JPH01140963A

JPH01140963A - 工作物を機械加工する装置

Info

Publication number: JPH01140963A
Application number: JP63173646A
Authority: JP
Inventors: Allan L Holmstrand; アラン　ローレンス　ホルムストランド
Original assignee: Magnetic Peripherals Inc
Current assignee: Magnetic Peripherals Inc
Priority date: 1987-11-23
Filing date: 1988-07-12
Publication date: 1989-06-02
Also published as: EP0318134A2; US4850157A; AU2217488A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】イ０発明の背景本発明は工作物の表面の研磨に係り、そして特にラップ
仕上面及び研磨液またはスラリを使用する磁気変換ヘッ
ドの高精密ラップ仕上げに係る。

データ記憶装置の広範な種類を通じて、不変なものの一
つと思われるのは記憶データ密度の増加に指向される常
に存在する挑戦である。これは特定表面積においてより
多いデータの記憶を可能にするとともに装置の小型化を
実現し、その結果としてマイクａインｆｃ　Ｏ，０００
０２５４０ｉｕＩｌ）単位で計測される直線寸法及び平
面性に対する公差を厳しくする。そのような公差はそれ
らに対応し得る機械加工工程及び装置を要求する。米国
特許第４２７０３１６号（クレーマー）には半導体ディ
スクを研磨する工程であって、弾性体が圧力ビストンと
キャリヤ板の背面との間に位置され、それにより、これ
ら部材間の圧力伝達の変動を小さくシ、その結果として
前記ディスクの全域において厚さがより均一になるよう
にされたものが開示されている。また、バンクスリ米国
特許第４２５６５６５号においては、基板と半導体ウェ
ーハーとを回転研磨パッド上に配置するに先立って、水
の薄層が基板と該基板上に取付けられる半導体ウェーハ
ーとの間に配置される。

可撓のディスク上の磁気酸化物コーティングを琢磨する
装置がハモンドの米国特許第４３４７６８９号に開示されている。磨き仕上げされ
る表面に対して運動するようにヘッドが琢磨テープを支
持てる。変形自在の綿棒が前記ヘッドの円筒形のスロッ
ト内に収容され、綿棒の露出面が伸縮自在に変形されて
前記テープと接触する。

さらに、リーの米国特許第４４５９７８１号には研削装
置または研磨装置であって混合研磨粒子がスクリーン印
刷または遠心法によって研磨車の中心へ向かってＩｉ［
する粒子寸法の複数の同心リングとして形作られている
ものが開示される。かくして、より精緻な磨き仕上げが
単に工作物を研磨車に対して半径方向内方へ運動させる
ことによって達成される。

ディスクドライブにおいて例えば回転磁気ディスクと共
に使用される磁気変換ヘッドは特に精密な製造公差を要
求される。典型的な研磨装置は研磨粒子（例えばダイヤ
モンド微砕片）が植設されているラップ仕上面と、研磨
スラリ、例えばダイヤモンド微砕片のごとき研磨粒子な
包有する水溶性グリコールペース、とを有する。ヘネン
フエント外の米国特許第４５３６９９２号に説明される
ｊ５に、薄フィルムへツｒにおいては磁束ギャップの喉
高さを制御することが絶対必要である６薄フイルム変換
器は典型的に導電材料（例えばアルミニウム）及び磁束
伝導コアまたは磁極片材料の層を比較的大きい本体また
はスライダ、典型的にはフェライト、の片側に沿って結
合することによって形成される。使用時、前記スライダ
の平坦な底面は空気の薄１−によって支持されるディス
クの水平磁気記録面から垂直方向に離されて位置される
。金属層及び磁極片はスライダの垂直縁、典型的には逆
縁、に沿って位置される。

データ密度を増すだめの主要な配置は、磁極片（明確に
は磁極端）と磁気記録面とり間の垂直距離の制御及び極
小化を言む。こり目的のため、スライダ底面と磁極端は
可能な程度まで同一平面上に在るべきである。しかし、
金属層及び磁極片１−はフェライトのスライダよりも研
磨除去され易いから、常規ラップ仕上げはこれら層をよ
り容易に除去する傾向があり、磁極端凹みとして知られ
る問題を生じさせる。磁極端凹みの結果として、コア材
料はスライダ底面より大きい距離を以て磁気記録面から
離隔される。

関連欠陥または同一平面性からの逸脱は、金属層及びコ
ア層から構成される磁気変換ヘッドの縁の意図的でない
丸みつけである。この丸みつけは時には逆縁フックとし
て言及され、ラップ仕上面が最初に磁気変換層と遭遇す
る方向に運動されるとき生じる。丸みの湾曲形状は磁極
片の高さに必ずしも影響を及ぼさないが、それは磁気変
換ヘッドの空力学的特性に望ましからざる影響な及ぼ丁
。

磁極端凹み及び湾曲形状は研磨速匿を緩めることによっ
て減じられ得るが、これは機械加工時間な実質的に増重
という望まれない副作用を有する。

従って、本発明の目的は、全研磨時間のいかなる実質的
の減少も伴うことなしに同一平面性を改善し得るラップ
仕上げ法を提供することである。

本発明の他の一目的は、研磨ラップ仕上面と共に研磨ス
ラリな便用し研磨間σフ選択された時点えおいて工作物
から研磨スラリを転向離脱させる装置を提供することで
ある。

本発明の他のもう一つの目的は、米国特許第４５３６９
９２号に開示される精密ラップ仕上システムにおいて使
用するのに特に適する引込自在σンワイパ装置であって
、研磨スラリを工作物の回りに沿って通過するように案
内するため選択された時点において工作物直前でラップ
仕上板に対しぬぐい係合するようにＵ！され得るものを
提供することである。

口０発明の摘要これら及びその他の目的を達成するため、工作物を機械
加工する装置が設けられる。該装置は実質的に剛性のフ
レームと、該フレームに対し運動可能に取付けられそし
て実質的に平坦で水平のラップ仕上面を有するラップ仕
上部材とを有する。

工作物キャリヤが工作物を選択された向きにおいてラッ
プ仕上部に対して位置させるため前記フレ−ムに対して
取付けられる。研磨剤補給手段がフレームに対する選択
位置においてラップ仕上面に研磨スラリを提供でる。フ
レームに対し概ね長手の第１の方向にラップ仕上部材を
運動させ、それにより研磨スラリを、そのように提供さ
れるとき、工作物の方向へ運搬する手段が設けられる。

本装置は案内部材と、作用位置と引込位置σ】どちらか
一方に該案内部材を選択的に支持するだめの往復・運動
し得る支持手段とを有でる。前記案内部材は、作用位置
に在るとき、工作物の横断方向寸法と少なくとも同じ大
きさの横断方向距離に亘るラップ仕上面のぬぐい部分上
においてラップ仕上面に対しぬぐい係合していて、それ
Ｋより研磨スラリを、そのようにラップ仕上部材により
運搬されるとき、工作物から遠ざかるよう横断方向に実
質的に転向させる。引込められたとき、前記案内部材は
ラップ仕上面から離隔され、それによりラップ仕上部材
が研磨スラリを工作物へ運搬するのを許丁。

好ましくは、前記案内部材は細長い実質的に剛性の横向
きり案内棒により支持されるネオプレンから成るワイパ
ブレードである。案内棒はヨークにより支持され、そし
て長手方向軸線を中心としてヨークに対して枢動し得る
。ヨーク自体は工作物キャリヤに対して横断方向軸線を
中心として枢動自在に支持され得る。ラッチアームが案
内棒を選択的に引込めそして釈放するために工作物キャ
リヤに枢動自在に取付けられ得る。釈放されたとき、ワ
イパブレードはラップ仕上面上に静止して重力により該
ラップ仕上面に接して維持される。

回転ラップ仕上板と共に便用されるとき、ワイパブレー
ドは好ましくは回転ラップ仕上板に対して半径方向に整
合され、従ってそれは研磨スラリを実質的に均等に両側
へ転向させる傾向を発揮する。その結果、ラップ仕上面
と接触しているとき、ワイパブレードはその背後に工作
物を包囲する実質的に乾いたラップ仕上板区域を構成す
る。しかし、比較的急速に、研磨スラリの対向転向部分
は再び一緒に流れる傾向を有し、従って米国特許第４５
５６９９２号の８５図に図示されるそれのごとき多工作
物構成疋おいては、工作物の一つりための案内部材がぬ
ぐい保合の状態にされ得、一方、研磨ス２りが残余の工
作物へ提供される。

前記乾いたラップ仕上板区域においては、研磨スラリの
自由流れの址は実質的に減じられ、それによりラップ仕
上げの速度が遅くなる傾向がある。

しかし、磁気変換ヘッドのラップ仕上げに関連して乾板
ラップ仕上げは同一平面性を実質的に改善する。例えば
、乾いた板によるラップ仕上げの方式は、平均０．ＤＯ
ＯＯ６ＯＲＩＫ（２４μｉｎ）から０．００００３８０
ａｍ（１５μｉｎ　）磁極端凹みを実質的に減じること
が判明した。また、平均を中心とする分布（即ち平均か
らの偏差）はより大きいコンシスチンシーに対しても減
じられる。

本発明に従えば、ワイパ案内がおそらく材料除去の最後
の約５チの間に選択的に使用される。そり）結果として
、全ラップ仕上げ時間の僅少な増加と引き換えに磁極端
凹みり実質的な削減が達成され、逆縁のフック即ち湾曲
「ヒが事災上無（される。

以上及びその他の目的及び利点をより良く理解するため
に、以下詳細な説明及び図面に対しさらに参照が為され
る。

ハ、好適実施ガの詳細な説明添付図面を参照すると、第１図には工作物の精密機械加
工を行うためのラップ仕上装置１６が図示される。２ツ
ゾ仕上装置１６は４本の脚によって支持されたフレーム
１８を有する。脚の１本が２０を以て部分的に示されて
いる。ラップ仕上板２２は垂直の軸線を中心として回転
するように前記フレーム１８に対して取付けられ、そし
て環状で水平のラップ仕上面２４を有する。

細長いキャリヤアーム２６を有するキャリヤアーム組立
体が万能アームピボット２８、アーム支持カラー３．０
及び垂直、の下軸３２を有する。フレーム１８下方のカ
ム３４は　キャリヤアーム２６が工作物をラップ仕上面
２４上に支持てるときフレーム１８に対するその傾斜度
を選択的に決定するよ５に前記下軸３２を持上げるため
に回転され得る。

工作物ホルダ３６が、キャリヤアーム２６の前端部にお
いて、ねじ４２によって第１と第２０下垂アーム部分３
８．４０間に支持される。前記ねじ４２は第１の下垂ア
ーム部分３８を貫いて長手方向に延びそして工作物ホル
ダ３６を第２の下垂アーム部分４０に当接させて摩擦に
より確保てる。

一方、工作物ホルダ３６は工作物、この場合スライダ棒
４４、を支持する。ワイパ案内組立体４６が第１の下垂
アーム部分３８の近くにおいてキャリヤアーム２６に対
して支持され、それにより、ラップ仕上面２４上の作用
位置と、キャリヤアーム２６の前端部に枢動自在に取付
けられたラッチアーム４８により支持される引込位置と
の間においてキャリヤアーム２６に対し往復動するよう
にされている。

おもり５０がキャリヤアーム２６に対して長手方向に摺
動するように取付けられている。エントレ°スベルト５
２が遊動プーリ５４及び被動ゾーリ５６を前記おもり５
０と駆動可能に関連させ、それにより、キャリヤアーム
２６の後端部に概略的に図示されるモータ５８は、キャ
リヤアーム２６に沿って前記おもり５０を制御自在に位
置させ、これにより、工作物に及ぼされる下向きの力の
量を制御し得る。モータ５８の下には、キャリヤアーム
２６に対し横断方向に運動可能の第２のおもり６０が配
置され、それにより、工作物に及ぼされる力の分配をさ
らに制御するようにされている。

作動器リンク６２がラッチアーム４８に対して枢動自在
に取付けられており、そして前記おもり５０と一体に設
けられたリンク支持ブラケット６４に対し摺動する。こ
れは、後に説明されるように、前記おもり５０の運動を
通じてワイパ案内組立体４６の制御を可能にする。容器
６５が研磨スラリを収容しそしてそれをノズル６７を通
じてラップ仕上面２４に供給する。後続の諸口面はワイ
パ案内組立体に向けられるが、ラップ仕上装置１６のそ
の他の特徴に関してより詳細な事項に関心を有する人は
、前記米国特許第４５３６９９２号を検討することが望
まれる。

第２図〜＄５図は前記ワイパ案内組立体４６をより詳細
に図示する。第１及び第２のワイパ案内支持ブラケット
６６．６８が、キャリヤアーム２６にその平行して対向
配置される延長部７０゜７２において一体的に取付けら
れる。各ワイパ案内支持ブラケット６６．６８ｋ”！、
キャリヤアーム２６に直接結合された水平の上脚７４と
、下垂する直立中間部分７６と、該直立中間部分７６の
前方へ延ばされた水平の下脚７８とを有する。穴８０が
各下脚７８にその前端に接近して設けられる。

実質的に剛性のヨーク８２が、横断方向軸線を中心とし
て枢動するように、ピン８４．８６を介してワイパ案内
支持ブラケット６６．６８に対して支持されている。ヨ
ーク８２は横断方向に延ばされた中心本体部分８８を有
し、該中心本体部分はそり互いに反対の端に第１と第２
の平行して対向する長手方向の延長部９０，９２を有す
る。ビン８４．８６はそれぞれ延長部９０．９２０前端
に接近して固定される。中心本体部分８８（Ｉ）中央を
貫いて長手方向の穴９４が形成される。該長手方向の穴
９４に通された肩ねじ９６は、その拡大された頭部とは
反対側のヨーク８２の側面に保持リング９８によって確
保される。

案内棒１００は肩ねじ９６の後方突出部分を受容するた
め中心に配置された穴を有し、それにより案内棒１００
は長手方向の軸線を中心としてヨーク８２に対し枢動自
在に取付けられている。スロット１０４が案内棒１００
の概ね全長に沿って延びそして該案内棒１００の下向き
面に対して開いている。前記スロット１０４内には細長
いワイパブレード１０６が支持される。ワイパブレード
１０６はネオゾレンから製作されることが好ましいが、
その他の材料例えば各種のシリコーンゴムまたはウレタ
ンも使用され得る。主要な考慮事項は可撓性並びに研磨
スラリとの１ヒ学的両立性である。ワイパブレード１０
６は細長くそして矩形の横断面を有し、その垂直に配置
された横断面幅は水平に配置された横断面厚さより実質
的に大きい。

ワイパブレード１０６は案内棒１００を越えて下方へ突
出している。案内棒１００はヨーク８２に対し枢動自在
に取付けられているから、ワイパブレード１０６はラッ
プ仕上面２４に正確に追随し得、ビン８４．８６がヨー
ク８２をラップ仕上面２４に対して精密に整合させて支
持することを必要としない。

その作動位置においてワイパデレーｐ１ｏｓは横断方向
から少し傾斜したぬぐい面区域１０８に沿ってラップ仕
上面２４と接触する（第３図）。

対照的に１工作物対ラップ仕上面の接触を表型破線によ
り示される作用面区域１１０は横断方向である。これは
ラップ仕上面２４の輪郭が環状であることによる。詳細
には、前記作用面区域１１０はラップ仕上板２２０半径
に対し概ね整合される。

ワイパブレード１０６は同様にラップ仕上面の半径に対
して整合され、従って研磨スラリを反対半径方向に実質
的忙均等に案内する即ち転向させる働きをする。従って
、転向された研磨スラリは作用面区域１１０を両側にお
いて包囲し、それにより、研磨スラリの全部またはほと
んどを片側に転向させる望ましからざる１除雪機”効果
を防止し得る。

さらに、第３図から、ぬぐい面区域１０８は作用面区域
１１０の横断方向長さより大きい横断方向長さを有する
ことが明らかである。この構成は液状研磨スラリか、粘
性ではあるが、ラップ仕上面２４上を横断方向に流れそ
してラップ仕上面２４と接触しているときりワイパブレ
ード１０６によって生じる二つのスラリの流れを合流さ
せる傾向の故に好適とされる。要するに、これは作用面
区域１１０が実質的に研磨スラリの存在しない状態に保
たれることを保証する。これと同時に、研磨スラリの流
れは例えば米国特許第４５３６９９２号の第５図に図示されるマルチキャリ
ヤアーム機構において後の工作物と遭遇する十分前に互
いＩｃｅ流する。

第２図において、ラッチアーム４８はその直立即ちラッ
チ掛け位置において実線を以て図示され、ラッチアーム
４８の底から下垂したラッチ１１２は前記位置において
ヨーク８２と係合しそしてそれを図示σ〕ごとき上後方
傾斜位１ｉｌＩＫ支持し、それにより、ワイパプレーｖ
１０６をラップ仕上面２４から離された状態に支持てる
。図面において見たとき時計回り九回転されるとき、ラ
ッチアーム４８は前記ラッチ１１２をヨーク８２から離
脱させ、それにより、ワイパブレード１０６がラップ仕
上面２４に接触するまでヨーク８２が逆時計回りに回転
するのを許丁。二ンｒレスベルト５２を通じてモータ５
Ｂによって選択的に駆動される前記おもり５０は、ラッ
チアーム４８をその直立位置と釈放位置との間において
選択的に運動させるための作動器部材として機能する。

リンク支持プラケット６４０反対両側において作動器リ
ンク６２に取付けられた第１及び第２の保持リング１１
４．１１６は、作動器リンク６２に対する前記リンク支
持ブラケット６４の摺動を制限する。より明細に記述す
ると、前記おもり５０が第２図において実線で示される
その最後方位置まで運動されたとき、前記リンク支持ブ
ラケット６４は座金１１８に遭遇しそして該座金１１８
とｇｇｌの保持リング１１４との間においてコイルばね
１２０を圧縮し、これにより、図面において見たとき左
方へ作動器リンク６２を並進させるとともにラッチアー
ム４８をその直立位置まで逆時計回りに回転させる。前
記コイルばね１２０及び座金１１８は保持リング１１４
の位置決めのための他方式ならば厳しい公差を拡大する
。ラッチアーム４８が直立しているとき、リンク支持ブ
ラケット６４は前記おもり５０がその厳罰方位置に達す
る前に第２の保持リング１１６に遭遇する。前記おもり
５０及びブラケット６４のさらに連続される前進運動は
保持リング１１６を破線で示される前進位置１１６ａへ
到達させる。これは作動器リンク６２を前方へ並進させ
、それにより、ラッチアーム４８を時計回りに枢動させ
るとともに前記ヨーク８２を釈放する。

おもり５０の最前方及び最後方位置はスライダ棒４４に
及ぼされる下向きの力を制御するため使用されるときの
その正規作用範囲を越えていることが好ましい（前記米
国特許第４５３６９９２号参照）。作動される場合を除
いてラッチアーム４８における枢動する傾向をすべて防
止するため、ばね座金１２２（第４図）が２ツチアーム
４８をワイパ案内支持ブラケット６８に枢Ｎてる肩ばね
１２４との間に配置される。リンク支持ブラケット６４
に形成された直角スロット１２６が前記作動器リンク６
２を摺動自在に支持する。

第５図及び第３図はそれぞれ釈放位置及び中間位置にお
いてラッチアーム４８を概略的に図示する。第５図に示
されるようにヨーク８２がラッチ１１２から離脱してい
るとき、ワイパデレーｒ１０６はラップ仕上面２４と接
触し、案内棒１−００を支持し、そして肩ねじ９６を通
じてヨーク８２をも支持する。

ラッチアーム４８は逆時計回りに枢動するとき、ラッチ
１１２を詳細には第５図及び第３図で見るときヨーク８
２の下左隅においてヨーク８２と接触するよ５に移動さ
せる。ラッチアーム４８がさらに逆時計回りに枢動する
ことによって、ラッチ１１２はヨーク８２の下へ移動さ
れ、ヨーク８２を時計回りに枢動するように持上げ、最
後に第２図に示される傾斜位置に到達させる。ヨーク８
２及び案内棒１００が引込められるとき、肩ねじ９６り
長手方向軸線を中心とする案内棒の枢動は前アーム延長
部γ０，７２によって阻止される。

ばね座金１２２及び肩ねじ１２４はラッチアーム４８を
それが作動器リンク６２の前進運動を通じて時計回りに
枢動されるまで直立姿勢に維持する。

そのような枢動によりラッチ１１２はヨーク８２から離
脱するように運動され、それとともに案内棒１００及び
ワイパブレード１０６は下降して再びラップ仕上面２４
へ達する。

以上述べたように、本発明のラップ仕上装置１６は、第
７図に示されるヘッド１２８のごとき１　ｍまたは複数
個の磁気変換ヘッドを有する工作物の精密研磨に特に好
適である。使用時、ヘッド１２８は磁気ディスク１３４
の記録面１３２の僅少の凹凸に対する調整における自由
度を許丁ようにシンバルスプリング１３０または°その
他の手段によって支持される。磁気ディスク１３４は、
矢印の方向（図面において左方）への磁気ディスク１３
４に相関する１運動”と、ヘッド１２８がその底面１３
６を厚さｔを有するエアクツション上に記録面１３２か
ら離して支持されるように十分な速度とをヘッド１２Ｂ
に付与するように回転される。既に言及されたように、
スライダ１４２の逆縁に沿って配置される金属層及びコ
アまたは磁極片１４８は研磨剤によってより容易に除去
され、従って第７図に距離ｄとして示されるごときアン
ダカットまたは磁極端後退を生じさせる。その結果とし
て、磁極端は記録面１３２から距離ｔ＋ｄを以て離され
る。データ密度の増加は磁極端／記録面分離距離の最小
化に部分的に依存するから、前記距離ｄを可能なかぎり
減じることが有利である。

本発明に従えば、距離ｄはワイパ案内組立体４６の適正
調時釈放を通じて実質的に減じられる。

−例として、ヘッド１２８の底面１３６は、前記米国特
許第４５３６９９２号に記載される方式罠よって、ラッ
プ仕上工程の後に複数σノヘッドな有する工作物の一部
分が分離される間に機械加工される。そのようなラップ
仕上げは材料の約０−０１５２ｍ（６００μｌｎ　）の
除去を言み得る。

材料の概ね９５％、即ち最初の約０．０１４１ｊｌ（５
７０μｉｎ　＞　、は前記米国特許第４５３６９９２号
に説明される方式でラップ仕上げされる。しかし、材料
の約０．０００７６ｕｌ（３０μｉｎ　＞が残っている
点が、ラップ仕上げが完了される点に代えて感知される
ことにおいて異なる。残っている約０．０００７６Ｉｊ
Ｉ（３０μｉｎ　＞ｃｖ感知に応答して、モータ５８は
前記おもり５０をその最前方位置へ移動させるように作
動され、それにより、ラッチアーム４Ｂを時計回りに枢
動させる（第２図）とともにヨーク８２を釈放てる。ワ
イパブレード１０６はスライダ棒４４の直前の適所に降
下し。

それにより、作用面区域１１０りまわりと向こう側とに
研磨スラリのほとんどを横断方向に案内または転向させ
る。その結果として、最後の約０．０００７＜５ＩＬＩ
Ｉ（，５０μｉｎ　）のラップ仕上げの過程にわたって
、作用面区域１１０のラップ仕上面２４は比較的乾いて
いる、即ち研磨スラリ及びその自由遊動研磨粒子がそこ
に存在しない。

乾式ラップ仕上面アプローチにおいては、磁極端の後退
は著しく軽微であることが認められた。

実際において、距離ｄは、その平均値に関して、約０．
００００６Ｕ（２，４μｉｎ　）　カラ約０．００００
３８ｓｕｃ（１，５μｉｎ　）へ減じられた。距離ｄの
平均値からの偏倚の減少の見地において一貫性の向上が
達成された。さらにもう一つの利点は、逆縁７ツクの事
実上の排除である。勿論、必然的に乾いたラップ仕上面
は減じられた速度で材料を除去する。

しかし、ワイパ案内組立体は材料除去の単に最終５％の
間に釈放されるから、減少されたラップ仕上速度の全ラ
ップ仕上時間に対する影響は最小である。

かくのごとく、本発明は精密な表面を形成するため研磨
スラリと一緒に使用され得る比較的高い速度の制御され
た組合わせと、材料除去の最後の極めて重要な微小長さ
に亘るより正確なドライラップ仕上げとを可能にする。

変換ヘッドの浮動面のラップ仕上げに特に好適であるが
、本発明は研磨工程の予決定部分に亙って研磨スラリを
特定工作物から隔離して誘導することが望まれる研磨ス
２りを使用する丁べての研磨工程において使用され得る
。ワイパ案内組立体は複数の工作物が単一研磨面と接触
する作業には特に好適である。その場合、１個または複
数個の選択された工作物は本質的に乾いた面によって研
磨され得、残余σン工作物は研磨スラリにさらされ、こ
れらの過程の全てにおいて、研磨スラリの補給における
いかなる中断または調整も必要としない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従って磁気変換ヘッドのラップ仕上げ
を行う装置の斜視図である。第２図は第１図に示された装置の工作物を担持てるアー
ム及び該アームに対して支持されるワイパ案内組立体を
示す拡大された側面図である。第３図はワイパ案内組立体をさらに説明する第２図のア
ームの一部分の上面図である。第４図は第２図のアーム及びワイパ案内組立体の前面図
である。第５図及び第３図はワイパ案内組立体を選択的に釈放し
そして引込めるため設けられたラッチの作動を概略的に
説明する側面図である。第７図は磁気変換ヘッド及び磁気ディスクな示す拡大さ
れた斜視図である。図面上、１６・・・ラップ仕上装置、１８・・・フレー
ム、２２・・・ラップ仕上板、２４・・・ラップ仕上面
、２６・・・キャリヤアーム、３６・・・工作物ホルダ
、４４・・・工作物、４６・・・ワイパ案内組立体、４
８・・・ラッチアーム、５０・・・おもり、５８・・・
モータ、６２・・・作動器リンク、６５・・・容器、６
６・・・ワイパ案内支持ブラケット、８２・・・ヨーク
、１００・・・案内棒、１０６．・・ワイパプレーｐ、
１ｏａ・・・ぬく″Ｔ、−面区域、１１２・・・ラッチ
。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）実質的に剛性のフレームと、該フレームに対し運
動自在に取付けられそして実質的に平坦で水平のラツプ
仕上面を有するラツプ仕上部材と、選択された向きを以
て前記ラツプ仕上面に対し工作物を適所に位置させるた
め前記フレームに対して取付けられた工作物キャリヤと
、前記フレームに対する一選択位置においてラップ仕上
面に研磨スラリを供給するための研磨剤供給手段と、前
記フレームに対し概ね長手の第１の方向に前記ラツプ仕
上部材を運動させ、それにより研磨スラリを、そのよう
に供給されるとき、前記工作物へ運搬するようにされた
手段と、案内部材並びに該案内部材を作用位置と引込位
置のどちらか一方に選択的に支持するための往復運動し
得る支持手段とを有する工作物を機械加工する装置にお
いて、前記案内部材が、作用位置に在るとき、前記工作
物の横断方向寸法と少なくとも同じ大きさの横断方向距
離に亘る前記ラップ仕上面のぬぐい区域上において前記
ラップ仕上面とぬぐい係合していて、それにより研磨ス
ラリを、そのように前記ラツプ仕上部材により運搬され
るとき、前記工作物から遠ざかるように横断方向に実質
的に転向させ、そして前記案内部材が引込められたとき
前記ラツプ仕上面から離隔されそれによりラツプ仕上部
材が研磨スラリを工作物へ運搬することを可能にするよ
うに構成されることを特徴とする工作物を機械加工する
装置。
（２）特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記
支持手段が前記工作物キャリヤに対して往復運動するよ
うに取付けられている工作物を機械加工する装置。
（３）特許請求の範囲第２項記載の装置において、前記
工作物キャリヤが実質的に剛性の細長いアームであつて
その第１の端の近くで前記フレームに取付けられそして
その反対自由端において前記工作物を支持するものを有
し、そして前記支持装置が前記案内部材を支持しそして
前記アームの自由端に対して実質的に横断方向の軸線を
中心として枢動するようにその両反対端において取付け
られたヨークを有する工作物を機械加工する装置。
（４）特許請求の範囲第３項記載の装置において、さら
に、前記案内部材を固定的に支持するための細長い実質
的に剛性の棒を有し、該棒が前記ヨーク及び該棒の実質
的に中心に位置される長手方向軸線を中心として前記ヨ
ークに対し枢動自在に取付けられている工作物を機械加
工する装置。
（５）特許請求の範囲第４項記載の装置において、前記
案内部材が概ね横断方向に延びるスロツト内に支持され
た細長い可撓のワイパブレードを有し、前記スロツトが
前記棒の実質的に全長に亘つて延びそして前記棒の底面
に沿つて開いており、それにより前記底面を越えて下方
への前記ワイパブレードの延伸を許すようにされた工作
物を機械加工する装置。
（６）特許請求の範囲第５項記載の装置において、前記
ワイパブレードがネオプレンから成りそして実質的に矩
形でありその横断面の幅がその横断面の厚さより実質的
に大きく、そして前記ワイパブレードが、作用位置にお
いて、その幅寸法を実質的に直立させた向きにされる工
作物を機械加工する装置。
（７）特許請求の範囲第２項記載の装置において、前記
案内部材が細長い弾性変形自在のワイパブレードを有す
る工作物を機械加工する装置。
（８）特許請求の範囲第７項記載の装置において、前記
ワイパブレードが概ね横断方向に延び、前記ワイパブレ
ードの反対両端部が前記工作物の反対両横端部を越えて
横断方向に延びている工作物を機械加工する装置。
（９）特許請求の範囲第２項記載の装置において、さら
に、前記工作物キャリヤに取付けられたラッチアームを
有し、該ラッチアームが前記支持手段を前記引込位置に
保持するラッチ掛け位置と該ラッチアームが前記支持手
段が重力に応答する前記作用位置へ移動するのを許す釈
放位置との間において前記ラッチアームが前記工作物キ
ャリヤに対して運動するようにされている工作物を機械
加工する装置。
（１０）特許請求の範囲第９項記載の装置において、前
記ラツチアームが前記工作物キャリヤに対して枢動自在
に取付けられている工作物を機械加工する装置。
（１１）特許請求の範囲第１０項記載の装置において、
さらに、ラッチアームが釈放位置からラッチ掛け位置へ
枢動されるにともなつて前記支持手段を捕捉してそれを
前記引込位置へ案内するために、前記支持手段に最も近
い前記ラッチアームの端にラツチを有する工作物を機械
加工する装置。
（１２）特許請求の範囲第１１項記載の装置において、
さらに、前記ラッチアームを枢動させる作動手段を有し
、該作動手段が、前記工作物キャリヤに沿つて長手方向
に往復動するよう工作物キャリヤに対して取付けられた
作動器部材と、概ね横断方向の軸線を中心として枢動す
るように前記ラッチアームに一端で取付けられた細長い
リンク部材と、該リンク部材を摺動自在に支持するため
に前記作動器部材と一体に形成された作動器ブラケット
と、前記リンク部材に対する前記作動器部材の長手方向
運動を制限するため前記作動器ブラケットの反対両側に
おいて前記リンク部材に固定された第１と第２の止め部
材とを有する工作物を機械加工する装置。
（１３）特許請求の範囲第１２項記載の装置において、
さらに、前記作動器ブラケツトと前記ラッチアームから
最も遠く位置された前記第１及び第２の止め部材の一つ
との間に圧縮ばねを有する工作物を機械加工する装置。
（１４）特許請求の範囲第１３項記載の装置において、
さらに、前記リンク部材によつて並進運動されないとき
前記工作物キャリヤに対する前記ラッチアームの位置を
維持するため前記工作物キャリヤと前記ラッチアームと
の間に摩擦手段を有する工作物を機械加工する装置。
（１５）実質的に剛性のフレームと、該フレームに対し
て垂直の軸線を中心として回転自在に取付けられそして
実質的に平坦で水平の上ラツプ仕上面を有する環状のラ
ツプ仕上板と、選択された向きを以て前記ラップ仕上面
上において工作物を適所に位置させるため前記フレーム
に対して取付けられた細長いキャリヤアームと、前記フ
レームに対する一選択位置においてラップ仕上面に研磨
スラリを供給するための研磨剤供給手段と、前記フレー
ムに対し第１の方向に前記ラップ仕上板を回転させ、そ
れにより研磨スラリを、そのように供給されるとき、前
記工作物へ運搬するようにされた手段と、案内部材並び
に該案内部材を作用位置と引込位置のどちらか一方に選
択的に支持するため前記キャリヤアームに対し往復運動
自在に取付けられた支持手段とを有する工作物をラップ
仕上げする装置において、前記案内部材が、作用位置に
在るとき、前記工作物の横断方向寸法と少なくとも同じ
大きさの横断方向距離に亘る前記ラツプ仕上面のぬぐい
区域上において前記ラツプ仕上面とぬぐい係合していて
、それにより研磨スラリを、そのように前記ラップ仕上
板により運搬されるとき、前記工作物から遠ざかるよう
に横断方向に実質的に転向させ、そして前記案内部材が
引込められたとき前記ラップ仕上面から離隔されそれに
より前記ラツプ仕上板が研磨スラリを工作物へ運搬する
ことを可能にするように構成されることを特徴とする工
作物をラツプ仕上げする装置。
（１６）特許請求の範囲第１５項記載の装置において、
前記工作物が細長くそしてその長さ寸法が前記工作物と
ラップ仕上板とが隣接する前記ラツプ仕上面の作用面区
域に沿つて前記ラツプ仕上板の第１の半径に対して平行
するように向かされる工作物をラップ仕上げする装置。
（１７）特許請求の範囲第１６項記載の装置において、
前記案内部材が細長いワイパブレードを有し、そして前
記支持手段が、前記ワイパブレードを工作物に対して選
択的に傾斜させてその長さ寸法を前記ぬぐい区域に沿つ
てラツプ仕上板の第２の半径に実質的に平行するように
向かせて、前記ワイパブレードを工作物に対し最も近い
離隔関係に適切に位置させる工作物をラツプ仕上げする
装置。
（１８）特許請求の範囲第１７項記載の装置において、
前記ワイパブレードがその横断面厚さより実質的に大き
い横断面幅を有する矩形であり、そして前記支持手段が
前記ワイパブレードの幅寸法を実質的に垂直に維持する
工作物をラップ仕上げする装置。
（１９）特許請求の範囲第１８項記載の装置において、
前記ワイパブレードが前記工作物より実質的に長い工作
物をラップ仕上げする装置。
（２０）特許請求の範囲第１２項記載の装置において、
前記工作物キャリヤがその一端において前記フレームに
対して枢動自在に取付けられ、そして前記作動器部材が
前記工作物キャリヤを通じて前記工作物へ伝達される垂
直方向下向きの力を選択的に変えるために前記工作物の
長さに沿つて選択的に適切に位置され得るおもりから成
る工作物をラツプ仕上げする装置。