JPH01120507A - カラーフィルタの形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カラーイメージセンサのカラーフィルタの形
成方法に関するものである。

〔従来の技術〕

一次元密ａ型イメージセンサは、原稿と同一サイズのセ
／ｆ長を持つので、ファクシミリやイメージスキャナの
小型化、低価格化に大きく寄与する。このため、近年そ
の開発が活発化しており、［テレビジョン学会技術報告
ＪＶｏ！Ｑ、１０、Ｎｏ、２２　　ＥＤθ８３に示すよ
うに、充電変換素子と、これを駆動する走査回路とを同
一の石英基板上に集積化した密着型イメージセンナが実
用化されている。

一方、この密着型イメージセンサ上にカラーフィルタを
形成して、カラー密桁型イメージセンサを作る場合、そ
のカラーフィルタの形成にｒＸＸ影形成法用いる方法が
考案されている。電着形成法とは、絶縁基板上にパタニ
ングされた透明４ｒ！１膜にプラス、対向電極にマイナ
スの電圧を印加し、赤・緑・青等の顔料溶液中で電気泳
動法により各色のカラーフィルタを透明ｓｔＩ！ｇ上に
形成する方法をいう、この電着形成法で用いる透明導電
膜のパタンには、従来第２図に示すような平行ストライ
プ状のパタンか用いられてきた。第２図で１は絶縁基板
、２，３は電着用透明電極である。ストライプバク／の
両端が２画素分ずつ段差になっているのは、各色に対応
するストライプパタンに各色毎に選択的に電圧を印加で
きるようにするためである。段差の長さは３〜５ｍｍで
ある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

第２図のパタンは隣接ストライプ間のスペースが約７〜
１５μｍであるのに対し、ストライプ長が１００ｍｍあ
る。このため、透明ｆｆｉ［のＩＴＯをフォトエッチし
てパタニングする場合、レジスタのパタン不良によって
隣接するストライプパタン同志が電気的にショートして
しまう場合がある。パタン間シ２−トが一箇所でもある
己、隣接する別の色になるべきストライプパタンも同色
に？１２ａされるので、カラーフィルタ全体が不良にな
ってしまう。従来のパタンでは各ストライプパタンか電
気的に独立しているので、バタ７間シコート不良を簡単
に見出すことが難しかった。

また、従来のストライプパタンでは、！２図に一例を示
すように、ストライプ電極の一端（或は両端）に段差を
設け、この段差を利用して、同じ色相に電着するストラ
イプパタンを銀ペーストのような導電性塗膜を塗ること
により電気的に接続してから電着塗装し、電着後この導
電性塗膜をはがすという煩雑な工程が必要だった。

本発明では従来のカラーフィルタの形成方法の上述のよ
うな欠点を解消し、バッフ間ショートを簡単に発見でき
、かつ電＠塗装工程も簡素化できるカラーフィルタの形
成方法を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、電極表面にカラーフィルタを電着塗装法で形
成するカラーフィルタの形成方法において、 同色のカラーフィルタを形成するための電着用Ｍ１極は
、少なくともカラーフィルタ形成時に同一基板内で電気
的に接続されているパタンを育することを特徴とするカ
ラーフィルタの形成方法とするものである。

〔実施例〕

第１図に実施例を示す。１が絶縁基板、２・３が電着用
透明電極である。

第２図に本実施例による、カラーフィルタ形成工程図を
示す。本工程図は、カラー密着型イメージセンサに用い
ることを想定して描いており、イメージ七／すの９１走
査方向に沿った断面図であ　′る。１が絶縁基板、２・
３が電着用透明ｆｆｉ極、４が光電変換素子、５が透明
保護膜、６．７がカラーフィルタである。

以下に、工程を追いながら実施例を説明する。

まず、密＠型イメージセンサの光電変換素子４を透明保
Ｎ膜でおおう（＄２図−（ａ））、この光電変換素子は
例えばＣＣＤであってもよ（、またアモルファスシリコ
ンを用いたものであってもよい。透明保護膜には例えば
ＰＩ−２５Ｅ３６　（商品名）等の透明ポリイミドを１
μｍ程度の剋厚にスピンコードして形成する。場合によ
っては耐湿性を向上させるため、この上にＳｉｎ、膜を
６０００人はどスパッタすることもある。更に耐湿性向
上が必要な場合は、光電変換素子４上にＳ　ｉ　Ｏ＊を
２０００人はどスパッタし、この上に透明ポリイミド、
更にこの上にＳ　１０　ｔを６０００人スパッタした３
届構造にしても良い。

次に電着塗装用の透明導電膜であるＩＴＯを約２０００
λスパツタし、所望のパタ／にフォトリングラフイーで
パタニングする。（第２図−（ｂ））このときのパタン
例が第１図であって、第１図に示すように、クシ形状の
電着用電極２・３が勿互いにかみ合うよ、うな形にする
。

この基板を例えばシアン（Ｃｙ）の電着液に浸し　ｆｆ
ｉ　ｆｔ用透明Ｗ１極Ａに正の電圧、該基板に対向させ
る電極に負の電圧をかけると、電着用透明電極２上にＣ
ｙの塗膜が生成される。基板を引き上げて、２００＠Ｃ
で焼成し、硬化させる（＊２図−（Ｃ））。同様の工程
を電着用透明電極３に対して行い、例えば黄色（Ｙ）の
電着液を用いれば、該透明電極上にＹの塗膜が形成され
る。カラーフィルタのつかない画素は白色（Ｗ）の情報
を提供する（第２図−（ｄ））。

２１２着液の顔料成分を変えることにより、例えばＣｙ
、Ｙの他の色、例えばマゼンタ（Ｍｇ）等のカラーフィ
ルタも同様にしてできる。

こうしてつくったカラーフィルタ付密醤イメージセ／す
基板をグイシングして個々のチップに切り離せば、カラ
ー密着形イメージセンサチップが得られる。

〔発明の効果〕

本発明のカラーフィルタの形成方法によれば、１看工程
前に電着用透明電極２・３間のシｍ−）の「無を調べる
だけで、該透明電極のバタニ／グ不良を容易に見出すこ
とができる。また、従来のカラーフィルタの形成方法で
必要だった、ｔｌ！ａ塗装時に同色に塗装する透明電極
パタンを４電性ペーストで短絡し、電ｔｔ後導電性ペー
ストをはくすするという工程も必要でなくなる。このた
め、生産工程の筒略化を果し、大幅なコストダウンが可
能となった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のカラーフィルタの形成方法による代表
的なカラーフィルタパタン図。 第２図（ａ）〜（ｄ）は本発明のカラーフィルタ形成工
程図。 第３図は従来のカラー密醤型イメージセンサのカラーフ
ィルタパタン図。 １・・・絶縁基板 ２．３・・・電着用透明電極 ４・・・光電変換素子 ５・・・透明保Ｎ膜 ６．７・・・カラーフィルタ 以　　上 出願人　セイコーエプソン株式会社 第１図 第２図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）電極表面にカラーフィルタを電着塗装法で形成す
   るカラーフィルタの形成方法において、 同色のカラーフィルタを形成するための電着用電極は、
   少なくともカラーフィルタ形成時に同一基板内で電気的
   に接続されているパタンを有することを特徴とするカラ
   ーフィルタの形成方法。
2. （２）前記電着用電極は、少なくともカラーフィルタ形
   成時にはくし形の形状である特許請求の範囲第１項記載
   のカラーフィルタの形成方法。
3. （３）少なくともカラーフィルタ形成時には、前記電着
   用電極２とは電気的に絶縁されたもうひとつの電着用電
   極３が、前記電着用電極２と同一平面上に存在すること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のカラーフィル
   タの形成方法。