JPH01119597A - 有機金属化合物収納装置 - Google Patents
有機金属化合物収納装置Info
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- JPH01119597A JPH01119597A JP27760387A JP27760387A JPH01119597A JP H01119597 A JPH01119597 A JP H01119597A JP 27760387 A JP27760387 A JP 27760387A JP 27760387 A JP27760387 A JP 27760387A JP H01119597 A JPH01119597 A JP H01119597A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は有機金属気相成長法に用いられる有機金属化合
物収納装置に関するものである。
物収納装置に関するものである。
従来の技術
特性のそろった高品質の電子デバイスまたは光デバイス
を再現性よく作製するためには、エピタキシャル成長に
おいて、膜厚や組成等の均一性が要求される。最近、■
−■族およびｎ−ｖｔ族等の化合物半導体および混晶半
導体の気相成長法、特に有機金属気相成長法（ＭＯＶ
Ｐ Ｅ 、 Ｍｅｔａｌ ＯｒｇａｎｉｃＶａｐｏｒ
Ｐｋｍｓｅ Ｅｐｉｔａｑ） が、大面積にわたる均
一性。
を再現性よく作製するためには、エピタキシャル成長に
おいて、膜厚や組成等の均一性が要求される。最近、■
−■族およびｎ−ｖｔ族等の化合物半導体および混晶半
導体の気相成長法、特に有機金属気相成長法（ＭＯＶ
Ｐ Ｅ 、 Ｍｅｔａｌ ＯｒｇａｎｉｃＶａｐｏｒ
Ｐｋｍｓｅ Ｅｐｉｔａｑ） が、大面積にわたる均
一性。
量産性、膜厚や組成の制御性等の点から注目を集め、各
所で活発に研究開発が行われている。従来、有機金属気
相成長法の原料ガスとして、■族や■族は、たとえばト
リメチルガリウム〔（ｃ）１３）３Ｇａ〕（以下略して
ＴＭＧと記す）やジエチルジンク（（Ｃ２Ｈ５）２”：
”以下略してＤＥＺと記す）等が用いられており、これ
らは、第３図に示すような容器に入れられている。
所で活発に研究開発が行われている。従来、有機金属気
相成長法の原料ガスとして、■族や■族は、たとえばト
リメチルガリウム〔（ｃ）１３）３Ｇａ〕（以下略して
ＴＭＧと記す）やジエチルジンク（（Ｃ２Ｈ５）２”：
”以下略してＤＥＺと記す）等が用いられており、これ
らは、第３図に示すような容器に入れられている。
１はシリンダー、２は入り口、３は出口、４゜６はパル
プたとえばベローズパルプあるいはダイアフラムパルプ
である。有機金属化合物の流量は、シリンダー１を恒温
槽６の中に入れ、精密に温度制御を行って蒸気圧を制御
しバブリングするための水素ガスをマスフローコントロ
ーラで精密に制御することによって決定される。
プたとえばベローズパルプあるいはダイアフラムパルプ
である。有機金属化合物の流量は、シリンダー１を恒温
槽６の中に入れ、精密に温度制御を行って蒸気圧を制御
しバブリングするための水素ガスをマスフローコントロ
ーラで精密に制御することによって決定される。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記のような有機金属化合物収納装置だ
と、恒温槽６とシリンダー１は別々に分かれており、一
般に恒温槽はシリンダーに比べて非常に大きく場所を要
する。ＭＯＶＰＥ法では、配管の長さはできる限り短い
方が良いが恒温槽大きいために配管を短くできなかった
。また、複数の有機金属化合物を用いる場合、全ての有
機金属化合物から結晶成長室までの距離を等しくしたり
、または近い値にしたりすると匣利な場合においても、
恒温槽があるが故に前述のことを実行することは不可能
であった。
と、恒温槽６とシリンダー１は別々に分かれており、一
般に恒温槽はシリンダーに比べて非常に大きく場所を要
する。ＭＯＶＰＥ法では、配管の長さはできる限り短い
方が良いが恒温槽大きいために配管を短くできなかった
。また、複数の有機金属化合物を用いる場合、全ての有
機金属化合物から結晶成長室までの距離を等しくしたり
、または近い値にしたりすると匣利な場合においても、
恒温槽があるが故に前述のことを実行することは不可能
であった。
問題点を解決するための手段
本発明は、上記問題点を解決するため、有機金属化合物
を収納する装置において、シリンダー部と恒温装置が一
体化しておシ、恒温装置が従来の恒温槽に比べて遥かに
小さくできていることである。
を収納する装置において、シリンダー部と恒温装置が一
体化しておシ、恒温装置が従来の恒温槽に比べて遥かに
小さくできていることである。
作 用
また、有機金属化合物によっては、かなり低温まで温度
を下げないと使用できないものもあるが、通常用いられ
るＴＭＧ、）リメチルアルミニウム〔（ＣＨ３）３へ！
〕 （以下ＴＭＡと記す）、トリメチルインジウム〔（
ＣＨ３）３工ｎ〕 （以下ＴＭＩと記す）、ジメチルジ
ンク〔（ＣＨ３）２Ｚｎ〕 （以下ＤＥＺと記す）等の
メチル系有機金属化合物やトリエチルガリウム〔（Ｃ２
Ｈ５）３Ｇａ〕（以下ＴＥＧと記す）、トリエチルアル
ミニウム〔（Ｃ２Ｈ５）３Ａｅ〕（以下ＴＥＡと記す）
等のエチル系有機金属化合物は０℃近傍で用いるので本
発明のシリンダーと恒温装置が一体化したもので十分対
応できる。したがって、従来の恒温槽のように恒温装置
の中に冷媒たとえばフロリナートやクーラントを入れそ
の中へ有機金属化合物収納装置を入れる方式を紋らない
ので加圧系の配管に自由度がでてきて配管がやりやすく
なる。
を下げないと使用できないものもあるが、通常用いられ
るＴＭＧ、）リメチルアルミニウム〔（ＣＨ３）３へ！
〕 （以下ＴＭＡと記す）、トリメチルインジウム〔（
ＣＨ３）３工ｎ〕 （以下ＴＭＩと記す）、ジメチルジ
ンク〔（ＣＨ３）２Ｚｎ〕 （以下ＤＥＺと記す）等の
メチル系有機金属化合物やトリエチルガリウム〔（Ｃ２
Ｈ５）３Ｇａ〕（以下ＴＥＧと記す）、トリエチルアル
ミニウム〔（Ｃ２Ｈ５）３Ａｅ〕（以下ＴＥＡと記す）
等のエチル系有機金属化合物は０℃近傍で用いるので本
発明のシリンダーと恒温装置が一体化したもので十分対
応できる。したがって、従来の恒温槽のように恒温装置
の中に冷媒たとえばフロリナートやクーラントを入れそ
の中へ有機金属化合物収納装置を入れる方式を紋らない
ので加圧系の配管に自由度がでてきて配管がやりやすく
なる。
実施例
具体的な実施例を図を用いて説明する。縞１の実施例を
第１図に示す。シリンダー１にヒータ線１またとえばカ
ンタル線あるいはニクロム線等を巻き付は制御装置およ
び電源１４に電線１３を用いて接続し、まだヒータ線１
１が巻かれたシリンダー１の任意の場所に温度モニター
用の熱電対１２を付は制御装置および電源１４に接続す
る。制御方法はＰＩＤ制御あるいはオン−オフ制御で十
分である。有機金属化合物の蒸気圧を正確に制御する必
要があるが実際の結晶成長には±２〜３℃異なっても大
きな影響はない。本装置でＴＥＧ。
第１図に示す。シリンダー１にヒータ線１またとえばカ
ンタル線あるいはニクロム線等を巻き付は制御装置およ
び電源１４に電線１３を用いて接続し、まだヒータ線１
１が巻かれたシリンダー１の任意の場所に温度モニター
用の熱電対１２を付は制御装置および電源１４に接続す
る。制御方法はＰＩＤ制御あるいはオン−オフ制御で十
分である。有機金属化合物の蒸気圧を正確に制御する必
要があるが実際の結晶成長には±２〜３℃異なっても大
きな影響はない。本装置でＴＥＧ。
ＴＭＡ、ＴＥＡやＴＭＩ等は十分制御できる。つまりＧ
ａＡｓ、ＡＪＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＩｎＰ、ＩｎＧａ
ＡｓＰ。
ａＡｓ、ＡＪＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＩｎＰ、ＩｎＧａ
ＡｓＰ。
ＡＪＧａＩｎＰ等の色々なデバイスに応用されている半
導体薄膜を作製することができる。
導体薄膜を作製することができる。
ＴＭＧやＤＥＺ等の蒸気圧が非常に高い有機金属化合物
に対しては図２に示す第２の実施例の装置を用いる。第
１の実施例と異なる点はシリンダー１にはヒーター線１
１の代りに冷却用鋼管もしくはステンレス管等の冷却管
２０が巻き付けられており、冷却管２ｏには−２００の
冷媒が流されており、冷却管２ｏの入り口にはヒーター
線２１が巻かれており、シリンダー１の任意の場所で熱
電対１２で温度をモニターし制御装置および電源１６に
ヒーター線２１からの電源２２と共に接続されている。
に対しては図２に示す第２の実施例の装置を用いる。第
１の実施例と異なる点はシリンダー１にはヒーター線１
１の代りに冷却用鋼管もしくはステンレス管等の冷却管
２０が巻き付けられており、冷却管２ｏには−２００の
冷媒が流されており、冷却管２ｏの入り口にはヒーター
線２１が巻かれており、シリンダー１の任意の場所で熱
電対１２で温度をモニターし制御装置および電源１６に
ヒーター線２１からの電源２２と共に接続されている。
通常ＴＭＧは−１６〜−１０℃、ＤＥＺは一２０℃程度
で用いるので本装置で十分制御できる。
で用いるので本装置で十分制御できる。
実際に本発明による有機金属収納装置を用いてＡ Ｉ
Ｇ ａ Ａ ｓ 系の結晶成長用ＭＯＶＰＥ 装置を製
作したところ、加圧系つまり有機金属化合物の配管は従
来のものと比べて１／３の長さで済み、所望の位置に所
望の有機金属化合物収納装置を接続することができた。
Ｇ ａ Ａ ｓ 系の結晶成長用ＭＯＶＰＥ 装置を製
作したところ、加圧系つまり有機金属化合物の配管は従
来のものと比べて１／３の長さで済み、所望の位置に所
望の有機金属化合物収納装置を接続することができた。
発明の効果
本発明の有機金属化合物収納装置を用いることによって
従来の恒温槽を用いた場合と遜色のない半導体薄膜が得
られるだけでなく、配管を短くしたり、結晶成長室から
全ての有機金属収納装置までの距離を短い配管で等しく
したりでき、従来にない制御性に優れたＭＯＶＰＥ 装
置を実現することができた。また、ＭＯＶＰＥ 装置そ
のものを小さくできるため広い場所を必要としなくなっ
た。
従来の恒温槽を用いた場合と遜色のない半導体薄膜が得
られるだけでなく、配管を短くしたり、結晶成長室から
全ての有機金属収納装置までの距離を短い配管で等しく
したりでき、従来にない制御性に優れたＭＯＶＰＥ 装
置を実現することができた。また、ＭＯＶＰＥ 装置そ
のものを小さくできるため広い場所を必要としなくなっ
た。
さらに、本発明を用いて製作したＭＯＶＰＥ 装置を用
いて結晶成長を行ったところ、厚みや組成のばらつきが
極めて小さい高品質の結晶薄膜が大面積にわたって均一
性よくしかも再現性よく得られるようになった。また、
ペテロ界面の急峻性は極めて向上した。その結果、この
結晶より作製されるデバイスは歩留りが向上しコストも
大幅に削減することが可能となり、非常に実用的効果は
犬である。
いて結晶成長を行ったところ、厚みや組成のばらつきが
極めて小さい高品質の結晶薄膜が大面積にわたって均一
性よくしかも再現性よく得られるようになった。また、
ペテロ界面の急峻性は極めて向上した。その結果、この
結晶より作製されるデバイスは歩留りが向上しコストも
大幅に削減することが可能となり、非常に実用的効果は
犬である。
第１図は本発明の第１の実施例装置の概略構成図、第２
図は第２の実施例装置の概略構成図、第３図は従来の有
機金属化合物収納装置の概略構成図である。 １・・・・・・シリンダー、２・、・・・・入り口、３
・・・・・・出口、４．６・・・・・・バルブ、６・・
・・・・恒温槽、１１・・・・・・ヒーター線、１２・
・・・・・熱電対、１３・・・・・・電線、１４・・・
・・・制御装置および電源、１６・・・・・・制御装置
および電源、２０・・・・・・冷却管、２１・・・・・
・ヒーター線。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名／−
−−シリンダー ｆｆ−−−ヒーｙ線 ／Ｚ−＝づ唸電り↑ １３−一臂、碌 ／４−一倦■御装置及ｔＫ電源 第１図 １５− 卸し卸釆ｌ及び電源 ２ｏ−摩却管 ２／−一−ヒーグ沫 第２図
図は第２の実施例装置の概略構成図、第３図は従来の有
機金属化合物収納装置の概略構成図である。 １・・・・・・シリンダー、２・、・・・・入り口、３
・・・・・・出口、４．６・・・・・・バルブ、６・・
・・・・恒温槽、１１・・・・・・ヒーター線、１２・
・・・・・熱電対、１３・・・・・・電線、１４・・・
・・・制御装置および電源、１６・・・・・・制御装置
および電源、２０・・・・・・冷却管、２１・・・・・
・ヒーター線。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名／−
−−シリンダー ｆｆ−−−ヒーｙ線 ／Ｚ−＝づ唸電り↑ １３−一臂、碌 ／４−一倦■御装置及ｔＫ電源 第１図 １５− 卸し卸釆ｌ及び電源 ２ｏ−摩却管 ２／−一−ヒーグ沫 第２図
Claims (3)
- （１）本体のシリンダー部に恒温装置を有している有機
金属化合物収納装置。 - （２）本体のシリンダー部と恒温装置用加熱装置が一体
化され、ＰＩＤ制御あるいはオン−オフ制御によりシリ
ンダー内部に収納された有機金属化合物の温度を一定に
保つ特許請求の範囲第１項に記載の有機金属化合物収納
装置。 - （３）本体のシリンダー部と恒温装置用冷却装置が一体
化され、シリンダー内部に収納された有機金属化合物の
温度を一定に保つ特許請求の範囲第１項に記載の有機金
属化合物収納装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27760387A JPH01119597A (ja) | 1987-11-02 | 1987-11-02 | 有機金属化合物収納装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27760387A JPH01119597A (ja) | 1987-11-02 | 1987-11-02 | 有機金属化合物収納装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01119597A true JPH01119597A (ja) | 1989-05-11 |
Family
ID=17585731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27760387A Pending JPH01119597A (ja) | 1987-11-02 | 1987-11-02 | 有機金属化合物収納装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01119597A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8979195B2 (en) | 2011-09-08 | 2015-03-17 | Eleven International Co., Ltd. | Seat cover and cover attaching tool |
-
1987
- 1987-11-02 JP JP27760387A patent/JPH01119597A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8979195B2 (en) | 2011-09-08 | 2015-03-17 | Eleven International Co., Ltd. | Seat cover and cover attaching tool |
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