JPH01143128A - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
- Publication number
- JPH01143128A JPH01143128A JP62299500A JP29950087A JPH01143128A JP H01143128 A JPH01143128 A JP H01143128A JP 62299500 A JP62299500 A JP 62299500A JP 29950087 A JP29950087 A JP 29950087A JP H01143128 A JPH01143128 A JP H01143128A
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- JP
- Japan
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- scanning signal
- electron beam
- scanning
- sample
- direction scanning
- Prior art date
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 5
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は試料面上において電子線を照射し、その際発生
する二次電子あるいはＸ線等を検出して試料を分析ある
いは表示する装置に関する。
する二次電子あるいはＸ線等を検出して試料を分析ある
いは表示する装置に関する。
［従来の技術］
従来、第４図に示すようなＸ線マイクロアナライザーに
おいて、偏向器２Ｘ、２ＶはＸ方向走査信号発生器４ｘ
及びＹ方向走査信号発生器４ｙから供給される第５図に
示すようなＸ方向走査信号（Ｃ）及びＹ方向走査信号（
ａ＞によって電子線１を偏向し、試料３上で点Ａから点
Ｂまでを繰返し走査する。ここで、Ｙ方向走査信号発生
器４ｙの発生する走査信号（第５図（ａ））は同期回路
７に供給されるが、該同期回路７はＹ方向走査信号の立
上がりに応じたトリガー信号（第５図（ｂ））を発生し
、該トリガー信号によって走査信号発生器４ｘがＹ方向
走査信号に同期したＸ方向走査信号（第５図（Ｃ））を
繰返し発生し偏向器２Ｘに供給している。該電子線の走
査によって該試料から発生したＸ線はＸ線検出装置８に
導入されて特定波長のＸ線が検出される。該検出された
信号は前記電子線の走査と同期した陰極線管５に輝度信
号として供給されるため、該試料のＸ線像が得られる。
おいて、偏向器２Ｘ、２ＶはＸ方向走査信号発生器４ｘ
及びＹ方向走査信号発生器４ｙから供給される第５図に
示すようなＸ方向走査信号（Ｃ）及びＹ方向走査信号（
ａ＞によって電子線１を偏向し、試料３上で点Ａから点
Ｂまでを繰返し走査する。ここで、Ｙ方向走査信号発生
器４ｙの発生する走査信号（第５図（ａ））は同期回路
７に供給されるが、該同期回路７はＹ方向走査信号の立
上がりに応じたトリガー信号（第５図（ｂ））を発生し
、該トリガー信号によって走査信号発生器４ｘがＹ方向
走査信号に同期したＸ方向走査信号（第５図（Ｃ））を
繰返し発生し偏向器２Ｘに供給している。該電子線の走
査によって該試料から発生したＸ線はＸ線検出装置８に
導入されて特定波長のＸ線が検出される。該検出された
信号は前記電子線の走査と同期した陰極線管５に輝度信
号として供給されるため、該試料のＸ線像が得られる。
なお、該Ｘ線像は特定波長のＸ線に基づいているため、
該試料の表面部分の特定元素の分布を示したものとなる
。
該試料の表面部分の特定元素の分布を示したものとなる
。
［発明が解決しようとする問題点１
このような構成の装置において、試料面上の電子線走査
領域から放出されるＸＩ！に基づいて該領域内の組成の
平均的な情報を得ようとする場合、第４図に示すような
Ｘ方向走査信号（Ｃ）及びＹ方向走査信号（ａ）によっ
て電子線を所定期間の間繰り返し走査し、その期間の検
出信号の平均値（または積算値）を求めている。この走
査信号による該電子線の試料面上での電子線の走査の軌
跡は第６図に示すようになる。第４図かられかるように
、前記Ｘ方向走査信号とＹ方向走査信号には試料面上の
Ａ点からＢ点までを繰返し走査するような同期が同期回
路７によって掛けられているため、試料面上での電子線
の軌跡は常に一定となり、第６図に点線で示す枠内の領
域では電子線の照射された軌跡部分からしかＸ線が発生
しない。
領域から放出されるＸＩ！に基づいて該領域内の組成の
平均的な情報を得ようとする場合、第４図に示すような
Ｘ方向走査信号（Ｃ）及びＹ方向走査信号（ａ）によっ
て電子線を所定期間の間繰り返し走査し、その期間の検
出信号の平均値（または積算値）を求めている。この走
査信号による該電子線の試料面上での電子線の走査の軌
跡は第６図に示すようになる。第４図かられかるように
、前記Ｘ方向走査信号とＹ方向走査信号には試料面上の
Ａ点からＢ点までを繰返し走査するような同期が同期回
路７によって掛けられているため、試料面上での電子線
の軌跡は常に一定となり、第６図に点線で示す枠内の領
域では電子線の照射された軌跡部分からしかＸ線が発生
しない。
そのため、該走査によって検出されたＸ線に基づいて平
均分析を行なったとしても、該領域内の全面にわたる平
均的な分析情報が得られないということが問題とされて
いる。
均分析を行なったとしても、該領域内の全面にわたる平
均的な分析情報が得られないということが問題とされて
いる。
本発明は上記問題点を考慮し、簡単な構成の追加により
試料面上の領域の平均分析に用いて好適な、偏りのない
電子線走査を行なうことのできる電子線装置を提供する
ことを目的としている。
試料面上の領域の平均分析に用いて好適な、偏りのない
電子線走査を行なうことのできる電子線装置を提供する
ことを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、Ｘ方向走査信号及びＹ方向走査信号に基づい
て電子線を試料面上において２次元的に走査するための
偏向器と、該走査に伴って試料より得られる情報信号が
導入される試料像表示手段と、前記走査に伴い試料より
得られる特定波長あるいは特定エネルギーの電磁波また
は荷電粒子を選択的に検出して積算する手段を備えた装
置において、試料像表示モードと電子線走査領域におけ
る平均的な分析を行なう平均分析モードを備え、該平均
分析モードが選択された場合に連動して、前記偏向器に
供給するＸ方向走査信号とＹ方向走査信号の同期を外す
ようにしたことを特徴とする。
て電子線を試料面上において２次元的に走査するための
偏向器と、該走査に伴って試料より得られる情報信号が
導入される試料像表示手段と、前記走査に伴い試料より
得られる特定波長あるいは特定エネルギーの電磁波また
は荷電粒子を選択的に検出して積算する手段を備えた装
置において、試料像表示モードと電子線走査領域におけ
る平均的な分析を行なう平均分析モードを備え、該平均
分析モードが選択された場合に連動して、前記偏向器に
供給するＸ方向走査信号とＹ方向走査信号の同期を外す
ようにしたことを特徴とする。
［作用］
本発明においては、試料表示モードと電子線走査領域に
おける平均的な分析を行なう平均分析モードを備え、該
平均分析モードが選択された場合に連動して走査手段の
偏向器に供給するＸ方向走査信号とＹ方向走査信号の同
期を外し、繰返し走査することにより電子線走査領域内
で偏りのない電子線走査を行なう。
おける平均的な分析を行なう平均分析モードを備え、該
平均分析モードが選択された場合に連動して走査手段の
偏向器に供給するＸ方向走査信号とＹ方向走査信号の同
期を外し、繰返し走査することにより電子線走査領域内
で偏りのない電子線走査を行なう。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本発明の一実施例を説明するための装置構成図、第
２図は本発明の詳細な説明するためのタイミング図、第
３図は電子線走査の軌跡を示す図である。
図は本発明の一実施例を説明するための装置構成図、第
２図は本発明の詳細な説明するためのタイミング図、第
３図は電子線走査の軌跡を示す図である。
第１図において１は電子線、２ｘ、２ｙは各々Ｘ方向及
びＹ方向偏向器、３は試料、４Ｘは第２図（ｂ）に示す
ようなＸ方向走査信号を発生する走査信号発生器、４ｙ
は第２図（ａ＞に示すようなＹ方向走査信号を発生する
走査信号発生器、５は陰極線管、５ｘ、６Ｖは陰極線管
５の偏向器、７は同期回路、８は分光結晶９及びＸ線検
出器１０から成るＸ線検出装置、１１は演算処理装置、
＄１及びＳ２は切替えスイッチ、１５ｘ、１５ｙはブラ
ンキング信号発生回路、１６は加算器である。
びＹ方向偏向器、３は試料、４Ｘは第２図（ｂ）に示す
ようなＸ方向走査信号を発生する走査信号発生器、４ｙ
は第２図（ａ＞に示すようなＹ方向走査信号を発生する
走査信号発生器、５は陰極線管、５ｘ、６Ｖは陰極線管
５の偏向器、７は同期回路、８は分光結晶９及びＸ線検
出器１０から成るＸ線検出装置、１１は演算処理装置、
＄１及びＳ２は切替えスイッチ、１５ｘ、１５ｙはブラ
ンキング信号発生回路、１６は加算器である。
走査信号発生器４ｘ、 ４ｙよりの走査信号は前記Ｘ方
向及びＹ方向偏向器２Ｘ、 ２ｙに供給されると共に、
陰極線管５の偏向器６Ｘ、 ６ｙへも供給される。
向及びＹ方向偏向器２Ｘ、 ２ｙに供給されると共に、
陰極線管５の偏向器６Ｘ、 ６ｙへも供給される。
電子線１は偏向器２ｘ、２ｙによって偏向されて試料３
の面上の領域を走査する。
の面上の領域を走査する。
ここで、該電子線の走査によって試料面上の領域から得
られる情報信号に基づいて試料像を得るための試料像表
示モードが指定されると、まずスイッチＳ１及びスイッ
チＳ２が接点ａ側に接続される。そして、第５図（ａ）
に示すようなＹ方向走査信号発生器４ｙの発生する走査
信号が同期回路７に供給される。該同期回路７はＹ方向
走査信号の立上がりＹｌに応じた第５図（ｂ）に示すよ
うなトリガー信号Ｐ１を発生し、該トリが−信号によっ
て走査信号発生器４ＸがＹ方向走査信号に同期した第５
図（Ｃ）に示すようなＸ方向走査信号を繰返し発生する
。そのため、試料面上における電子線の走査の軌跡は第
６図に示すようになり、常に同じ軌道を始点（Ａ点）か
ら終点（８点）までを繰返し走査する。従って、該試料
への電子線の照射によって発生したＸ線をＸ線検出装置
８に導き特定波長のＸ線を検出し、該検出された信号を
輝度信号として該試料上の電子線の走査と同期した陰極
線管５に供給すれば、該試料のＸ線像を表示することが
できる。 ゛ 次に、電子線によって走査された試料面上の領域から放
出されるＸ線に基づいて該領域内の組成の平均的な情報
を得るための分析モードが指定されると、まずスイッチ
＄１及びスイッチＳ２が接点す側に接続され、Ｙ方向走
査信号発生器４ｙと同期回路７との接続が断たれる。そ
のため、Ｙ方向走査信号発生器４ｙの発生する走査信号
（第２図〈ａ））とＸ方向走査信号発生器４Ｘの発生す
る走査信号（第２図（ｂ））は非同期状態で偏向器２Ｘ
、２ｙに供給される。このようにＹ方向走査信号に対し
てＸ方向走査信号が非同期で与えられると、Ｙ方向走査
信号の一走査毎にＸ方向の走査の始点及び終点位置にず
れが生じてくる。
られる情報信号に基づいて試料像を得るための試料像表
示モードが指定されると、まずスイッチＳ１及びスイッ
チＳ２が接点ａ側に接続される。そして、第５図（ａ）
に示すようなＹ方向走査信号発生器４ｙの発生する走査
信号が同期回路７に供給される。該同期回路７はＹ方向
走査信号の立上がりＹｌに応じた第５図（ｂ）に示すよ
うなトリガー信号Ｐ１を発生し、該トリが−信号によっ
て走査信号発生器４ＸがＹ方向走査信号に同期した第５
図（Ｃ）に示すようなＸ方向走査信号を繰返し発生する
。そのため、試料面上における電子線の走査の軌跡は第
６図に示すようになり、常に同じ軌道を始点（Ａ点）か
ら終点（８点）までを繰返し走査する。従って、該試料
への電子線の照射によって発生したＸ線をＸ線検出装置
８に導き特定波長のＸ線を検出し、該検出された信号を
輝度信号として該試料上の電子線の走査と同期した陰極
線管５に供給すれば、該試料のＸ線像を表示することが
できる。 ゛ 次に、電子線によって走査された試料面上の領域から放
出されるＸ線に基づいて該領域内の組成の平均的な情報
を得るための分析モードが指定されると、まずスイッチ
＄１及びスイッチＳ２が接点す側に接続され、Ｙ方向走
査信号発生器４ｙと同期回路７との接続が断たれる。そ
のため、Ｙ方向走査信号発生器４ｙの発生する走査信号
（第２図〈ａ））とＸ方向走査信号発生器４Ｘの発生す
る走査信号（第２図（ｂ））は非同期状態で偏向器２Ｘ
、２ｙに供給される。このようにＹ方向走査信号に対し
てＸ方向走査信号が非同期で与えられると、Ｙ方向走査
信号の一走査毎にＸ方向の走査の始点及び終点位置にず
れが生じてくる。
そのため第３図に示すように、あるＹ方向走査ｒ！１１
間で電子線が試料面上を実線で示すような軌跡で走査し
たとすると、次のＹ方向走査期間では図中破線で示すよ
うな軌跡を走査し、更に次のＹ方向走査期間では図中−
点鎖線で示すような軌跡を走査して行く。このようにＸ
方向走査信号とＹ方向走査信号が非同期の場合、走査を
繰返しても該走査された電子線の軌跡は互いに重なり合
うことがなく、試料面上の領域をむらなく走査すること
ができる。
間で電子線が試料面上を実線で示すような軌跡で走査し
たとすると、次のＹ方向走査期間では図中破線で示すよ
うな軌跡を走査し、更に次のＹ方向走査期間では図中−
点鎖線で示すような軌跡を走査して行く。このようにＸ
方向走査信号とＹ方向走査信号が非同期の場合、走査を
繰返しても該走査された電子線の軌跡は互いに重なり合
うことがなく、試料面上の領域をむらなく走査すること
ができる。
しかし、第２図に示すような走査信号には走査が一時的
に停止する部分があり、このような部分では電子線が試
料の走査領域の縁部に一時的に停止してしまう。該停止
時間毎に試料の走査領域の縁部から放出されるＸ線は試
料面上の領域内を均一に走査して情報を得ようとする平
均分析方法においては不要な情報となる。そこで、該走
査が一時的に停止する部分に対応してＸ軸ブランキング
信号発生回路１５ｘとＹ軸ブランキング信号発生回路１
５ｙが第２図（ｃ）（ｄ）に示すようなブランキング信
号を発生する。夫々のブランキング信号は加算器１６に
よって加算され、該加算された信号（ｅ）はスイッチＳ
２を介してブランキングコイル１３に供給される。該信
号（ｅ）に基づいて電子線を走査の停止時間毎に一時的
に偏向し、ブランキングコイル１３下方に配置されるブ
ランキングアパーチャー１４によって試料への電子線照
射を遮断するようにしている。
に停止する部分があり、このような部分では電子線が試
料の走査領域の縁部に一時的に停止してしまう。該停止
時間毎に試料の走査領域の縁部から放出されるＸ線は試
料面上の領域内を均一に走査して情報を得ようとする平
均分析方法においては不要な情報となる。そこで、該走
査が一時的に停止する部分に対応してＸ軸ブランキング
信号発生回路１５ｘとＹ軸ブランキング信号発生回路１
５ｙが第２図（ｃ）（ｄ）に示すようなブランキング信
号を発生する。夫々のブランキング信号は加算器１６に
よって加算され、該加算された信号（ｅ）はスイッチＳ
２を介してブランキングコイル１３に供給される。該信
号（ｅ）に基づいて電子線を走査の停止時間毎に一時的
に偏向し、ブランキングコイル１３下方に配置されるブ
ランキングアパーチャー１４によって試料への電子線照
射を遮断するようにしている。
このような電子線の照射によって試料から発生したＸ線
をＸ線検出装置８に導き特定波長のＸ線を検出し、該検
出された信号を演算処理装置１１に供給して所定の演算
処理（例えば、所定期間にわたる積算（積分あるいは平
均化）処理）を行なえば該領域内の組成の平均的な情報
、例えば濃度平均やＸ線強度の平均情報を得ることがで
きる。
をＸ線検出装置８に導き特定波長のＸ線を検出し、該検
出された信号を演算処理装置１１に供給して所定の演算
処理（例えば、所定期間にわたる積算（積分あるいは平
均化）処理）を行なえば該領域内の組成の平均的な情報
、例えば濃度平均やＸ線強度の平均情報を得ることがで
きる。
なお、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本
発明は変形して実施することができる。
発明は変形して実施することができる。
例えば、上述した実施例においては電子線の走査によっ
て試料から放出されるＸ線をＸ線検出装置によって検出
するようにしたが、電子線の走査によって試料から放出
される二次電子、反射電子、オージェ電子などを夫々の
検出に適した検出器によって検出し積算値や平均値を求
めるようにしても良い。
て試料から放出されるＸ線をＸ線検出装置によって検出
するようにしたが、電子線の走査によって試料から放出
される二次電子、反射電子、オージェ電子などを夫々の
検出に適した検出器によって検出し積算値や平均値を求
めるようにしても良い。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、試料
像表示モードと電子線走査領域における平均的な分析を
行なう平均分析モードを備え、該平均分析モードが選択
された場合に連動して走査手段の偏向器に供給するＸ方
向走査信号とＹ方向走査信号の同期を外し、繰返し走査
することにより、電子線走査領域内で電子線走査をむら
なく行なうことが可能となり、該走査領域内から放出さ
れる情報信号に基づいて該領域内の全面にわたる平均分
析を行なうことができる。
像表示モードと電子線走査領域における平均的な分析を
行なう平均分析モードを備え、該平均分析モードが選択
された場合に連動して走査手段の偏向器に供給するＸ方
向走査信号とＹ方向走査信号の同期を外し、繰返し走査
することにより、電子線走査領域内で電子線走査をむら
なく行なうことが可能となり、該走査領域内から放出さ
れる情報信号に基づいて該領域内の全面にわたる平均分
析を行なうことができる。
第１図は本発明の一実施例を説明するための装置構成図
、第２図は本発明の詳細な説明するためのタイミング図
、第３図は電子線走査の軌跡を示す図、第４図、第５図
及び第６図は従来例を説明するための図である。 １・・・電子線、２ｘ・・・Ｘ方向偏向器、２ｙ・・・
Ｙ方向偏向器、３・・・試料、４Ｘ・・・Ｘ方向走査信
号発生器、４ｙ・・・Ｙ方向走査信号発生器、５・・・
陰極線管、６ｘ、６ｙ・・・陰極線管の偏向器、７・・
・同期回路、８・・・Ｘ線検出装置、１１・・・演算処
理装置、Ｓ’＋、Ｓ２・・・スイッチ 特許出願人 日本電子株式会社 図面の浄δ 第５図 手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示 昭和６２年特許願第２９９５００号 ２、発明の名称 電子線装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号（Ｔ Ｅ Ｌ
０４２５ （４３） １１．６５）昭和６３年２月２
３日 ５、補正の対象 図面 ６、補正の内容 第４図及び第５図を別紙のとおり補正し、第６図を別紙
のとおり追加する。 以上第５図 第６図
、第２図は本発明の詳細な説明するためのタイミング図
、第３図は電子線走査の軌跡を示す図、第４図、第５図
及び第６図は従来例を説明するための図である。 １・・・電子線、２ｘ・・・Ｘ方向偏向器、２ｙ・・・
Ｙ方向偏向器、３・・・試料、４Ｘ・・・Ｘ方向走査信
号発生器、４ｙ・・・Ｙ方向走査信号発生器、５・・・
陰極線管、６ｘ、６ｙ・・・陰極線管の偏向器、７・・
・同期回路、８・・・Ｘ線検出装置、１１・・・演算処
理装置、Ｓ’＋、Ｓ２・・・スイッチ 特許出願人 日本電子株式会社 図面の浄δ 第５図 手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示 昭和６２年特許願第２９９５００号 ２、発明の名称 電子線装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号（Ｔ Ｅ Ｌ
０４２５ （４３） １１．６５）昭和６３年２月２
３日 ５、補正の対象 図面 ６、補正の内容 第４図及び第５図を別紙のとおり補正し、第６図を別紙
のとおり追加する。 以上第５図 第６図
Claims (1)
- Ｘ方向走査信号及びＹ方向走査信号に基づいて電子線を
試料面上において２次元的に走査するための偏向器と、
該走査に伴つて試料より得られる情報信号が導入される
試料像表示手段と、前記走査に伴い試料より得られる特
定波長あるいは特定エネルギーの電磁波または荷電粒子
を選択的に検出して積算する手段を備えた装置において
、試料像表示モードと電子線走査領域における平均的な
分析を行なう平均分析モードを備え、該平均分析モード
が選択された場合に連動して、前記偏向器に供給するＸ
方向走査信号とＹ方向走査信号の同期を外すようにした
ことを特徴とする電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62299500A JPH01143128A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62299500A JPH01143128A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 電子線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143128A true JPH01143128A (ja) | 1989-06-05 |
Family
ID=17873381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62299500A Pending JPH01143128A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01143128A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4934855A (ja) * | 1972-07-31 | 1974-03-30 | ||
| JPS55165559A (en) * | 1979-06-11 | 1980-12-24 | Hitachi Ltd | Scanning electron microscope |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP62299500A patent/JPH01143128A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4934855A (ja) * | 1972-07-31 | 1974-03-30 | ||
| JPS55165559A (en) * | 1979-06-11 | 1980-12-24 | Hitachi Ltd | Scanning electron microscope |
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