JPH01139430U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01139430U JPH01139430U JP3647188U JP3647188U JPH01139430U JP H01139430 U JPH01139430 U JP H01139430U JP 3647188 U JP3647188 U JP 3647188U JP 3647188 U JP3647188 U JP 3647188U JP H01139430 U JPH01139430 U JP H01139430U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- circuit device
- contacting
- bonding
- directly connected
- Prior art date
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- Pending
Links
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- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図ａは本考案の第１実施例の部分平面図、
同図ｂは同図ａのＡ―Ａ断面図、第２図ａは本考
案の第２実施例の部分平面図、同図ｂは同図ａの
Ａ―Ａ断面図、第３図は従来の集積回路装置の部
分断面図である。 １……半導体基板、２，２′……下部金属膜、
３……層間絶縁膜、４……電気メツキ用アルミ膜
、５……バリア層、６……第１パツト（バンプ）
、７……第２パツト、８……表面保護膜、９……
配線用アルミ。
同図ｂは同図ａのＡ―Ａ断面図、第２図ａは本考
案の第２実施例の部分平面図、同図ｂは同図ａの
Ａ―Ａ断面図、第３図は従来の集積回路装置の部
分断面図である。 １……半導体基板、２，２′……下部金属膜、
３……層間絶縁膜、４……電気メツキ用アルミ膜
、５……バリア層、６……第１パツト（バンプ）
、７……第２パツト、８……表面保護膜、９……
配線用アルミ。
Claims (1)
- 入出力端子としての電極パツトが集積回路チツ
プ周辺に設けられている集積回路装置において、
前記の電極パツトは直接つながつているボンデイ
ング用の第１パツト部とプローブ針接触用の第２
パツト部とを備えていることを特徴とする集積回
路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3647188U JPH01139430U (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3647188U JPH01139430U (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01139430U true JPH01139430U (ja) | 1989-09-22 |
Family
ID=31263073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3647188U Pending JPH01139430U (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01139430U (ja) |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP3647188U patent/JPH01139430U/ja active Pending