JPH01125716A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH01125716A JPH01125716A JP62283573A JP28357387A JPH01125716A JP H01125716 A JPH01125716 A JP H01125716A JP 62283573 A JP62283573 A JP 62283573A JP 28357387 A JP28357387 A JP 28357387A JP H01125716 A JPH01125716 A JP H01125716A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60Q—ARRANGEMENT OF SIGNALLING OR LIGHTING DEVICES, THE MOUNTING OR SUPPORTING THEREOF OR CIRCUITS THEREFOR, FOR VEHICLES IN GENERAL
- B60Q1/00—Arrangement of optical signalling or lighting devices, the mounting or supporting thereof or circuits therefor
- B60Q1/0064—Arrangement of optical signalling or lighting devices, the mounting or supporting thereof or circuits therefor with provision for maintenance, e.g. changing the light bulb
- B60Q1/007—Arrangement of optical signalling or lighting devices, the mounting or supporting thereof or circuits therefor with provision for maintenance, e.g. changing the light bulb via a removable cap
-
- F21S48/1104—
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体に関する。
気記録層とする磁気記録媒体に関する。
従来の技術
垂直磁気記録は、本質的に記録減磁作用が小さく、短波
長、狭トラツク化の進む画像記録等の高密度化に適し、
有望視され、各方面で検討、改良が続けられている。か
かる磁気記録の具現化には、ｃｏ−ｃｒ、ｃｏ−ｃｒ−
Ｎｂ等の垂直方向に磁化可能ないわゆる垂直磁化膜をも
った磁気記録媒体が必要で、ポリイミド等の高分子フィ
ルム上に、Ｔｉ 、Ｇ。
長、狭トラツク化の進む画像記録等の高密度化に適し、
有望視され、各方面で検討、改良が続けられている。か
かる磁気記録の具現化には、ｃｏ−ｃｒ、ｃｏ−ｃｒ−
Ｎｂ等の垂直方向に磁化可能ないわゆる垂直磁化膜をも
った磁気記録媒体が必要で、ポリイミド等の高分子フィ
ルム上に、Ｔｉ 、Ｇ。
等の下地を介するか或いは直接、高周波スパッタリング
法や電子ビーム蒸着法によりＣｏ−Ｃｒ膜を形成するこ
とにより製造されるが、性能を確保するには、注意深く
、高分子フィルムの脱ガス処理を行ったり、高分子フィ
ルムの温度制御や、真空度管理等を行う必要があるもの
の、それらを管理すれば、ある程度の量は再現性良く製
造できるところまで進展してきている〔例えば、応用磁
気セミナ、垂直磁気記録方式、昭和６０年１２月、参照
〕。
法や電子ビーム蒸着法によりＣｏ−Ｃｒ膜を形成するこ
とにより製造されるが、性能を確保するには、注意深く
、高分子フィルムの脱ガス処理を行ったり、高分子フィ
ルムの温度制御や、真空度管理等を行う必要があるもの
の、それらを管理すれば、ある程度の量は再現性良く製
造できるところまで進展してきている〔例えば、応用磁
気セミナ、垂直磁気記録方式、昭和６０年１２月、参照
〕。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら従来のＣｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｗｂ 等
の高周波スパッタリング法や電子ビーム蒸着法により形
成された垂直磁化膜は、短波長での出力は大きくとれる
が、雑音も大きく、望まれるＣ／Ｎ特性が得られてい々
いことから改善が望まれていた。
の高周波スパッタリング法や電子ビーム蒸着法により形
成された垂直磁化膜は、短波長での出力は大きくとれる
が、雑音も大きく、望まれるＣ／Ｎ特性が得られてい々
いことから改善が望まれていた。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、Ｃ／Ｎの
良好な高密度磁気記録媒体を提供するものである。
良好な高密度磁気記録媒体を提供するものである。
問題点を解決するだめの手段
上記した問題点を解決するため本発明の磁気記録媒体は
、Ｃｏ系合金垂直磁化膜のパッキングファクタを０．７
５以下とし、保護膜に硬質炭素薄膜を配するようにした
ものである。
、Ｃｏ系合金垂直磁化膜のパッキングファクタを０．７
５以下とし、保護膜に硬質炭素薄膜を配するようにした
ものである。
作用
本発明の磁気記録媒体は、上記した構成により、ＣＯ系
合金からなる柱状微粒子間に間げきが生じるので、磁気
的な分離が良好となり雑音が改良され、保護膜の硬質炭
素薄膜が、柱状微粒子間の間げきに投びょうされるよう
になり、付着強度が増すことがら膜厚を薄くできるので
スペーシング損失を改善することができ出力が大きくと
れるためＣ／Ｈの大幅改善がはかれることになる。
合金からなる柱状微粒子間に間げきが生じるので、磁気
的な分離が良好となり雑音が改良され、保護膜の硬質炭
素薄膜が、柱状微粒子間の間げきに投びょうされるよう
になり、付着強度が増すことがら膜厚を薄くできるので
スペーシング損失を改善することができ出力が大きくと
れるためＣ／Ｈの大幅改善がはかれることになる。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について詳
しく説明する。図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の
拡大断面図で、図で１はポリエチレンテレフタレート、
ポリフェニレンサルファイド、ポリアミドイミド、ポリ
イミド、ポリエーテルサルフォン等の高分子フィルムで
、必要ならば、Ａｌ２Ｏ，、ＣａＯ等の６ｏ人から３０
０人の微粒子を１〜１ｏＯケ／（μｍ ）２の密度で配
したものを用いてもよい。２はＣｏ−０ｒ、Ｃｏ−Ｔａ
、Ｃｏ−Ｍｏ。
しく説明する。図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の
拡大断面図で、図で１はポリエチレンテレフタレート、
ポリフェニレンサルファイド、ポリアミドイミド、ポリ
イミド、ポリエーテルサルフォン等の高分子フィルムで
、必要ならば、Ａｌ２Ｏ，、ＣａＯ等の６ｏ人から３０
０人の微粒子を１〜１ｏＯケ／（μｍ ）２の密度で配
したものを用いてもよい。２はＣｏ−０ｒ、Ｃｏ−Ｔａ
、Ｃｏ−Ｍｏ。
Ｃｏ−”ＩＩ、Ｃｏ−Ｇｒ−Ｔａ 、Ｃｏ−（３ｒ−１
１ｂ等のＣｏ系合金垂直磁化膜で、パッキングフトクタ
が０．７６以下となるような柱状微粒子の群から成って
いる。
１ｂ等のＣｏ系合金垂直磁化膜で、パッキングフトクタ
が０．７６以下となるような柱状微粒子の群から成って
いる。
パツキン、グツアクタは、０．７６から０．５の範囲が
好ましく、０．７６より大きいと後述するように硬質炭
素薄膜の投びょう効果が弱まり、厚くする必要が生じ、
スペーシング損失につながるのと、０．６以下では、磁
束量が不足し出力が低くなりすぎることから好ましい範
囲が決っている。３は硬質炭素薄膜で、メタンガス等の
炭化水素ガスのプラズマを利用したシ、グラファイトを
ターゲットにしてＨ２を含む放電ガスによるグロー放電
を用いたスパッタリング等で形成されるもので、必要な
らば、更に潤滑剤を配してもよい。上記した硬質炭素薄
膜は、柱状微粒子間のすき間に入り込む投びょう効果に
よシ、耐久性を確保するのに必要な膜厚は、従来より薄
くできるので、短波長でのスペーシング損失を小さくお
さえることができる。
好ましく、０．７６より大きいと後述するように硬質炭
素薄膜の投びょう効果が弱まり、厚くする必要が生じ、
スペーシング損失につながるのと、０．６以下では、磁
束量が不足し出力が低くなりすぎることから好ましい範
囲が決っている。３は硬質炭素薄膜で、メタンガス等の
炭化水素ガスのプラズマを利用したシ、グラファイトを
ターゲットにしてＨ２を含む放電ガスによるグロー放電
を用いたスパッタリング等で形成されるもので、必要な
らば、更に潤滑剤を配してもよい。上記した硬質炭素薄
膜は、柱状微粒子間のすき間に入り込む投びょう効果に
よシ、耐久性を確保するのに必要な膜厚は、従来より薄
くできるので、短波長でのスペーシング損失を小さくお
さえることができる。
以下、更に具体的に本発明の一実施例について比較例と
の対比で説明する。厚み１０μ目のポリエチレンテレフ
タレートフィルム上に、溶液塗布法で直径１００人０Ｒ
ｕ２０．微粒子を１６ケ／（μ！１１）２で配し、その
上にパッキングファクタ０．７のＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜
を０．１３μｍ形成した。パッキングファクタをコント
ロールするのに、フィルム温度をコントロールし、かつ
真空度をコントロールする方法を用いた。Ｏｒを２０．
５ｗｔ％含むターゲットを用い、五ｒ＋Ｈ２＝＝０．０
７（Ｔｏｒｒ）ム：Ｈ２＝１：２、フィルム温度を一６
０℃とし１３．６６（ＭＨｚ）。
の対比で説明する。厚み１０μ目のポリエチレンテレフ
タレートフィルム上に、溶液塗布法で直径１００人０Ｒ
ｕ２０．微粒子を１６ケ／（μ！１１）２で配し、その
上にパッキングファクタ０．７のＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜
を０．１３μｍ形成した。パッキングファクタをコント
ロールするのに、フィルム温度をコントロールし、かつ
真空度をコントロールする方法を用いた。Ｏｒを２０．
５ｗｔ％含むターゲットを用い、五ｒ＋Ｈ２＝＝０．０
７（Ｔｏｒｒ）ム：Ｈ２＝１：２、フィルム温度を一６
０℃とし１３．６６（ＭＨｚ）。
１３００（Ｗ）でスパッタリングしたことで０．７のバ
ッキングを得た。
ッキングを得た。
一方比較例は、Ａｒ：５Ｘ１０ （Ｔｏｒｒ）でＣｏ
Ｃｏ−０ｒ（２０２０１％）をターゲットとし、フィル
ム温ｖ１２０℃１３．５６（ＭＨｚ）、１４５０（Ｗ）
でスパッタリングし、パッキングファクタ０．８２の垂
直磁化膜０．１３μｍ を形成した。夫々のｃｏ−ｃｒ
垂直磁化膜の上に、グラファイトをターゲットにし、ム
ｒ＋）Ｉ２＝４Ｘ１ｏ−２（Ｔｏｒｒ） （ムｒ：Ｈ２
＝１：３）で、１３．５６（ＭＢ２） １８００ （Ｗ
）でスパッタリングすることで硬質炭素膜を実施例は７
０人、比較例は１３０人形成し、更に夫々、真空蒸着法
で潤滑剤層とし６０人のパーフルオロアラキン酸を蒸着
してから８ミリ幅の磁気テープを製造した。これらのテ
ープを８ミリビデオを改造し、ギャップ長０．１６μｍ
のアモルファス合金スパッタ膜とフェライトの複合型
リングヘッドにより、ビット長０．２３μＩＩ、 ）ラ
ック幅７μｍの記録密度で記録再生しＣ／Ｎを比較した
。実施例は、比較例に対し、初期の０７Ｎは３．７（ｄ
Ｂ）良好であった。又４０℃８０％ＲＨ，３０℃１０％
ＲＨ，５℃８０％ＲＨでの走行を２００回くり返した時
のＣｔ／Ｎの変化は実施例も比較例も１ （＋１Ｂ）以
内で良好であった。
Ｃｏ−０ｒ（２０２０１％）をターゲットとし、フィル
ム温ｖ１２０℃１３．５６（ＭＨｚ）、１４５０（Ｗ）
でスパッタリングし、パッキングファクタ０．８２の垂
直磁化膜０．１３μｍ を形成した。夫々のｃｏ−ｃｒ
垂直磁化膜の上に、グラファイトをターゲットにし、ム
ｒ＋）Ｉ２＝４Ｘ１ｏ−２（Ｔｏｒｒ） （ムｒ：Ｈ２
＝１：３）で、１３．５６（ＭＢ２） １８００ （Ｗ
）でスパッタリングすることで硬質炭素膜を実施例は７
０人、比較例は１３０人形成し、更に夫々、真空蒸着法
で潤滑剤層とし６０人のパーフルオロアラキン酸を蒸着
してから８ミリ幅の磁気テープを製造した。これらのテ
ープを８ミリビデオを改造し、ギャップ長０．１６μｍ
のアモルファス合金スパッタ膜とフェライトの複合型
リングヘッドにより、ビット長０．２３μＩＩ、 ）ラ
ック幅７μｍの記録密度で記録再生しＣ／Ｎを比較した
。実施例は、比較例に対し、初期の０７Ｎは３．７（ｄ
Ｂ）良好であった。又４０℃８０％ＲＨ，３０℃１０％
ＲＨ，５℃８０％ＲＨでの走行を２００回くり返した時
のＣｔ／Ｎの変化は実施例も比較例も１ （＋１Ｂ）以
内で良好であった。
発明の効果
以上のように本発明によれば、Ｏ／Ｈの良好な高密度垂
直磁気記録媒体が得られるといったすぐれた効果がある
。
直磁気記録媒体が得られるといったすぐれた効果がある
。
図は本発明の一実施例に係る磁気記録媒体の拡大断面図
である。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・印・垂直磁化膜
（パッキングファクタ０．７６以下）、３・・・・・・
硬質炭素薄膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名３−
々質夏素薄゛膜
である。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・印・垂直磁化膜
（パッキングファクタ０．７６以下）、３・・・・・・
硬質炭素薄膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名３−
々質夏素薄゛膜
Claims (1)
- Ｃｏ系合金垂直磁化膜のパッキングファクタが０．７５
以下で、保護膜に硬質炭素薄膜が配されたことを特徴と
する磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62283573A JP2558753B2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62283573A JP2558753B2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125716A true JPH01125716A (ja) | 1989-05-18 |
| JP2558753B2 JP2558753B2 (ja) | 1996-11-27 |
Family
ID=17667274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62283573A Expired - Fee Related JP2558753B2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2558753B2 (ja) |
-
1987
- 1987-11-10 JP JP62283573A patent/JP2558753B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2558753B2 (ja) | 1996-11-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |