JPH01105316A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH01105316A JPH01105316A JP26213087A JP26213087A JPH01105316A JP H01105316 A JPH01105316 A JP H01105316A JP 26213087 A JP26213087 A JP 26213087A JP 26213087 A JP26213087 A JP 26213087A JP H01105316 A JPH01105316 A JP H01105316A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁気
記録層とする磁気記録媒体に関するものである。
記録層とする磁気記録媒体に関するものである。
従来の技術
近年、磁気記録の高密度化の進歩は目覚しく、強磁性金
属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の短波長出力特
性が注目されている〔アイイーイーイー トランザクシ
ロンズ オン マクネティクス(I ’K RE Tr
ansactions on magnetics )
vol、 MAG−21、No−3、P、P、 121
7〜1220(1985)参照〕。特に垂直磁気記録方
式は原理2へ−7 的に高密度化に適していることから、ディジタル信号記
録における狭トラック化、ビット長の短縮による高密度
化の実現のため、各方面で開発が続けられている。
属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の短波長出力特
性が注目されている〔アイイーイーイー トランザクシ
ロンズ オン マクネティクス(I ’K RE Tr
ansactions on magnetics )
vol、 MAG−21、No−3、P、P、 121
7〜1220(1985)参照〕。特に垂直磁気記録方
式は原理2へ−7 的に高密度化に適していることから、ディジタル信号記
録における狭トラック化、ビット長の短縮による高密度
化の実現のため、各方面で開発が続けられている。
かかる磁気記録媒体は生産の立場からみて、ポリエステ
ルフィルム等のフレキシブルな基板上に直接電子ビーム
蒸着法や高速スパッタリング法でCo −Or 、 (
io −Or −Nb 、 Cjo −0等の垂直磁化
膜を形成したものが、実用にたえうる0/Nを確保でき
、且つ耐久性も満足できるものとなることが強く望まれ
ている。
ルフィルム等のフレキシブルな基板上に直接電子ビーム
蒸着法や高速スパッタリング法でCo −Or 、 (
io −Or −Nb 、 Cjo −0等の垂直磁化
膜を形成したものが、実用にたえうる0/Nを確保でき
、且つ耐久性も満足できるものとなることが強く望まれ
ている。
そのため、高分子フィルムからあらかじめ十分ガスを放
出させることが検討され〔日本応用磁気学会学術講演概
要集261aム一8(1985)、日本応用磁気学会誌
vo1.11 、NO2、P、P、69−72(198
7)等参照〕結晶配向性の改善等がはかられている。
出させることが検討され〔日本応用磁気学会学術講演概
要集261aム一8(1985)、日本応用磁気学会誌
vo1.11 、NO2、P、P、69−72(198
7)等参照〕結晶配向性の改善等がはかられている。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、市販のポリアミドイミドフィルム、ポリ
イミドフィルム、ポリエチレンテレフタ3ヘール −トフィルムのガス出し前処理を十分行っても、ビット
長が0.3μm以下になると十分なC/Hの磁気テープ
が得られないといった問題があり改善が望まれていた。
イミドフィルム、ポリエチレンテレフタ3ヘール −トフィルムのガス出し前処理を十分行っても、ビット
長が0.3μm以下になると十分なC/Hの磁気テープ
が得られないといった問題があり改善が望まれていた。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、高密度記
録再生で十分なC/Ni得ることの出来る磁気記録媒体
を提供することを目的とするものである。
録再生で十分なC/Ni得ることの出来る磁気記録媒体
を提供することを目的とするものである。
問題点を解決するだめの手段
本発明の磁気記録媒体は上記した問題を解決するため、
高分子フィルムを構成する結晶部分の結晶粒径が長手方
向と直交方向とで路間−であるフィルム上に強磁性金属
薄膜を配したものである。
高分子フィルムを構成する結晶部分の結晶粒径が長手方
向と直交方向とで路間−であるフィルム上に強磁性金属
薄膜を配したものである。
作用
上記構成によれば、結晶部分以外はアモルファスで特に
方向性がないため、機械強度的に巨視的にとらえた場合
、強化延伸による方向性があっても、結晶が等方向なた
め、微視的には方向性がなく、三次元形状の微小面中に
形成される磁気ヘッドのギャップと安定な接触追従性が
得られ、短波長になる程重大な損失となるスペーシング
損失が大幅に改善されることでビット長0.3μm 、
記録波長0.6μm以下でもC/Nが改善確保できると
共に、微視的に方向性がなく、強磁性金属薄膜の結晶成
長が均一になることから、磁気特性や薄膜の結晶物性も
改善され、C/N改善が可能となるものである。
方向性がないため、機械強度的に巨視的にとらえた場合
、強化延伸による方向性があっても、結晶が等方向なた
め、微視的には方向性がなく、三次元形状の微小面中に
形成される磁気ヘッドのギャップと安定な接触追従性が
得られ、短波長になる程重大な損失となるスペーシング
損失が大幅に改善されることでビット長0.3μm 、
記録波長0.6μm以下でもC/Nが改善確保できると
共に、微視的に方向性がなく、強磁性金属薄膜の結晶成
長が均一になることから、磁気特性や薄膜の結晶物性も
改善され、C/N改善が可能となるものである。
実施例
以下、本発明の実施例について詳しく、図面参照しなが
ら説明する。第1図は本発明の一実施例の磁気記録媒体
の拡大断面図、第2図は本発明に用いた高分子フィルム
の結晶粒径異方性とC/Hの関係を示す特性図である。
ら説明する。第1図は本発明の一実施例の磁気記録媒体
の拡大断面図、第2図は本発明に用いた高分子フィルム
の結晶粒径異方性とC/Hの関係を示す特性図である。
第1図において、1はポリエチレンテレフタレート、ポ
リエチレン2.6−ナフタレート、ポリフェニレンサル
ファイド、ホリエーテルサルフオン等の高分子フィルム
で、結晶粒径が磁気テープを構成するのに用いた時、長
手方向となる方向と、それと直交する方向とで、同一サ
イズとなるよう構成されたもので、他の機械物性、光学
物性等に6ベー7 ついては格別の限定を受けるものではない。但し、結晶
粒径については、短波長C/Nと若干の相関をもつので
70Å以下、更に好ましくは60Å以下で構成するもの
とする。なお、この高分子フィルムの粒子形状はX線回
折により容易に計測することが可能である。さらに、高
分子フィルムの厚みは、磁気テープであれば4μmから
15μm、磁気ディスクであれば20μmから60μm
が好ましい。尚必要であれば、微粒子を高分子フィルム
上に配してもよいが、微粒子を固定するために特に樹脂
を用いる場合は、付着量について十分検討し、その量は
抑制するのが好ましい。これらの微粒子としては、50
Aから600人の5i02 *A12o3. caco
、、 BaCo、、 MgOI TiO21ZrO21
ZnO+ lCu2O3,0r205+ Fe2o、等
を0.1〜1ooμm2配したものが適しているが、微
粒子物質は上記した無機微粒子に限らず、有機微粒子で
あってもよい。
リエチレン2.6−ナフタレート、ポリフェニレンサル
ファイド、ホリエーテルサルフオン等の高分子フィルム
で、結晶粒径が磁気テープを構成するのに用いた時、長
手方向となる方向と、それと直交する方向とで、同一サ
イズとなるよう構成されたもので、他の機械物性、光学
物性等に6ベー7 ついては格別の限定を受けるものではない。但し、結晶
粒径については、短波長C/Nと若干の相関をもつので
70Å以下、更に好ましくは60Å以下で構成するもの
とする。なお、この高分子フィルムの粒子形状はX線回
折により容易に計測することが可能である。さらに、高
分子フィルムの厚みは、磁気テープであれば4μmから
15μm、磁気ディスクであれば20μmから60μm
が好ましい。尚必要であれば、微粒子を高分子フィルム
上に配してもよいが、微粒子を固定するために特に樹脂
を用いる場合は、付着量について十分検討し、その量は
抑制するのが好ましい。これらの微粒子としては、50
Aから600人の5i02 *A12o3. caco
、、 BaCo、、 MgOI TiO21ZrO21
ZnO+ lCu2O3,0r205+ Fe2o、等
を0.1〜1ooμm2配したものが適しているが、微
粒子物質は上記した無機微粒子に限らず、有機微粒子で
あってもよい。
2は強磁性金属薄膜で、Co −IJi 、 Co −
Fe 。
Fe 。
Co −Or 、Go −0、Co −P 、 Co
−Re 、Go−Ta。
−Re 、Go−Ta。
6ヘー/
Go −W 、 Co−Ni−0、Co−0r −N
b 、 Co−Ni −Pr−0等の斜め蒸着膜、垂直
磁化膜等から成るもので、電子ビーム蒸着法、イオンブ
レーティング法、高速スパッタリング法等で形成される
もので、300八から30oo人の膜厚で、必要なら多
層化したものでもよい。
b 、 Co−Ni −Pr−0等の斜め蒸着膜、垂直
磁化膜等から成るもので、電子ビーム蒸着法、イオンブ
レーティング法、高速スパッタリング法等で形成される
もので、300八から30oo人の膜厚で、必要なら多
層化したものでもよい。
3はアモルファスカーボン薄膜、 MoS2. WS2
スパッタ薄膜、プラズマ重合膜、脂肪酸膜、脂肪酸アミ
ド膜、パーフルオロアルキルカルボン酸膜等の組み合わ
せから成る保護潤滑層である。
スパッタ薄膜、プラズマ重合膜、脂肪酸膜、脂肪酸アミ
ド膜、パーフルオロアルキルカルボン酸膜等の組み合わ
せから成る保護潤滑層である。
以下、更に具体的に本発明の一実施例について比較例と
の対比で詳しく説明する。
の対比で詳しく説明する。
厚み10μmのポリエチレンテレフタレートフィルムで
結晶部分を構成する結晶粒径が長手方向、それと直交す
る方向とでいずれも測定誤差内で54Aで同一のベース
フィルム人と、長手方向が54人で直交方向が50人の
ベースBと、長手方向が62人、直交方向が56人のベ
ースCとを準備し、いずれのフィルムも平均粗さ30人
、最大粗さ70八と同一の表面のものを用い、直径60
人7ベーノ のFe2O3微粒子をイソプロピルアルコールに分散さ
せて塗布、乾燥し、平均16μn+2の突起を形成しう
る微粒子を配してから高周波スパッタリング法でGo
−Or (00,78wt%)の垂直磁化膜を0.1μ
m形成し、グラファイトをターゲットとし、ムrとN2
(分圧比ムr/H2=2/1 ’)を混合した放電ガス
を用い、0.05 Torrで13.56 MHz 2
.2KWのグロー放電を利用したスパッタリング法で硬
質炭素薄膜を100人配し、その上にパーフルオロオク
タン酸を60人真空蒸着し、夫々8ミリ幅にして磁気テ
ープ化し、改造した8ミリビデオデツキにより、ギャッ
プ長0.12μmのセンダストヘッドにより、トラック
幅sμm、ビット長0.22p mの矩形波を記録し、
帯域9 M)(zでのC/Nを比較した。ベース人を用
いたものは、ベースBを用いたものより3.4dBC/
Nが改善されていて、ベースC−i用いたものはベース
Bに比べ0.5 dB C/Nが低かった。すなわち、
長手方向および直交方向に略凹−の径を有する結晶から
なる高分子フィルムベース人を用いた場合最も良好なC
/Nを得られるものである。
結晶部分を構成する結晶粒径が長手方向、それと直交す
る方向とでいずれも測定誤差内で54Aで同一のベース
フィルム人と、長手方向が54人で直交方向が50人の
ベースBと、長手方向が62人、直交方向が56人のベ
ースCとを準備し、いずれのフィルムも平均粗さ30人
、最大粗さ70八と同一の表面のものを用い、直径60
人7ベーノ のFe2O3微粒子をイソプロピルアルコールに分散さ
せて塗布、乾燥し、平均16μn+2の突起を形成しう
る微粒子を配してから高周波スパッタリング法でGo
−Or (00,78wt%)の垂直磁化膜を0.1μ
m形成し、グラファイトをターゲットとし、ムrとN2
(分圧比ムr/H2=2/1 ’)を混合した放電ガス
を用い、0.05 Torrで13.56 MHz 2
.2KWのグロー放電を利用したスパッタリング法で硬
質炭素薄膜を100人配し、その上にパーフルオロオク
タン酸を60人真空蒸着し、夫々8ミリ幅にして磁気テ
ープ化し、改造した8ミリビデオデツキにより、ギャッ
プ長0.12μmのセンダストヘッドにより、トラック
幅sμm、ビット長0.22p mの矩形波を記録し、
帯域9 M)(zでのC/Nを比較した。ベース人を用
いたものは、ベースBを用いたものより3.4dBC/
Nが改善されていて、ベースC−i用いたものはベース
Bに比べ0.5 dB C/Nが低かった。すなわち、
長手方向および直交方向に略凹−の径を有する結晶から
なる高分子フィルムベース人を用いた場合最も良好なC
/Nを得られるものである。
さて、同一のペースム、B、Ci用い強磁性金属薄膜と
して前述のCo−0rからCo−Niとしたものについ
て以下に説明する。直径1mの円筒キャンに沿わせて最
小入射角50度、酸素分圧5.9 X 10 ’ To
rrの酸素中でCo−N1(Co;80wt%)を0.
1μm蒸着して得たCo −Ni −0薄膜から磁気テ
ープを構成した。ビット長0.28μm、)ラック幅6
μmで、C/NはベースCを用いたもの’1odBとす
るとベースBを用いたものは+1dB。
して前述のCo−0rからCo−Niとしたものについ
て以下に説明する。直径1mの円筒キャンに沿わせて最
小入射角50度、酸素分圧5.9 X 10 ’ To
rrの酸素中でCo−N1(Co;80wt%)を0.
1μm蒸着して得たCo −Ni −0薄膜から磁気テ
ープを構成した。ビット長0.28μm、)ラック幅6
μmで、C/NはベースCを用いたもの’1odBとす
るとベースBを用いたものは+1dB。
ベース人を用いたものは+4.211Bと、ベース人を
用いたものが最も良好であった。
用いたものが最も良好であった。
第2図は、co−yi−o薄膜を用いた第2の実験例を
含めて、本発明の有効性を示した特性線図である。図か
ら明らかなように、粒径比が0.98から1.02の範
囲をはずれるとC/Hの平均値とばらつきが悪くなるこ
とがわかり、本発明品の有用性が理解できる。本発明で
長手方向と直交方向の粒径が同一であるということは、
フィルムの結晶粒径を任意に少なくとも5ケ所測定した
平均値9ページ で、その粒径比率が0.98から1.02までの範囲を
含んで定義されるものである。尚第2図に示したデータ
は、結晶粒径が8OAから47人までの範囲のものを網
羅している。また、第2図は初期値の比較であるが、各
々の磁気テープを1000時間使用した時に、本発明品
以外は、更にばらつきが大きくなることが実験の結果判
った。したがって、本発明品が短波長記録再生で重要で
ある安定なスペーシングの確保が確実なものであること
が言える。又本発明品は製造的にみても有用で、通常当
業者の行いうる脱ガス処理の範囲で、上記した性能が均
一に大面積に得られる点も特筆されることである。以上
のべた効果はポリエチレンテレフタレート以外、前述の
高分子フィルムでもその結晶粒径を直交方向ならびに長
手方向に略凹−とすれば同様に得られる。
含めて、本発明の有効性を示した特性線図である。図か
ら明らかなように、粒径比が0.98から1.02の範
囲をはずれるとC/Hの平均値とばらつきが悪くなるこ
とがわかり、本発明品の有用性が理解できる。本発明で
長手方向と直交方向の粒径が同一であるということは、
フィルムの結晶粒径を任意に少なくとも5ケ所測定した
平均値9ページ で、その粒径比率が0.98から1.02までの範囲を
含んで定義されるものである。尚第2図に示したデータ
は、結晶粒径が8OAから47人までの範囲のものを網
羅している。また、第2図は初期値の比較であるが、各
々の磁気テープを1000時間使用した時に、本発明品
以外は、更にばらつきが大きくなることが実験の結果判
った。したがって、本発明品が短波長記録再生で重要で
ある安定なスペーシングの確保が確実なものであること
が言える。又本発明品は製造的にみても有用で、通常当
業者の行いうる脱ガス処理の範囲で、上記した性能が均
一に大面積に得られる点も特筆されることである。以上
のべた効果はポリエチレンテレフタレート以外、前述の
高分子フィルムでもその結晶粒径を直交方向ならびに長
手方向に略凹−とすれば同様に得られる。
発明の効果
本発明によれば、短波長記録再生において優れたC/N
が初期的にも、実使用でも継続的に得られるといったす
ぐれた効果がある。
が初期的にも、実使用でも継続的に得られるといったす
ぐれた効果がある。
1oヘー/゛
第1図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡大断面図
、第2図は本実施例の条件と特性の関係を示す特性線図
である。 1・・・・・・高分子フィルム、2・・・・・・強磁性
金属薄膜、3・・・・・・保護潤滑層。
、第2図は本実施例の条件と特性の関係を示す特性線図
である。 1・・・・・・高分子フィルム、2・・・・・・強磁性
金属薄膜、3・・・・・・保護潤滑層。
Claims (1)
- 結晶部分の結晶粒径が長手方向と直交方向で略同一であ
る高分子フィルム上に強磁性金属薄膜を配設することを
特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62262130A JP2532517B2 (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62262130A JP2532517B2 (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01105316A true JPH01105316A (ja) | 1989-04-21 |
JP2532517B2 JP2532517B2 (ja) | 1996-09-11 |
Family
ID=17371468
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62262130A Expired - Lifetime JP2532517B2 (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2532517B2 (ja) |
-
1987
- 1987-10-16 JP JP62262130A patent/JP2532517B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2532517B2 (ja) | 1996-09-11 |
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