JPS58184109A - カラ−フイルタ− - Google Patents
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- JPS58184109A JPS58184109A JP57066845A JP6684582A JPS58184109A JP S58184109 A JPS58184109 A JP S58184109A JP 57066845 A JP57066845 A JP 57066845A JP 6684582 A JP6684582 A JP 6684582A JP S58184109 A JPS58184109 A JP S58184109A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02162—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はカラー撮像装置に用いるカラーフィルターに関
するものである。
するものである。
ＣＣＤ、ＢＢＤあるいはＭＯ８などの固体撮偉素子を１
個あるいは２個使用して構成されるカラーカメラには色
分解用のモザイク状あるいはストライプ状のカラーフィ
ルターが必要である。
個あるいは２個使用して構成されるカラーカメラには色
分解用のモザイク状あるいはストライプ状のカラーフィ
ルターが必要である。
第１図はカラーフィルターの一例を示す模式図である。
図に示されるようＫｎＱ（）、ｎ＋２■、ｎモ４ （Ｈ
） 、−・の走査線は透明（ロ）１１と緑透過（（２）
フィルター１２が交互に配置され、ｎ＋ＩＱ−１）、
ｎ＋３（）幻、・・の走査線ではシアン光透過（Ｃｙ
）フィルター１３と黄色光透過（Ｙ・）フィルター１４
が交互に配置されている。このフィルターは第２図に示
したように透明糊と黄色光透過（Ｙｅ ）フィルターか
ら成る縦ストライブ状のフィルターに透明層と７了ン光
透過（Ｃｙ）フィルターから成る市松状のフィルターが
重ね合わされて構成されている。黄色光透過（Ｙｅ）フ
ィルターとシアン光透過（Ｃｙ）フィルターが重なった
部分は双方のフィルターを透過できる色光成分である緑
光を透過させる緑透過（１フイルターとなっている。
） 、−・の走査線は透明（ロ）１１と緑透過（（２）
フィルター１２が交互に配置され、ｎ＋ＩＱ−１）、
ｎ＋３（）幻、・・の走査線ではシアン光透過（Ｃｙ
）フィルター１３と黄色光透過（Ｙ・）フィルター１４
が交互に配置されている。このフィルターは第２図に示
したように透明糊と黄色光透過（Ｙｅ ）フィルターか
ら成る縦ストライブ状のフィルターに透明層と７了ン光
透過（Ｃｙ）フィルターから成る市松状のフィルターが
重ね合わされて構成されている。黄色光透過（Ｙｅ）フ
ィルターとシアン光透過（Ｃｙ）フィルターが重なった
部分は双方のフィルターを透過できる色光成分である緑
光を透過させる緑透過（１フイルターとなっている。
従来これらのカラーフィルターはゼラチン、カゼイン、
グルニーなどのたん白質系樹脂あるいはポリビニールア
ルコール、ポリアミド、ポリエステルなどの可染性樹脂
層を染色して構成されでいる。
グルニーなどのたん白質系樹脂あるいはポリビニールア
ルコール、ポリアミド、ポリエステルなどの可染性樹脂
層を染色して構成されでいる。
第３図はカラーフィルターの従来の構成を示す模式図で
ある。図の（ａ）に示すように例えにガラスなどの透明
基板１５の上に可染性樹脂層１６を形成し、次に（ｂｌ
に下すように例えば写真蝕刻の技術を用いて不要な個所
の可染性樹脂層を除去して目的とするストライプ状ある
いは市松状のパターンの可染性樹脂層を形成する。次に
染色を行なって目的とするパターンのフィルタ一層１７
を形成する。次に（Ｃ１に示すように耐染負性の中間層
１８を形成してフィルタ一層１７を被覆し、フィルタ一
層１７が他の色で染色されるのを防止する６次に（ｄ）
に示すように中間層１８の上に再度可染性樹脂層を形成
し、フィルタ一層１７の場合と同様に４眞蝕刻などの技
術によって再び目的とするパターンの可染性樹脂層を形
成して、これを他の色で染色してカラーフィルターを構
成する。
ある。図の（ａ）に示すように例えにガラスなどの透明
基板１５の上に可染性樹脂層１６を形成し、次に（ｂｌ
に下すように例えば写真蝕刻の技術を用いて不要な個所
の可染性樹脂層を除去して目的とするストライプ状ある
いは市松状のパターンの可染性樹脂層を形成する。次に
染色を行なって目的とするパターンのフィルタ一層１７
を形成する。次に（Ｃ１に示すように耐染負性の中間層
１８を形成してフィルタ一層１７を被覆し、フィルタ一
層１７が他の色で染色されるのを防止する６次に（ｄ）
に示すように中間層１８の上に再度可染性樹脂層を形成
し、フィルタ一層１７の場合と同様に４眞蝕刻などの技
術によって再び目的とするパターンの可染性樹脂層を形
成して、これを他の色で染色してカラーフィルターを構
成する。
ところで第３図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｅ） 、
（ｄ）の従来のカラーフィルターにおいて、フィルタ一
層１７を黄色光透過（Ｙｅ ）フィルターとし、フィル
ターｆｉｌ ９ヲシアン光透過（Ｃｙ）フィルターとす
ればこれら２つが重なり合った部分は緑透過（（２）フ
ィルター２０となっている。ここで２度目に形成したシ
アン光透過（Ｃｙ ）フィルターは１回目に形成したフ
ィルタ一層１７による凸凹のある面に形成されるため可
染性樹脂層を例えば回転塗布機のような手段で形成する
と凹部分に可染性樹脂が溜り易く、凹部分が厚く、曲部
分が薄く形成される。その結果第３図（ｄ）のシアン光
透過（Ｃｙ）フィルタ一層１９と緑透過（（２）フィル
ター、２００部分のシアン光透過１ （Ｃｙ）フィルターの厚さが異なることになり、光の透
過率が２つの部分で異なってくる。第４図はこれを示す
もので、シアン光透過（Ｃｙ）フィルタ一層１９の透過
率は曲線２１で示される値となるのに対し緑透過（Ｇ）
フィルター２０を構成する部分のシアン光透過（Ｃｙ）
フィルターの透過率は曲線２２で示されるように透過率
が大きくなっている。
（ｄ）の従来のカラーフィルターにおいて、フィルタ一
層１７を黄色光透過（Ｙｅ ）フィルターとし、フィル
ターｆｉｌ ９ヲシアン光透過（Ｃｙ）フィルターとす
ればこれら２つが重なり合った部分は緑透過（（２）フ
ィルター２０となっている。ここで２度目に形成したシ
アン光透過（Ｃｙ ）フィルターは１回目に形成したフ
ィルタ一層１７による凸凹のある面に形成されるため可
染性樹脂層を例えば回転塗布機のような手段で形成する
と凹部分に可染性樹脂が溜り易く、凹部分が厚く、曲部
分が薄く形成される。その結果第３図（ｄ）のシアン光
透過（Ｃｙ）フィルタ一層１９と緑透過（（２）フィル
ター、２００部分のシアン光透過１ （Ｃｙ）フィルターの厚さが異なることになり、光の透
過率が２つの部分で異なってくる。第４図はこれを示す
もので、シアン光透過（Ｃｙ）フィルタ一層１９の透過
率は曲線２１で示される値となるのに対し緑透過（Ｇ）
フィルター２０を構成する部分のシアン光透過（Ｃｙ）
フィルターの透過率は曲線２２で示されるように透過率
が大きくなっている。
曲線２３は黄色光透過（Ｙｅ ）フィルター１７の透過
率を示すものであシ、黄色光透過（Ｙ・）フィルターと
シアン光透過（Ｃｙ）フィルターの重ね合わせで構成さ
れる緑透過フィルターは本来は曲線２４で示されるよう
な分光特性となるはずであるが前述のように重ね合わせ
たシアン光透過（Ｃｙ）フィルターの透過率が曲線２２
で示されるように大きいため曲線２５で示されるように
長波長側の透過率が大きくなった分光特性となってしま
う。
率を示すものであシ、黄色光透過（Ｙ・）フィルターと
シアン光透過（Ｃｙ）フィルターの重ね合わせで構成さ
れる緑透過フィルターは本来は曲線２４で示されるよう
な分光特性となるはずであるが前述のように重ね合わせ
たシアン光透過（Ｃｙ）フィルターの透過率が曲線２２
で示されるように大きいため曲線２５で示されるように
長波長側の透過率が大きくなった分光特性となってしま
う。
以上のように従来のカラーフィルターでは緑透過（（２
）フィルターの目的とする分光特性が得られない欠点が
あった。
）フィルターの目的とする分光特性が得られない欠点が
あった。
本発明は前記の従来のカラーフィルターの欠点をなくす
ためになされたもので目的とする分光特性が精度良く得
られるカラーフィルターを提供するものである。
ためになされたもので目的とする分光特性が精度良く得
られるカラーフィルターを提供するものである。
本発明によれば所要の形状に形成し九可染性樹脂層を染
色して形成した第１のフィルタ一層と。
色して形成した第１のフィルタ一層と。
第１のフィルタ一層によって作られる凹凸の凹部分を埋
めるように形成された透明層と、第１のフィルタ一層と
透明層の上に積層され所要の形状に形成した可染性樹脂
層を染色して形成した第２のフィルタ一層とを少くとも
備え、前記の透明層は第１のフィルタ一層と透明層とで
構成される面が一様な平面となるようにその厚さが選ば
れ、第１ノフイルタ一層の上に積層された第２のフィル
タ一層の厚さと透明層の上に積層された第２のフィルタ
一層の厚さが等しくなるようになされていることを特徴
とするカラーフィルターが得られる。
めるように形成された透明層と、第１のフィルタ一層と
透明層の上に積層され所要の形状に形成した可染性樹脂
層を染色して形成した第２のフィルタ一層とを少くとも
備え、前記の透明層は第１のフィルタ一層と透明層とで
構成される面が一様な平面となるようにその厚さが選ば
れ、第１ノフイルタ一層の上に積層された第２のフィル
タ一層の厚さと透明層の上に積層された第２のフィルタ
一層の厚さが等しくなるようになされていることを特徴
とするカラーフィルターが得られる。
以下図面によって本発明を説明す名。
第５図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）、 （ｄ）は本
発明のカラーフィルターの構成を示す模式図である。図
（ａ）においてフィルタ一層１７と中間層１８は第３図
の場合と全く同じものである。
発明のカラーフィルターの構成を示す模式図である。図
（ａ）においてフィルタ一層１７と中間層１８は第３図
の場合と全く同じものである。
中間層１８の上に（ａ）Ｋ示すように透明な層２６を形
成する。この透明層２６は前述した従来例の説明の場合
と同じく凹部に厚く、凸部に薄く形成される。ここで凹
部に形成される透明層２７の厚さをフィルタ一層１７と
等しい厚さに形成する。
成する。この透明層２６は前述した従来例の説明の場合
と同じく凹部に厚く、凸部に薄く形成される。ここで凹
部に形成される透明層２７の厚さをフィルタ一層１７と
等しい厚さに形成する。
次に写真蝕刻などの技術を用いてフィルタ一層１７と重
なり合っている部分の透明層２８を除去すると（ｂ）に
示されるようにフィルタ一層１７で作られる凹部が透明
層２９で埋められた形状とすることができる。次に（ｃ
）Ｋ示すように再び耐染色性の中間層３０を形成する。
なり合っている部分の透明層２８を除去すると（ｂ）に
示されるようにフィルタ一層１７で作られる凹部が透明
層２９で埋められた形状とすることができる。次に（ｃ
）Ｋ示すように再び耐染色性の中間層３０を形成する。
さらに中間層３０の上に可染色性樹脂層３１を形成し、
この可染色性樹脂層を目的とするパターンとなるように
写真蝕刻の技術などを用いて形成して染色を行なえば（
ａｌに示すようにカラーフィルターを構成できる。
この可染色性樹脂層を目的とするパターンとなるように
写真蝕刻の技術などを用いて形成して染色を行なえば（
ａｌに示すようにカラーフィルターを構成できる。
第５図（ｄ）に示されているように本発明の構成のカラ
ーフィルターはフィルタ一層１７と重なシ合った部分の
フィルタ一層３３と、重なり合っていないフィルタ一層
３２との厚さが等しいので従来のように重なり合った部
分のアイ１ルタ一層３３の光透過率が大きくなるような
欠点がない。
ーフィルターはフィルタ一層１７と重なシ合った部分の
フィルタ一層３３と、重なり合っていないフィルタ一層
３２との厚さが等しいので従来のように重なり合った部
分のアイ１ルタ一層３３の光透過率が大きくなるような
欠点がない。
以上詳述したように本発明のカラーフィルターは最初に
形成したフィルタ一層が作る凹凸を透明１−で埋めて一
様に平らな面を構成することで第２１１ｉ！１目のフィ
ルタ一層を形成したときに厚さの不均一性が生じるのを
防ぎ、その結果第２層目のフイ・レタ一層の光透過率を
一様にでき、２つのフィルターｊ−の重ね合わせで構成
されるフィルターの分７ｔ％性が１Ｆｆ１度よく得られ
るものである。
形成したフィルタ一層が作る凹凸を透明１−で埋めて一
様に平らな面を構成することで第２１１ｉ！１目のフィ
ルタ一層を形成したときに厚さの不均一性が生じるのを
防ぎ、その結果第２層目のフイ・レタ一層の光透過率を
一様にでき、２つのフィルターｊ−の重ね合わせで構成
されるフィルターの分７ｔ％性が１Ｆｆ１度よく得られ
るものである。
なお以上の説明では最初に黄色光透過（Ｙｅ）フィルタ
ーを形成し、２番目にシアン光透過（Ｃｙ）ノイルター
を形成したが、これはその順序を入れ替えても全く同じ
である。
ーを形成し、２番目にシアン光透過（Ｃｙ）ノイルター
を形成したが、これはその順序を入れ替えても全く同じ
である。
また第５図において用いた中間層１８はフィルタ一層１
７の中に含まれる染料が透明層２９にしみ込むのを防止
するためのものであるが、透明層２９が耐染色性の材料
であればこの中間層１８を省略することもできる。
７の中に含まれる染料が透明層２９にしみ込むのを防止
するためのものであるが、透明層２９が耐染色性の材料
であればこの中間層１８を省略することもできる。
なお本発明の趣旨から明らかな毒うに第１図。
第２図およびｍ４図に示したカラーフィルターの配列お
よび分光特性は一例であってこれに限定されるものでは
なく、複数種のカラーフィルターを電ね合せ、複数種の
カラーフィルターを共通に透過できる色光成分のフィル
ターを構成する場合すべてに適用できる。
よび分光特性は一例であってこれに限定されるものでは
なく、複数種のカラーフィルターを電ね合せ、複数種の
カラーフィルターを共通に透過できる色光成分のフィル
ターを構成する場合すべてに適用できる。
さらに本発明は透明基板上に形成したカラーフィルター
のみでなく、例えばＣＣＵ、ＢＢＤ、Ｍｎ２などの固体
撮儂素子が形成されている半導体基板上に直接形成する
カラーフィルターの場合にも全く同様に適用できる。
のみでなく、例えばＣＣＵ、ＢＢＤ、Ｍｎ２などの固体
撮儂素子が形成されている半導体基板上に直接形成する
カラーフィルターの場合にも全く同様に適用できる。
第１図、第２図はカラーフィルターの配列の一例を示す
模式図、第３図（ａ）９価）、 （ｅ）、 （ｄ）は従
来のカラーフィルターの構成図、第４図は従来のカラー
フィルターの分光特性、第５図（ａ） 、 （ｂｌ 、
（ｃ） 、 （ｄ）は本発明のカラーフィルターの構
成図である。図において、１１は透明糊フィルター、１
２は緑透過（Ｇ）フィルター、１３はシアン光透過（Ｃ
ｙ）フィルター、１４は黄色光透過（Ｔｅ ）フィルタ
ー、１５は透明基板、１６は可染性樹脂層、１７はフィ
ルタ一層、１８は中間層、１９はフィルタ一層、２０は
緑透過（Ｑフィルター、２１．２２はシアン光透過（Ｃ
ｙ）フィルターの分光特性、２３は黄色光透ｕ、ａ（ｙ
ｅ）フィルターの分光特性、２４は目的とす、ｂ％ｉ？
２′Ｉ過（（封フィルターの分光特性、２５は従来のカ
ラーフィルターの緑透過（Ｇ）フィルターの分光時↑ト
、２６．２７．２８．２９は透明層、３０は中１一層、
３１．３２．３３ｔよフィルタ一層でるる。 代理人弁理上西原 晋 嶌１図 第２回 第３回 ／７゜ 第４図 浪−！：（ｒｔｍ）
模式図、第３図（ａ）９価）、 （ｅ）、 （ｄ）は従
来のカラーフィルターの構成図、第４図は従来のカラー
フィルターの分光特性、第５図（ａ） 、 （ｂｌ 、
（ｃ） 、 （ｄ）は本発明のカラーフィルターの構
成図である。図において、１１は透明糊フィルター、１
２は緑透過（Ｇ）フィルター、１３はシアン光透過（Ｃ
ｙ）フィルター、１４は黄色光透過（Ｔｅ ）フィルタ
ー、１５は透明基板、１６は可染性樹脂層、１７はフィ
ルタ一層、１８は中間層、１９はフィルタ一層、２０は
緑透過（Ｑフィルター、２１．２２はシアン光透過（Ｃ
ｙ）フィルターの分光特性、２３は黄色光透ｕ、ａ（ｙ
ｅ）フィルターの分光特性、２４は目的とす、ｂ％ｉ？
２′Ｉ過（（封フィルターの分光特性、２５は従来のカ
ラーフィルターの緑透過（Ｇ）フィルターの分光時↑ト
、２６．２７．２８．２９は透明層、３０は中１一層、
３１．３２．３３ｔよフィルタ一層でるる。 代理人弁理上西原 晋 嶌１図 第２回 第３回 ／７゜ 第４図 浪−！：（ｒｔｍ）
Claims (1)
- 所要の形状に形成した可染性樹脂層を染色して形成した
第１のフィルタ一層と、第１のフィルタ一層によって作
られる凹凸の凹部分を埋めるように形成された透明層と
、＠１のフィルタ一層と透明層の上に積層され所要の形
状に形成した可染性樹脂層を染色して形成した第２のフ
ィルタ一層とを少くとも備え、前記の透明層は第１のフ
ィルタ一層と透明層とで構成される面が一様な平面とな
るようにその厚さが選ばれ、第１のフィルタ一層の上に
積層された第２のフィルタ一層の厚さと透明層の上に積
層された第２のフィルタ一層の厚さが等しくなるように
なされていることを特徴とするカラーフィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57066845A JPS58184109A (ja) | 1982-04-21 | 1982-04-21 | カラ−フイルタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57066845A JPS58184109A (ja) | 1982-04-21 | 1982-04-21 | カラ−フイルタ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58184109A true JPS58184109A (ja) | 1983-10-27 |
Family
ID=13327585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57066845A Pending JPS58184109A (ja) | 1982-04-21 | 1982-04-21 | カラ−フイルタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58184109A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60242403A (ja) * | 1984-05-16 | 1985-12-02 | Mitsubishi Electric Corp | 補色形カラ−フイルタの形成方法 |
| JPS6142950A (ja) * | 1984-08-06 | 1986-03-01 | Toppan Printing Co Ltd | カラ−固体撮像素子 |
| JPS61144869A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-02 | Toshiba Corp | カラ−固体撮像装置の製造方法 |
| JPS63318501A (ja) * | 1987-06-22 | 1988-12-27 | Matsushita Electronics Corp | 色分離フィルタの製造方法 |
| JPH01253269A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-09 | Nec Corp | カラー固体撮像素子 |
-
1982
- 1982-04-21 JP JP57066845A patent/JPS58184109A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60242403A (ja) * | 1984-05-16 | 1985-12-02 | Mitsubishi Electric Corp | 補色形カラ−フイルタの形成方法 |
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