JPH01133216A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気テープ、フレキシブルディスク、ハードデ
ィスク、円筒媒体などに用いられる垂直磁気記録媒体に
関するものである。

（従来技術と発明が解決しようとする問題点）高密度記
録への要望から金泥磁性薄膜を無電解メツキ、スパッタ
リング、真空蒸着などの方法により、非磁性基体上に形
成する記録媒体が開発されている（例えば、特開昭６２
−１３２２１７号公報、あるいは５ＥＬＦ−ＥＰＩＴＡ
ＸＩＡＬＣｏ−Ｃｒ　　ＭＥＤＩＡ：ＰＲＥＦＥＲＡＢ
ＬＥＦＯＲＦＡＢＲｒＣＡＴＩＯＮ　　ＢＹＲＯＬＬ　
　Ｃ０ＡＴＥＲＳＰＵＴＴＥＲＩＮＧＳＹＳＴＥＭ、　
Ｒｅ５ｅａｒｃｈ　　Ｉ　ｎ５ｔｉｔｕｔｅ　　ｏｆＥ
　１ｅｃｔｒｉｃａｌ　　Ｃｏｎｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ
　　ｏｆ　　Ｔ　ｏｈｏｋｕＩＪ　ｎ１ｖｅｒｓｉｔｙ
、　１９８７　　ｉｎｔｅｒｍａｇ、など）。

特に、垂直方向に磁化容易軸をもつ垂直磁気記録媒体は
、その原理から記録密度が上昇するほど記録状態が安定
になり、高密度記録には最も適した媒体といえる。

この垂直磁気記録媒体の材料としては、コバルト（ＣＯ
）基合金があり１．アルミニウム（Ａ１）、ガラス、合
成樹脂などの非磁性材を根、円筒、フィルム状に成形し
た基体上に、この磁性薄膜を作製する。

このＣＯ基合金を上記の非磁性基体上に直接作製した場
合、基体によって大きく膜特性が影響を受け、垂直配向
性や垂直方向の保持力が悪化する問題点があった。

また、一般に保磁力を向上させるために、基板温度を上
げる必要があるが、合成樹脂などの非磁性材からなる基
体はこれにより変形してしまい、より低い基板温度で高
い保磁力を得ることはできないという問題点があった。

本発明になる垂直磁気記録媒体は、このような従来の垂
直磁気記録媒体における問題点を解決し、基体の温度依
存性を小さくし、垂直方向保磁力の大きい垂直磁気記録
媒体を提供すると同時に、出来るかぎり低い基板温度で
高保磁力を実現する媒体を提供することを目的とする。

く問題点を解決するための手段） 本発明になる垂直磁気記録媒体は、上記問題点を解決す
る手段として検討を加えた結果、非磁性基体上に金属下
地層、磁性層を積層した垂直磁気記録媒体において、前
記金属下地層がＣｏＣｒ合金からなり、前記金属下地層
表面に酸化層を設け、この酸化層表面に前記磁性層とし
てｃｏＯｒ合金層を積層することにより、垂直方向の保
磁力の大きい垂直磁気記録媒体を低い基板温度で得るこ
とを可能とした。

（実施例） 以下、実施例１，２及び比較例１．２により本発明を具
体的に説明する。

第１図は本発明になる垂直磁気記録媒体の実施例１，２
における媒体構成を示す図である。

同図中、１はコバルトクロム（Ｃｏ　Ｃｒ　）合金から
なる磁性層、２は酸化層、３はｃｏＯｒ合金からなる金
属下地層、４は非磁性基体である。

実施例１ 非磁性基体４としてはＡＪｌ、ガラス、合成樹脂などを
板、円筒、フィルム状に成形したものが考えられる。本
実施例としては、合成樹脂にて検討した結果について示
す。

非磁性基体４としてポリエーテルイミドのディスク状基
板を用い、この基板上にスパッタリングによりＣｏＣｒ
合金からなる金属下地層３を作製する。ここに用いられ
るＣｏＣｒ合金の組成比としては、Ｃｒが０〜２５重量
％とし、基板温度１３０℃、アルゴン（Ａｒ　）ガス圧
２ｍ　Ｔｏｒｒ　。

ターゲット投入電力４．３Ｗ／ｃｉ、到達真空度１Ｘ　
１０’　Ｔｏｒｒ以下にて、膜厚６００人の金属下地層
３を作製した。その後、５Ｔｏｒｒの酸素中に３０分間
これを放置することにより、金属下地層３の表面に酸化
層２を形成した。なお、酸化層２の形成には高純度の酸
素中である必要はなく、大気中でもよい。さらにチャン
バー内を１０’Ｔｏｒｒ台まで排気し、Ａｒガス圧２ｍ
　Ｔｏｒｒ　、基板温度１３０℃、ターゲット投入電力
３．２Ｗ／ｃｉでＣ０２０重凹％ＣｒのＣｏＣｒ合金層
を酸化層２の表面に磁性層１として設けた。

磁性層１のＣｏＣｒ合金の組成比としては、Ｏｒが２０
重量％程度である。

実施例２ 金属下地層であるＣｒ組成比を１５重」％一定とし、磁
性層１作製時の基板温度を３０〜１３０℃と変化させ、
上述した実施例１と同じ方法にてポリエーテルイミド基
板からなる基体４上にＣｏＣｒ合金からなる金属下地層
３を作製した。この作製に当り、基板温度１３０℃、Ａ
ｒガス圧２ｍＴｏｒｒ、ターゲット投入電力４．３Ｗ１
０＋ｉ、到達真空度１×１０うＴ　ｏｒｒ以下にて、膜
厚６００人の金属下地層３を作製した。その後、５　Ｔ
ｏｒｒの酸素中に３０分間これを放置することにより、
金属下地層３の表面に酸化層２を形成した。なお、酸化
層２の形成には高純度の酸素中である必要はなく、大気
中でもよい。さらにチャンバー内を１０’Ｔｏｒｒ台ま
で排気し、Ａｒガス圧２ｍＴｏｒｒ、基板温度１３０℃
、ターゲット投入電力３．２Ｗ／ｃｔｉでＣｏ　２０！
１１％ＣｒのＣｏ　Ｃｒ合金層１を酸化層２の表面に磁
性層１として設けた。

第２図は比較例１．２における記録媒体の構成を示す図
である。

比較例１ 上記した酸化層２を作製しないほかは、上述した実施例
１と同じ方法にて、非磁性基体４としてポリエーテルイ
ミド基板上にＣｏＣｒ合金からなる金属下地層３を作製
した。そして、この金属下地層３の表面にＣｏＣｒ合金
からなる磁性層１を設けた。

比較例２ 酸化層２を作製しないほかは、上述した実施例２と同じ
方法にて、非磁性基体４としてポリエーテルイミド基板
上にＣｏ　Ｃｒ合金からなる金属下地層３を作製した。

そして、この金属下地層３の表面にＣｏＣｒ合金からな
る磁性層１を設けた。

上記各個について垂直方向の保磁力（Ｈｃ　）を測定し
た結果を第３図、第４図に示す。

第３図は実施例１、比較例１に基づく、金属下地層にお
ける下地Ｃｒ組成比に対する垂直方向の１−Ｉ　Ｃの測
定結果を示す図である。

第４図は、実施例２、比較例２に基づく磁性層作製時の
基板（基体）ｍ度に対する垂直方向の）−１ｃの測定結
果を示す図である。

第３図、第４図より、ＣｏＣｒ合金からなる金属下地層
表面に酸化層を設けた後、この表面にＣｏＣｒ合金から
なる磁性層を設けた媒体は、低い基板温度において、い
ずれの金属下地層におけるＯｒ組成においても酸化層を
設けない場合の垂直方向のＨＣに比べて高い値を示して
いることがわかる。金属下地層はＣｒ組成比がＯ〜２５
％重潰％のＣｏ　Ｃｒ合金において、その効果が認めら
れ、特に、Ｃｒ組成比１５重量％以下において、その効
果が著しいことがわかる。

（発明の効果） 本発明なる垂直磁気記録媒体は、金属下地層としてＣｏ
Ｃｒ合金を用い、その表面に酸化層を設けた侵、Ｃｏ　
Ｃｒ合金からなる磁性層を酸化層表面に形成することで
、非磁性基体による影響を押え、低い基板温度にて垂直
磁気記録媒体の静磁気特性を向上させ垂直方向の保持力
を増大させることができる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になる垂直磁気記録媒体の実施例１，２
における記録媒体構成を示す図、第２図は比較例１．２
における記録媒体構成を示す図、第３図は実施例１、比
較例１に基づく、ＣｏＣｒ合金からなる金属下地層にお
けるＣｒ組成比による垂直方向の）−１ｃの測定結果を
示す図、第４図は実施例２、比較例２に基づく磁性層作
製時の基板温度による垂直方向のｌ−１ｃの測定結果を
示す図である。 １・・・磁性層、２・・・酸化層、３・・・金属下地層
、４・・・基板（基体）。 ｔ　１　国　　　　ｆ　２　図 下地ＣｒｔＩＬべ賭（すζ％） ブ　ｌ　Ｃ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、非磁性基体上に金属下地層、磁性層を積層した垂直
   磁気記録媒体において、前記金属下地層がコバルトクロ
   ム（ＣｏＣｒ）合金からなり、前記金属下地層表面に酸
   化層を設け、この酸化層表面に前記磁性層としてＣｏＣ
   ｒ合金層を設けたことを特徴とする垂直磁気記録媒体。 ２、金属下地層は、クロム（Ｃｒ）組成比が略２５重量
   ％以下のＣｏＣｒ合金からなることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載の垂直磁気記録媒体。