリセルMCIに“1mを書込む場合には、W
Loと同時にWLIIを選択すれば良い。
最初メモリセルMCIに“O”が書き込まれてい ゛れ
ば、行線W L oが選択されると前述したように列線
BLIの電位は、メモリセルMCIと列線BLIの容量
分割によって決まる所定の電位に低下する。しかし、行
線WLIIが付勢されているので、トランジスタQll
が導通し、これによって列線BLIの電位はBLIの電
位より低くなる。従って、その後センスアンプ10を駆
動させると列線BLIが高電位、BLIが低電位となる
。それゆえ、メモリセルMCIにl”を書込むことがで
きる。もしも、メモリセルMCIの初期データが′1#
であれば、′1”書込みはさらに容易であるのは言うま
でもない。
以上の議論は列線BLl側に繋がっているメモリセルM
CIについてのものであるが、MC2のようにBLl側
に繋がるメモリセルについても同様にデータの書換えを
行なうことができる。
以上説明したように、本発明のメモリにおいては、通常
のRASサイクル間に任意の行の全てのセルを同一デー
タに書換えることができる。しかも、書込みバッファか
ら強制的にデータを書込む方式ではないため、書込みバ
ッファの電流駆動能力を必要以上に大きく設定する必要
はない。したかって、前述したような電源線ノイズの発
生や書込みバッファの寸法の増大等の問題を引起こさず
に、データ書換えを高速に行なうことが可能となる。
尚、通常のデータ書込みを行なう場合には、データ書換
え用の行線WLIO,WLIIを選択せずに通常の行線
のみを選択すれば良い。また、データ書換え用のトラン
ジスタの一端を接地端子に接続する代わりに、正電源端
子に接続しても同様してデータの書換えを行なうことが
できる。但し、この場合には行線WLIO,WLIIの
選択に対する書換えデータの内容は前述のものとは逆に
なる。
[発明の効果] 以上のようにこの発明によれば、電源線ノイズの発生や
書込みバッファの寸法の増大を招くことなくデータを高
速に書換えることができ、特に画像用メモリとしての使
用に適した半導体メモリが得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例に係る半導体メモリを示す
回路図、第2図は第1図に示した半導体メモリのデータ
書換え動作を説明するタイミングチャート、第3図は従
来の半導体メモリを示す回路図;第4図および第5図は
それぞれ従来の半導体メモリのデータ書換え動作を説明
するタイミングチャートである。 MCI 、MC2・・・メモリセル、QIO,Qll・
・・データ書換え用のMOS)ランジスタ、IO・・・
センスアンプ、12・・・列選択回路、BLl、BLl
・・・列線、WLo 、WLI−・・行線、W L 1
0. W L 11−・・データ書換え用の行線。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第 1 図 第2図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)一対の列線と、 この列線それぞれに接続されるメモリセル と、 行アドレス信号に応じて前記メモリセルを 選択する行線と、 正電源電位または接地電位が供給される固 定電位供給端と前記一対の列線との間に各々の電流通路
    がそれぞれ接続された第1および第2のトランジスタと
    を具備し、 これら第1および第2のトランジスタのゲ ートは、前記行線と独立に選択可能なデータ書換え用の
    第1および第2の行線にそれぞれ接続されていることを
    特徴する半導体メモリ。
  2. (2)前記メモリセルは1個のトランジスタと1個のキ
    ャパシタとにより構成されていることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項記載の半導体メモリ。
JP62323083A 1987-12-21 1987-12-21 半導体メモリ Pending JPH01165093A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62323083A JPH01165093A (ja) 1987-12-21 1987-12-21 半導体メモリ
EP88120924A EP0321847B1 (en) 1987-12-21 1988-12-14 Semiconductor memory capable of improving data rewrite speed
DE3850483T DE3850483T2 (de) 1987-12-21 1988-12-14 Halbleiterspeicher, der fähig zur Verbesserung der Datenwiedereinschreibgeschwindigkeit ist.
MYPI88001459A MY103940A (en) 1987-12-21 1988-12-15 Semiconductor memory capable of improving data rewrite speed
KR1019880017146A KR920007444B1 (ko) 1987-12-21 1988-12-21 반도체기억장치
US07/647,202 US5075887A (en) 1987-12-21 1991-01-28 Semiconductor memory capable of improving data rewrite speed

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JP62323083A JPH01165093A (ja) 1987-12-21 1987-12-21 半導体メモリ

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ID=18150891

Family Applications (1)

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JP62323083A Pending JPH01165093A (ja) 1987-12-21 1987-12-21 半導体メモリ

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