JP7518711B2

JP7518711B2 - 搬送システム

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Publication number: JP7518711B2
Application number: JP2020161489A
Authority: JP
Inventors: 恵介伊藤; 武山本; 岳川口
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2020-09-25
Filing date: 2020-09-25
Publication date: 2024-07-18
Anticipated expiration: 2040-09-25
Also published as: CN114249129A; US20220097984A1; CN114249129B; JP2022054343A

Description

本発明は、搬送システムに関する。

特許文献１には、固定子が配設されガイドレールが敷設された搬送路と、ガイドレールと対置する複数の磁石ユニット及び固定子と対置する二次導体を搭載した搬送車とを有する磁気浮上式搬送装置が記載されている。特許文献１に記載の搬送装置において、搬送車は、ガイドレールと磁石ユニットとの間の電磁力で浮上し、固定子と二次導体との間の電磁力で走行する。特許文献１には、搬送車に設けたハンドルやギヤ機構、ガイドレールに巻装したコイルにより、磁気ユニットを介してガイドレールに吸着した搬送車をガイドレールから引き下ろすことが記載されている。

特開平１０－９５５３３号公報

しかしながら、特許文献１に記載の装置では、ガイドレールに吸着した搬送車をガイドレールから引き下ろして磁気浮上状態に復帰させることができたとしても、ガイドレールから離れて着陸した搬送車を離陸させて磁気浮上状態とすることは困難である。また、特許文献１に記載の搬送装置では、搬送車をガイドレールから引き剥がす機構としてハンドルやギヤが搬送車に具備されているため、搬送車の台数が増えれば増えるほど装置のコストが増大してしまう。また、搬送車の重量が増大するため、搬送車に浮上力又は推力を与えるためのコイルを大型化する必要があり、装置のコストが増大してしまう。さらに、搬送車が大きくなるため、搬送路を大きくする必要があり、装置のコストが増大してしまう。

本発明は、上記の課題を解決しようとするものであって、装置のコストを低く抑えつつ、浮上させるべき搬送車の離陸を容易に実現することができる搬送システムを提供することを目的とする。

本発明の一観点によれば、搬送路筐体と、前記搬送路筐体に設置された第１の磁力部と、前記第１の磁力部と対向可能に設置された第２の磁力部を有し、前記第１の磁力部と前記第２の磁力部との間に働く磁力により浮上しつつ前記搬送路筐体に沿って走行可能な搬送車と、前記搬送路筐体に設置され、前記搬送車が着陸して走行可能なレールと、前記レールに着陸した着陸状態の前記搬送車を、前記磁力により浮上可能な位置に移動させる少なくとも１つの移動手段と、を有し、前記移動手段は、前記搬送車を水平方向に沿って移動させて前記搬送車を前記浮上可能な位置に移動させるスライド機構を含むことを特徴とする搬送システムが提供される。

本発明によれば、装置のコストを低く抑えつつ、浮上させるべき搬送車の離陸を実現することができる。

本発明の第１実施形態による搬送システムの概略構成を示す図である。本発明の第１実施形態による搬送システムの概略構成を示す図である。本発明の第１実施形態による搬送システムにおける移動手段である上下機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第１実施形態による搬送システムにおける移動手段である上下機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第１実施形態による搬送システムにおける移動手段である上下機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第１実施形態による搬送システムにおける移動手段である上下機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第２実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスライド機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第２実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスライド機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第２実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスライド機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第２実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスライド機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第２実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスライド機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第２実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスライド機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第２実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスライド機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第２実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスライド機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第３実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスロープの具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第３実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスロープの具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第３実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスロープの具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第３実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスロープの具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第４実施形態による搬送システムにおける移動手段である昇降機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第４実施形態による搬送システムにおける移動手段である昇降機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第４実施形態による搬送システムにおける移動手段である昇降機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第４実施形態による搬送システムにおける移動手段である昇降機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第５実施形態による搬送システムの概略構成を示す図である。本発明の第５実施形態による搬送システムにおける移動手段である上下機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第５実施形態による搬送システムにおける移動手段である上下機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第５実施形態による搬送システムにおける移動手段である上下機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第５実施形態による搬送システムにおける移動手段である上下機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第５実施形態による搬送システムにおける移動手段である上下機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第５実施形態による搬送システムにおける移動手段である上下機構の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第６実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスロープの具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第６実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスロープの具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第６実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスロープの具体的な構造及び離陸動作を示す図である。本発明の第６実施形態による搬送システムにおける移動手段であるスロープの具体的な構造及び離陸動作を示す図である。

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態による搬送システムについて図１Ａ乃至図２Ｄを用いて説明する。

はじめに、本実施形態による搬送システム１１０の概略構成について、図１Ａ及び図１Ｂを用いて説明する。図１Ａは、本実施形態による搬送システム１１０を示す斜視図である。図１Ｂは、本実施形態による搬送システム１１０を示す側面図である。図１Ｂの側面図は、図１Ａに示すＸ軸方向から搬送システム１１０を見た側面図になっている。以後、複数存在しうる構成要素について、特に区別する必要がない場合には共通の数字のみの符号を用い、必要に応じて数字の符号の後に大文字の又は小文字のアルファベットを付して又はさらにアルファベットの後に下付の数字を付して個々を区別する。

図１Ａ及び図１Ｂに示すように、本実施形態による搬送システム１１０は、搬送物４を保持して搬送する搬送車１００と、搬送車１００が走行する搬送路を構成する搬送路装置１０２と、制御装置１２、１４とを有している。本実施形態による搬送システム１１０は、磁力により重力に抗して浮上させた磁気浮上状態の搬送車１００を走行させて搬送する磁気浮上搬送システムである。本実施形態による搬送システム１１０は、搬送車１００により搬送された搬送物４に対して加工を施す工程装置１０４をも有する加工システムの一部を構成している。加工システムは、工程装置１０４により加工を施すことにより物品を製造することができる。

搬送システム１１０は、例えば、搬送車１００を搬送することにより、搬送車１００に保持されたワークとしての搬送物４を、搬送物４に対して加工を施す工程装置１０４に搬送する。工程装置１０４は、特に限定されるものではないが、例えば、搬送物４であるガラス基板等の基板上に成膜を行う蒸着装置、スパッタ装置等の成膜装置である。

ここで、以下の説明において用いる座標軸及び方向を定義する。水平方向に沿った搬送車１００の搬送方向、すなわち搬送車１００の走行する方向に沿ってＸ軸をとり、搬送車１００の搬送方向をＸ軸方向とする。また、Ｘ軸方向と直交する方向である鉛直方向に沿ってＺ軸をとり、鉛直方向をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に直交する方向をＹ軸方向とする。なお、搬送車１００の搬送方向は必ずしも水平方向である必要はないが、その場合も搬送方向をＸ軸方向として同様にＹ軸方向及びＺ軸方向を定めることができる。なお、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向は、必ずしも互いに直交する方向に限定されるものではなく、互いに交差する方向として定義することもできる。

搬送路装置１０２は、搬送路筐体９と、軌道１Ａ、１Ｂと、着陸搬送レール６Ａ、６Ｂと、固定子７とを有している。さらに、搬送路装置１０２は、図２Ａ乃至図２Ｄを用いて後述する上下機構３０を有している。

搬送路筐体９は、Ｘ軸方向に延びる角管状の形状を有し、Ｚ軸方向に対向する互いに平行な底板及び天板、並びにＹ軸方向に対向する互いに平行な一対の側板を有している。搬送路筐体９の内部空間は、搬送車１００が走行する空間になっている。また、搬送路筐体９の内部空間においては、上下機構３０、工程装置１０４がそれぞれ所定の場所に設置されている。

搬送路筐体９の天板内面には、Ｘ軸方向に沿って延びる帯板状の軌道１Ａ、１Ｂが取り付けられて設置されている。１組の軌道１Ａ、１Ｂは、所定の間隔を空けて互いに平行に取り付けられている。軌道１Ａ、１Ｂは、強磁性体、特に軟磁性材料の磁性材により構成されている。具体的には、例えば、軌道１Ａ、１Ｂは、ＳＳ４００等の一般構造用圧延鋼材から製作されている。軌道１は、搬送車１００のコイル列２との間に磁力が働く磁力部として機能する。

また、搬送路筐体９の天板内面には、軌道１Ａと軌道１Ｂとの間においてＸ軸方向に延びるように片側式のリニア誘導電動機の固定子７が取り付けられて設置されている。固定子７は、Ｘ軸方向に沿って配置された複数のコイルを含むコイル列（不図示）を有している。固定子７の複数のコイルは、電流が流されることにより搬送車１００の後述の二次導体板８との間に搬送車１００をＸ軸方向に走行させる推力となる電磁力を発生させる。

搬送路筐体９の一方及び他方の側板内面には、それぞれＸ軸方向に延びる着陸搬送レール６Ａ、６Ｂが取り付けられて設置されている。着陸搬送レール６Ａは、磁気浮上状態にない着陸状態の搬送車１００の後述の走行ローラー３Ａ_１、３Ａ_２、３Ａ_３が走行するように構成されたレールになっている。着陸搬送レール６Ａは、搬送路筐体９の内側に向かってＹ軸方向に開口した凹形状を有し、搬送車１００の走行ローラー３Ａ_１、３Ａ_２、３Ａ_３が着陸する下面及びこれに上側から対向する上面を有している。着陸搬送レール６Ａの下面には、重力により搬送車１００の走行ローラー３Ａ_１、３Ａ_２、３Ａ_３が着陸する。着陸搬送レール６Ａの上面には、軌道１とコイル列２との間に働く磁力により走行ローラー３Ａ_１、３Ａ_２、３Ａ_３が着陸する。着陸搬送レール６Ｂは、磁気浮上状態にない着陸状態の搬送車１００の後述の走行ローラー３Ｂ_１、３Ｂ_２、３Ｂ_３が走行するように構成されたレールになっている。着陸搬送レール６Ｂは、搬送路筐体９の内側に向かってＹ軸方向に開口した凹形状を有し、搬送車１００の走行ローラー３Ｂ_１、３Ｂ_２、３Ｂ_３が着陸する下面及びこれに上側から対向する上面を有している。着陸搬送レール６Ｂの下面には、重力により搬送車１００の走行ローラー３Ｂ_１、３Ｂ_２、３Ｂ_３が着陸する。着陸搬送レール６Ｂの上面には、軌道１とコイル列２との間に働く磁力により走行ローラー３Ｂ_１、３Ｂ_２、３Ｂ_３が着陸する。

可動子である搬送車１００は、コイル列２Ａ_１、２Ｂ_１、２Ａ_２、２Ｂ_２と、走行ローラー３Ａ_１、３Ｂ_１、３Ａ_２、３Ｂ_２、３Ａ_３、３Ｂ_３と、二次導体板８と、搬送チャック５Ａ、５Ｂと、制御装置１２とを有している。搬送車１００は、磁気浮上状態で搬送路筐体９の内部空間をＸ軸方向に沿って走行するように構成されている。

コイル列２Ａ_１、２Ｂ_１、２Ａ_２、２Ｂ_２は、搬送車１００の上面に取り付けられて設置されている。コイル列２Ａ_１、２Ａ_２は、搬送車１００の上方に位置する軌道１Ａに対してＺ軸方向に対向可能にＸ軸方向に並んで設置されている。コイル列２Ｂ_１、２Ｂ_２は、搬送車１００の上方に位置する軌道１Ｂに対してＺ軸方向に対向可能にＸ軸方向に並んで設置されている。コイル列２Ａ_１、２Ｂ_１、２Ａ_２、２Ｂ_２のそれぞれは、Ｙ軸方向に並ぶように配置された例えば２個のコイルを含んでいる。なお、コイル列２Ａ_１、２Ｂ_１、２Ａ_２、２Ｂ_２のそれぞれに含まれるコイル数は、２個に限定されるものではなく、適宜変更することができる。

コイル列２Ａ_１、２Ｂ_１、２Ａ_２、２Ｂ_２は、それぞれ制御装置１２によりコイルに流される電流が制御されて駆動される。コイル列２Ａ_１、２Ｂ_１、２Ａ_２、２Ｂ_２に電流が流されて磁界が発生することにより、コイル列２Ａ_１、２Ｂ_１、２Ａ_２、２Ｂ_２は、それぞれ対向する軌道１Ａ、１Ｂに対して電磁力による吸引力を有する。コイル列２Ａ_１、２Ｂ_１、２Ａ_２、２Ｂ_２の軌道１Ａ、１Ｂに対する吸引力により、搬送車１００が浮上して搬送物４を搭載した搬送車１００の磁気浮上状態が実現される。このように、コイル列２は、軌道１との間に磁力が働く磁力部として機能する。

二次導体板８は、コイル列２Ａ_１、２Ａ_２の並びとコイル列２Ｂ_１、２Ｂ_２の並びとの間に位置するように搬送車１００の上面に取り付けられて設置されている。二次導体板８は、搬送車１００の上方に位置する固定子７に対向可能に設置されている。搬送車１００は、二次導体板８と固定子７との間に発生する電磁力による推力により浮上しつつＸ軸方向に沿って走行する。

走行ローラー３Ａ_１、３Ａ_２、３Ａ_３は、搬送車１００の着陸搬送レール６Ａの側の側面にＸ軸方向に並ぶように取り付けられ、着陸搬送レール６Ａの下面に着陸可能に設置されている。走行ローラー３Ａ_１、３Ａ_２、３Ａ_３は、着陸搬送レール６Ａの下面に着陸した着陸状態において搬送車１００の走行に従動してその走行方向に沿って回転するようになっている。走行ローラー３Ｂ_１、３Ｂ_２、３Ｂ_３は、搬送車１００の着陸搬送レール６Ｂの側の側面にＸ軸方向に並ぶように取り付けられ、着陸搬送レール６Ｂの下面に着陸可能に設置されている。走行ローラー３Ｂ_１、３Ｂ_２、３Ｂ_３は、着陸搬送レール６Ｂの下面に着陸した着陸状態において搬送車１００の走行に従動してその走行方向に沿って回転するようになっている。なお、走行ローラー３の数は、搬送車１００の両側３個ずつに限定されるものではなく、搬送車１００の大きさ、搬送車１００に要求される安定性等に応じて適宜変更することができる。

走行ローラー３は、搬送車１００が磁気浮上状態にない搬送車１００の着陸時において着陸搬送レール６Ａ、６Ｂの下面と接している。走行ローラー３は、搬送車１００に対するＸ軸方向への摩擦を低減する役割も担っている。これにより、搬送車１００は、着陸時においても固定子７と二次導体板８との間に働く推力によりＸ軸方向へ走行することができる。

搬送チャック５Ａ、５Ｂは、搬送車１００の下面に取り付けられて設置されている。搬送チャック５Ａ、５Ｂは、搬送物４を保持するように構成されている。搬送物４は、特に限定されるものではないが、例えば、搬送システム１１０を含む加工システムにおいて加工対象となる基板等のワークである。

搬送システム１１０では、コイル列２Ａ_１、２Ｂ_１、２Ａ_２、２Ｂ_２に電流を流して磁界を発生させることにより、コイル列２Ａ_１、２Ｂ_１、２Ａ_２、２Ｂ_２は、それぞれが対向する軌道１Ａ、１Ｂに対して電磁力による吸引力を有する。このように生じたコイル列２Ａ_１、２Ｂ_１、２Ａ_２、２Ｂ_２の軌道１Ａ、１Ｂに対する吸引力により、搬送車１００を浮上させることができる。一般に、磁石と磁性体との２点間の距離が大きいほど磁束密度は小さくなるので、コイル列２Ａ_１、２Ｂ_１、２Ａ_２、２Ｂ_２の吸引力は、軌道１Ａ、１Ｂまでの距離が大きくなるほど小さくなる。

図１Ｂでは、浮上基準面２１及び浮上搬送路２２を示している。浮上基準面２１は、浮上位置の基準となるコイル列２Ａ_１、２Ａ_２、２Ｂ_１、２Ｂ_２の上面に一致する面を示している。浮上搬送路２２は、搬送車１００の重力と、コイル列２Ａ_１、２Ａ_２、２Ｂ_１、２Ｂ_２に流し得る最大電流を流したときのコイル列２Ａ_１、２Ａ_２、２Ｂ_１、２Ｂ_２の吸引力とが釣り合う位置を下限位置とするＺ軸方向の領域である。なお、浮上搬送路２２の上限位置は、軌道１Ａ、１Ｂの搬送車１００側の面に一致する面の位置である。図１Ｂでは、磁気浮上状態の搬送車１００について、浮上搬送路２２と浮上基準面２１との位置関係を示している。浮上搬送路２２は、浮上基準面２１を基準としたときに搬送車１００の浮上可能な領域である。すなわち、浮上搬送路２２は、軌道１とコイル列２との間に働く磁力により搬送車１００が浮上可能な位置に位置する領域である。

図１Ｂに示すように、磁気浮上状態の搬送車１００の場合、浮上基準面２１が浮上搬送路２２の下限位置よりも上方に進入して位置している。つまり、浮上基準面２１が浮上搬送路２２の下限位置に又は下限位置より上方に位置していないと、搬送車１００に対して十分な吸引力を発生させることができないため、搬送システム１１０は搬送車１００を浮上させることができない。したがって、搬送車１００を磁気浮上状態にするためには、浮上基準面２１が浮上搬送路２２の下限位置又は下限位置より上方に位置するように搬送車１００を配置することができる。

制御装置１２は、コイル列２Ａ_１、２Ａ_２、２Ｂ_１、２Ｂ_２に流す電流を制御する。これにより、制御装置１２は、搬送車１００に対するＺ軸方向の浮力を制御しつつ、搬送車１００のＺ軸方向の浮上を制御する。制御装置１２には、搬送車１００に取り付けられた磁気検出ヘッド（不図示）が接続されている。磁気検出ヘッドは、搬送路筐体９内に設置された磁気スケール（不図示）の値を読み取って、搬送車１００のＺ軸方向の位置を制御装置１２に送信する。制御装置１２は、磁気検出ヘッドから送信された搬送車１００のＺ軸方向の位置に基づきコイル列２Ａ_１、２Ａ_２、２Ｂ_１、２Ｂ_２に流す電流を制御する。

一方、制御装置１４は、固定子７のコイルに流す電流を制御する。これにより、制御装置１４は、搬送車１００に対するＸ軸方向の推力を制御しつつ、搬送車１００のＸ軸方向の走行を制御する。制御装置１４には、搬送路装置１０２にＸ軸方向に並ぶように設置された複数のリニアエンコーダ（不図示）が接続されている。各リニアエンコーダは、搬送車１００のリニアスケール（不図示）を読み取って搬送車１００の各エンコーダに対する相対的な位置を制御装置１４に出力する。制御装置１４は、各リニアエンコーダのＸ座標を示す座標テーブルを持っている。制御装置１４は、リニアエンコーダからの出力及びリニアエンコーダのＸ座標に基づき搬送車１００のＸ軸方向における位置を算出して、その位置に基づき固定子７のコイルに流す電流を制御する。なお、制御装置１２と制御装置１４をともに制御可能な制御装置を別途設けても構わない。

こうして、搬送システム１１０は、制御装置１２によりコイル列２Ａ_１、２Ａ_２、２Ｂ_１、２Ｂ_２に流す電流を制御し、制御装置１４により固定子７のコイルに流す電流を制御して、搬送車１００をＺ軸方向に浮上させつつＺ軸方向に走行させて搬送する。

例えばファクトリオートメーション化された工場では、早く、かつ、静かに搬送物を運ぶために、磁気浮上搬送システムが用いられている。磁気浮上搬送システムにおいて、搬送物を保持する搬送車を浮上させるための浮上力として磁力が使用される。

磁気浮上搬送システムでは、一般的に、搬送車の走行中に非常停止ボタンの押下や重故障が起きた時、磁気浮上搬送システムの安全装置によって駆動電源が停止する。すると、搬送車を浮上させるためのコイルの吸引力がなくなり、重力方向に搬送車が搬送路の下面に着陸する、又は搬送車の永久磁石の吸引力により搬送車が搬送路の上面に着陸する。このような搬送車の着陸状態から搬送車を再び離陸させて浮上制御を行うには、着陸した下面から搬送車を人手で押し上げる作業、着陸した上面から搬送車を引き剥がす作業が発生していた。また、搬送車を磁気浮上搬送システムの搬送路に投入し又は搬送路から排出する際も上記と同様の作業が発生していた。

そこで、特許文献１には、ガイドレールに吸着した搬送車を磁気浮上状態に復帰させる技術として、ハンドル、ギヤ機構、または電磁石といった外力により吸着力が小さくなる位置まで搬送車を移動させる構成が開示されている。しかしながら、特許文献１の構成では、上述のように、着陸した下面から搬送車を離陸させることは困難である一方、着陸した上面から搬送車を引き剥がす機構に起因して装置のコストが増大するおそれがある。

これに対して、本実施形態による搬送システム１１０は、搬送車１００を離陸させる移動手段として上下機構３０をさらに有している。本実施形態では、上下機構３０により、装置のコストを低く抑えつつ、浮上させるべき搬送車１００の離陸を容易に実現する。

以下、本実施形態による搬送システム１１０において搬送車１００を離陸させる移動手段である上下機構３０の具体的な構造及び離陸動作について図２Ａ乃至図２Ｄを用いて説明する。図２Ａ乃至図２Ｄは、それぞれ上下機構３０の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。図２Ａ乃至図２Ｄは、それぞれ上下機構３０を含む搬送システム１１０をＹ軸方向から見た側面図になっている。なお、わかりやすさのため、図２Ａ乃至図２Ｄでは、着陸搬送レール６を省略している。同様に、図３Ａ以降においても、着陸搬送レール６を省略している。

図２Ａ乃至図２Ｄに示すように、搬送システム１１０は、上下機構３０を有している。上下機構３０は、搬送路装置１０２の搬送路筐体９において、特定の１箇所に１つ設置されていてもよいし、Ｘ軸方向の位置が異なる複数箇所に１つずつ複数設置されていてもよい。

上下機構３０は、搬送車１００を下方から支持可能に構成されている。上下機構３０は、搬送車１００の下面に設置された搬送チャック５Ａ、５Ｂ及びこれに保持された搬送物４に接触することなく搬送車１００を支持しうる形状を有している。

また、上下機構３０は、Ｚ軸方向に駆動する駆動部３１を有している。駆動部３１は搬送路筐体９の底板に設けられ、着陸状態の搬送車１００をＺ軸方向に持ち上げうるトルクを有している。駆動部３１により、上下機構３０は、搬送車１００を支持した状態でＺ軸方向に移動して搬送車１００を持ち上げることができる。また、上下機構３０は、搬送車１００を持ち上げたとき、浮上基準面２１のＺ軸方向の位置が浮上搬送路２２の領域まで移動するようにＺ軸方向の高さ、駆動部３１のＺ軸方向の駆動範囲等が調整されている。

上下機構３０は、制御装置１４に接続されている。制御装置１４は、駆動部３１による上下機構３０のＺ軸方向の駆動を制御する。なお、上下機構３０は、制御装置１４とは別個の制御装置に接続されてその別個の制御装置により駆動が制御されてもよい。

上下機構３０により搬送車１００を離陸させる動作について図２Ａ乃至図２Ｄを用いて説明する。図２Ａ乃至図２Ｄに示す一連の動作を行うための上下機構３０の制御は、制御装置１４により実行されるが、これに代えて別個独立した制御装置により実行されてもよい。

まず、図２Ａに示すように、搬送車１００を着陸搬送路２０に着陸した着陸状態で上昇前の状態の上下機構３０の上方の位置に配置する。着陸搬送路２０は、着陸搬送レール６の下面によって形成される走行ローラー３の下側接地面の軌道である。上下機構３０の上方の位置への搬送車１００の配置方法としては、例えば、搬送システム１１０の有する制御装置１４又は他の制御装置のプログラムにより着陸状態の搬送車１００を自動走行させて配置する方法を用いることができる。また、同じく配置方法として、例えば、手動で搬送車１００を運搬して配置する方法を用いることもできる。

次に、図２Ｂに示すように、上下機構３０は、駆動部３１によりＺ軸方向に上昇して搬送車１００を下方から持ち上げる。これにより、搬送車１００がＺ軸方向に移動して上昇する。搬送車１００が上昇することにより、走行ローラー３は着陸搬送路２０から離れる。

上下機構３０により搬送車１００が上昇していくと、図２Ｃに示すように、搬送車１００の有する浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入する。こうして、上下機構３０は、軌道１とコイル列２との間に働く磁力により浮上可能な位置に搬送車１００を移動させる。制御装置１２は、コイル列２に電流を流して、浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入した搬送車１００が磁気浮上状態になるように搬送車１００に働く浮上力を制御する。なお、制御装置１２は、浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入した時点以降の所定の時点でコイル列２に電流を流してもよいし、浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入する前から予めコイル列２に電流を流していてもよい。こうして、搬送車１００は、浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入した状態で浮上力を受けて離陸し、磁気浮上状態となる。

次に、図２Ｄに示すように、搬送車１００の離陸後、上下機構３０は、駆動部３１によりＺ軸方向に下降して、搬送車１００から離れる。上下機構３０は、磁気浮上状態の搬送チャック５及び搬送物４を含む搬送車１００と接触しない位置まで下降する。こうして上下機構３０が下降することにより、搬送車１００は、上下機構３０と接触することなく浮上搬送路２２を走行可能な状態となる。制御装置１４は、固定子７のコイルに電流を流して搬送車１００に働く推力を制御することにより、磁気浮上状態の搬送車１００をＸ軸方向に浮上搬送路２２に沿って走行させて搬送することができる。

以上の動作により、搬送車１００を着陸搬送路２０から浮上搬送路２２に移動させて搬送車１００の離陸を実現することができる。

このように、本実施形態によれば、搬送路装置１０２に設置された簡単な構造の上下機構３０により搬送車１００を離陸させる。したがって、本実施形態によれば、装置のコストを低く抑えつつ、浮上させるべき搬送車１００の離陸を実現することができる。

［第２実施形態］
本発明の第２実施形態による搬送システム１１０について図３Ａ乃至図３Ｈを用いて説明する。なお、上記第１実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し又は簡略にする。

本実施形態による搬送システム１１０の基本的構成は、第１実施形態による構成とほぼ同様である。本実施形態による搬送システム１１０は、搬送車１００を離陸させるための移動手段として、上下機構３０に代えて受け取り機構５１、上昇機構５２及びスライド機構５５を有している。なお、搬送システム１１０は、第１実施形態の構成に加えて、受け取り機構５１、上昇機構５２及びスライド機構５５を有していてもよい。

以下、本実施形態による搬送システム１１０において搬送車１００を離陸させる移動手段である受け取り機構５１、上昇機構５２及びスライド機構５５の具体的な構造及び離陸動作について図３Ａ乃至図３Ｈを用いて説明する。図３Ａ乃至図３Ｈは、それぞれ受け取り機構５１、上昇機構５２及びスライド機構５５の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。図３Ａ乃至図３Ｈは、それぞれ受け取り機構５１、上昇機構５２及びスライド機構５５を含む搬送システム１１０をＹ軸方向から見た側面図になっている。

図３Ａ乃至図３Ｈに示すように、本実施形態による搬送システム１１０は、スライド機構５５を有している。また、本実施形態による搬送システム１１０は、着陸搬送路２０と浮上搬送路２２がＸ軸又はＺ軸方向に離れている場合にも搬送車１００の離陸を実現するために、受け取り機構５１及び上昇機構５２をさらに有している。受け取り機構５１、上昇機構５２及びスライド機構５５の組は、搬送路装置１０２において、特定の１箇所に１組設置されていてもよいし、Ｘ軸方向の位置が異なる複数箇所に１組ずつ複数組設置されていてもよい。

受け取り機構５１とスライド機構５５とは、搬送路装置１０２においてＸ軸方向に並ぶように設置されている。スライド機構５５は、受け取り機構５１よりもＺ軸方向に高い位置に設置されている。スライド機構５５の受け取り機構５１の側の端部は、受け取り機構５１のスライド機構５５の側の端部と重なっている。上昇機構５２は、搬送路装置１０２において、スライド機構５５の端部と受け取り機構５１の端部とが重なった箇所に設置されている。なお、搬送路装置１０２において受け取り機構５１、上昇機構５２及びスライド機構５５が設置された箇所には、着陸搬送レール６Ａ、６Ｂが設置されていない。また、搬送路装置１０２において上昇機構５２が設置された箇所には、軌道１Ａ、１Ｂが設置されていない。

受け取り機構５１は、Ｘ軸方向に駆動する駆動部５０を有している。駆動部５０は、着陸搬送路２０に沿って駆動できるようにＺ軸方向の高さが調整されている。受け取り機構５１は、受け取り位置において駆動部５０の上面に着陸状態の搬送車１００を搭載して受け取り可能に構成されている。また、駆動部５０は、その上面に着陸状態の搬送車１００が搭載された状態で駆動することができ、搬送車１００をＸ軸方向に移動させうるトルクを有している。駆動部５０により、受け取り機構５１は、受け取り位置において受け取った搬送車１００を上昇機構５２に受け渡す受け渡し位置までＸ軸方向に移動させることができる。受け取り機構５１は、駆動部５０のＸ軸方向における現在位置を特定して取得するためのエンコーダ（不図示）を内部に有している。

上昇機構５２は、受け取り機構５１から受け渡される搬送車１００を下方から支持可能に構成されている。上昇機構５２は、搬送車１００の下面に設置された搬送チャック５Ａ、５Ｂ及びこれに保持された搬送物４に接触することなく搬送車１００を支持しうる形状を有している。

また、上昇機構５２は、Ｚ軸方向に駆動する駆動部５３を有している。駆動部５３は、搬送路筐体９の底板に設けられ、着陸状態の搬送車１００をＺ軸方向に持ち上げうるトルクを有している。駆動部５３により、上昇機構５２は、搬送車１００を支持した状態でＺ軸方向に移動して搬送車１００を持ち上げることができる。

また、上昇機構５２は、搬送車１００を持ち上げたとき、浮上基準面２１のＺ軸方向の位置が浮上搬送路２２に対応する領域まで移動するようにＺ軸方向の高さ、駆動部５３のＺ軸方向の駆動範囲等が調整されている。上昇機構５２は、駆動部５３のＺ軸方向における現在位置を特定して取得するためのエンコーダ（不図示）を内部に有している。

なお、受け取り機構５１は、上昇機構５２の動作を妨げないように駆動部５０、スライド機構５５と重なった端部その他の部分が構成されている。また、スライド機構５５も、上昇機構５２の動作を妨げないように後述の駆動部５４、受け取り機構５１と重なった端部その他の部分が構成されている。

スライド機構５５は、Ｘ軸方向に駆動する駆動部５４を有している。スライド機構５５は、上昇機構５２により上昇された着陸状態の搬送車１００を駆動部５４の上面に搭載して受け取り可能に構成されている。スライド機構５５は、搬送車１００のＺ軸方向の位置を維持しつつ駆動部５４の上面に搬送車１００を搭載して受け取ることができる。駆動部５４は、その上面に着陸状態の搬送車１００が搭載された状態で駆動することができ、着陸状態の搬送車１００をＸ軸方向に移動させうるトルクを有している。また、駆動部５４は、搬送車１００を移動させたときに、浮上基準面２１のＸ軸方向の位置を浮上搬送路２２の領域まで移動するようにＺ軸方向の高さ、Ｘ軸方向の駆動範囲等が調整されている。スライド機構５５は、駆動部５４のＸ軸方向における現在位置を特定して取得するためのエンコーダ（不図示）を内部に有している。

受け取り機構５１は、制御装置１４に接続されている。制御装置１４は、駆動部５０のＸ軸方向の駆動を制御する。制御装置１４は、駆動部５０のＸ軸方向における現在位置を取得して、駆動部５０をＸ軸方向における所定の位置へ移動させることができる。なお、受け取り機構５１は、制御装置１４とは別個の制御装置に接続されてその別個の制御装置により駆動が制御されてもよい。

上昇機構５２は、制御装置１４に接続されている。制御装置１４は、駆動部５３による上昇機構５２のＺ軸方向の駆動を制御する。制御装置１４は、上昇機構５２から駆動部５３の現在位置を取得して、駆動部５３をＺ軸方向における所定の位置に移動させることができる。なお、上昇機構５２は、制御装置１４とは別個の制御装置に接続されてその別個の制御装置により駆動が制御されてもよい。

スライド機構５５は、制御装置１４に接続されている。制御装置１４は、駆動部５４のＸ軸方向の駆動を制御する。制御装置１４は、スライド機構５５から駆動部５４の現在位置を取得して、駆動部５４をＺ軸方向における所定の位置に移動させることができる。なお、スライド機構５５は、制御装置１４とは別個の制御装置に接続されてその別個の制御装置により駆動が制御されてもよい。

受け取り機構５１、上昇機構５２及びスライド機構５５により搬送車１００を離陸させる動作について図３Ａ乃至図３Ｆを用いて説明する。図３Ａ乃至図３Ｆに示す一連の動作を行うための受け取り機構５１、上昇機構５２及びスライド機構５５の制御は、制御装置１４により実行されるが、これに代えて別個独立した制御装置により実行されてもよい。

まず、図３Ａに示すように、着陸搬送路２０に着陸した着陸状態の搬送車１００を受け取り機構５１の受け取り位置に配置して、着陸状態の搬送車１００を駆動部５０の上面に搭載する。受け取り機構５１の受け取り位置への搬送車１００の配置方法としては、例えば、搬送システム１１０の有する制御装置１４又は他の制御装置のプログラムにより着陸状態の搬送車１００を自動走行させて配置する方法を用いることができる。また、同じく配置方法として、手動で搬送車１００を運搬して配置する方法を用いることもできる。

受け取り機構５１は、受け取り位置において着陸状態の搬送車１００を駆動部５０の上面に搭載して受け取ると、図３Ｂに示すように、着陸状態の搬送車１００が搭載された駆動部５０をＸ軸方向に駆動する。これにより、受け取り機構５１は、搬送車１００を上昇機構５２に受け渡す受け渡し位置に、搬送車１００が搭載された駆動部５０を移動する。受け取り機構５１は、受け渡し位置において上昇機構５２への搬送車１００の受け渡しを行う。

次に、図３Ｃに示すように、上昇機構５２は、受け取り機構５１から搬送車１００を受け取り、搬送車１００を下方から支持しつつＺ軸方向に上昇する。これにより、上昇機構５２は、浮上基準面２１のＺ軸方向の位置が浮上搬送路２２に対応する領域に移動するまで、搬送車１００を下方から持ち上げて搬送車１００をＺ軸方向に移動させる。

次に、図３Ｄに示すように、スライド機構５５は、上昇機構５２によりＺ軸方向に上昇された搬送車１００を、そのＺ軸方向の位置を維持しつつ駆動部５４の上面に搭載して受け取る。

次に、図３Ｅに示すように、スライド機構５５は、搬送車１００が搭載された駆動部５４をＸ軸方向に駆動する。これにより、スライド機構５５は、上昇機構５２から受け取った搬送車１００を浮上搬送路２２に送り出す。すると、搬送車１００の有する浮上基準面２１は、浮上搬送路２２に進入する。浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入した搬送車１００は、浮上力により離陸可能な状態となる。こうして、スライド機構５５は、軌道１とコイル列２との間に働く磁力により浮上可能な位置に搬送車１００を移動させる。

次に、制御装置１２は、コイル列２に電流を流して、浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入した搬送車１００が磁気浮上状態になるように搬送車１００に働く浮上力を制御する。すると、図３Ｆに示すように、搬送車１００は、浮上力を受けて離陸し、磁気浮上状態となる。その後、制御装置１４は、固定子７のコイルに電流を流して搬送車１００に働く推力を制御することにより、磁気浮上状態の搬送車１００をＸ軸方向に浮上搬送路２２に沿って走行させて搬送することができる。

このように、本実施形態によれば、搬送路装置１０２に設置された簡単な構造の受け取り機構５１、上昇機構５２及びスライド機構５５により搬送車１００を離陸させる。したがって、本実施形態によれば、装置のコストを低く抑えつつ、浮上させるべき搬送車１００の離陸を実現することができる。

なお、スライド機構５５は、図３Ｇに示すように、搬送路筐体９の天板内面に取り付けられて設置され、駆動部５４に軌道１が取り付けられて設置されていてもよい。この場合、駆動部５４がＸ軸方向に移動することで、軌道１及びこれに伴う浮上搬送路２２がＸ軸方向に移動する。駆動部５４は、上昇機構５２の側にＸ軸方向に移動して、軌道１及びこれに伴う浮上搬送路２２を上昇機構５２の上方に位置させることができる。また、駆動部５４は、上昇機構５２とは反対の側にＸ軸方向に移動して、上昇機構５２とは反対の側で駆動部５４に設置された軌道１を別の軌道１に接続させることができる。

上昇機構５２の上方に浮上搬送路２２を位置させた状態で上昇機構５２が搬送車１００を下方から持ち上げて搬送車１００をＺ軸方向に移動させると、搬送車１００の有する浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入する。浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入した搬送車１００は、浮上力により離陸可能な状態となる。制御装置１２は、上記と同様に搬送車１００に働く浮上力を制御して、搬送車１００を離陸させて磁気浮上状態とする。

搬送車１００が磁気浮上状態になると、スライド機構５５は、図３Ｈに示すように、上昇機構５２とは反対側にＸ軸方向に駆動部５４を移動させて、駆動部５４の軌道１を別の軌道１に接続させる。磁気浮上状態の搬送車１００は、コイル列２と駆動部５４の軌道１との間の吸引力により駆動部５４とともにＸ軸方向に移動する。その後、制御装置１４は、上記と同様に搬送車１００に働く推力を制御することにより、磁気浮上状態の搬送車１００をＸ軸方向に浮上搬送路２２に沿って走行させて搬送することができる。

［第３実施形態］
本発明の第３実施形態による搬送システム１１０について図４Ａ乃至図４Ｄを用いて説明する。なお、上記第１及び第２実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し又は簡略にする。

本実施形態による搬送システム１１０の基本的構成は、第１実施形態による構成とほぼ同様である。本実施形態による搬送システム１１０は、搬送車１００を離陸させるための移動手段として、上下機構３０に代えてスロープ６０Ａ、６０Ｂを有している。なお、搬送システム１１０は、第１実施形態の構成又は第２実施形態の構成に加えてスロープ６０Ａ、６０Ｂを有していてもよい。また、搬送システム１１０は、第１実施形態の構成及び第２実施形態の構成の組み合わせに加えてスロープ６０Ａ、６０Ｂを有していてもよい。

以下、本実施形態による搬送システム１１０において搬送車１００を離陸させる移動手段であるスロープ６０Ａ、６０Ｂの具体的な構造及び離陸動作について図４Ａ乃至図４Ｄを用いて説明する。図４Ａ乃至図４Ｄは、それぞれスロープ６０Ａ、６０Ｂの具体的な構造及び離陸動作を示す図である。図４Ａ乃至図４Ｄは、それぞれスロープ６０Ａ、６０Ｂを含む搬送システム１１０をＹ軸方向から見た側面図になっている。

図４Ａ乃至図４Ｄに示すように、本実施形態による搬送システム１１０は、搬送路筐体９の側板の内面に設けられた着陸搬送レール６の下面に設けられたスロープ６０Ａ、６０Ｂを有している。スロープ６０Ａ、６０Ｂは、それぞれ着陸搬送レール６Ａ、６Ｂに同様に設けられている。着陸搬送レール６の下面をＸ軸方向の一方に向かって走行する搬送車１００に対して、スロープ６０Ａは軌道１に徐々に近づくように傾斜したスロープ、スロープ６０Ｂは軌道１から徐々に離れるように傾斜したスロープになっている。

スロープ６０Ａとスロープ６０Ｂとの間の着陸搬送レール６の下面は、Ｘ軸方向に平行な平坦面６２になっている。平坦面６２は、スロープ６０Ａ、６０Ｂの外側の着陸搬送レール６の下面よりもＺ軸方向に高くなっている。平坦面６２のＺ軸方向の高さは、平坦面６２に着陸している搬送車１００の有する浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入する高さになっている。すなわち、平坦面６２は、軌道１とコイル列２との間に働く磁力により搬送車１００が浮上可能な位置に位置している。スロープ６０Ａ、６０Ｂは、それぞれ平坦面６２の側、すなわち搬送車１００が浮上可能な位置の側に傾斜するように設けられている。

スロープ６０Ａ、６０Ｂは、Ｘ軸方向に対する傾斜角として、それぞれ着陸搬送レール６の下面に着陸した着陸状態でＸ軸方向に走行する搬送車１００が登り降り可能な角度を有している。なお、スロープ６０Ａ、６０Ｂの傾斜角は、互いに同じであっても互いに異なっていてもよい。

なお、スロープ６０Ａ、６０Ｂ及び平坦面６２を含む着陸搬送レール６の下面に対しては、これに対向するように平坦面６２よりもＺ軸方向に高い位置に着陸搬送レール６の上面が配置されている。着陸搬送レール６の上面は、平坦面６２よりもＺ軸方向に高い位置に配置されているため、搬送車１００の離陸を妨げることはない。

本実施形態による搬送システム１１０は、スロープ６０Ａ、６０Ｂを含む着陸搬送レール６の下面に搬送車１００を着陸状態で走行させることにより浮上基準面２１の高さを変更して、搬送車１００を離陸させる。スロープ６０により搬送車１００を離陸させる動作について図４Ａ乃至図４Ｄを用いて説明する。

まず、図４Ａに示すように、搬送車１００を着陸搬送路２０に着陸した着陸状態でスロープ６０Ａの直前位置に配置する。スロープ６０Ａの直前位置への搬送車１００の配置方法としては、例えば、搬送システム１１０の有する制御装置１４又は他の制御装置のプログラムにより着陸状態の搬送車１００を自動走行させて配置する方法を用いることができる。また、同じく配置方法として、手動で搬送車１００を運搬して配置する方法を用いることもできる。

次に、図４Ｂに示すように、制御装置１４は、固定子７のコイルに電流を流して搬送車１００に働く推力を制御することにより、着陸状態の搬送車１００をＸ軸方向にスロープ６０Ａの側に走行させる。これにより、搬送車１００は、スロープ６０Ａに沿って走行して軌道１に徐々に近づいて行くため、着陸搬送路２０から離れながら浮上基準面２１を上昇させる。

次に、図４Ｃに示すように、搬送車１００は、スロープ６０Ａを走行することにより平坦面６２に到達して上昇位置に案内される。搬送車１００が上昇位置に案内されることにより、搬送車１００の有する浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入する。浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入した搬送車１００は、浮上力により離陸可能な状態となる。こうして、搬送車１００は、スロープ６０Ａを走行して、軌道１とコイル列２との間に働く磁力により浮上可能な位置に移動する。搬送車１００が離陸可能な状態になると、制御装置１２は、コイル列２に電流を流して、搬送車１００が磁気浮上状態になるように搬送車１００に働く浮上力を制御する。すると、搬送車１００は、浮上力を受けて離陸し、磁気浮上状態となる。

次に、図４Ｄに示すように、制御装置１４は、固定子７のコイルに電流を流して搬送車１００に働く推力を制御することにより、磁気浮上状態の搬送車１００を浮上搬送路２２に沿って走行させて搬送する。スロープ６０Ｂは着陸搬送路２０に向かって配置されているが、搬送車１００は、磁気浮上状態で離陸しているため、スロープ６０Ｂを走行することはなく着陸搬送路２０には移動しない。

なお、スロープ６０は、着陸状態の搬送車１００が走行して浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入することができるように配置されていればよく、上記のように配置されたものに限定されるものではない。例えば、上記のように搬送車１００が一方向に走行する場合にはスロープ６０Ａが設けられていればよく、必ずしもスロープ６０Ｂは設けられている必要はない。スロープ６０Ｂは、上記とは逆方向に搬送車１００が走行する場合にスロープ６０Ａと同様に搬送車１００を離陸させるためのスロープとして機能することができる。また、例えば、スロープ６０は、傾斜面と平坦面とを組み合わせた階段状のものであってもよい。

このように、本実施形態によれば、搬送路装置１０２の着陸搬送レール６に設けられた簡単な構造のスロープ６０により搬送車１００を離陸させる。したがって、本実施形態によれば、装置のコストを低く抑えつつ、浮上させるべき搬送車１００の離陸を実現することができる。

［第４実施形態］
本発明の第４実施形態による搬送システム１１０について図５Ａ乃至図５Ｄ用いて説明する。なお、上記第１乃至第３実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し又は簡略にする。

本実施形態による搬送システム１１０の基本的構成は、第１実施形態による構成とほぼ同様である。本実施形態による搬送システム１１０は、搬送車１００を離陸させるための移動手段として、上下機構３０に代えて昇降機構７０を有している。なお、搬送システム１１０は、第１乃至第３実施形態の構成のうちのいずれかの１つの構成に加えて昇降機構７０を有していてもよい。また、搬送システム１１０は、第１乃至第３実施形態の構成のうちの少なくとも２つの組み合わせに加えて昇降機構７０を有していてもよい。

以下、本実施形態による搬送システム１１０において搬送車１００を離陸させる移動手段である昇降機構７０の具体的な構造及び離陸動作について図５Ａ乃至図５Ｄを用いて説明する。図５Ａ乃至図５Ｄは、それぞれ昇降機構７０の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。図５Ａ乃至図５Ｄは、それぞれ昇降機構７０を含む搬送システム１１０をＹ軸方向から見た側面図になっている。

図５Ａ乃至図５Ｄに示すように、本実施形態による搬送システム１１０は、昇降機構７０を有している。昇降機構７０は、搬送路装置１０２において、特定の１箇所に設置されていてもよいし、Ｘ軸方向の位置が異なる複数箇所に複数設置されていてもよい。

昇降機構７０は、Ｘ軸方向の所定の区間における搬送路筐体９の天板の一部及びこれに設置された軌道１の一部に対して設置されている。搬送路筐体９の天板の一部及び軌道１の一部は、それぞれ天板の他の部分及び軌道１の他の部分と分離可能に構成されている。

昇降機構７０は、Ｚ軸方向に駆動することで、搬送路筐体９の天板の一部及び軌道１の一部をＺ軸方向へ移動させるトルクを有している。昇降機構７０がＺ軸方向に下降すると、軌道１の一部もＺ軸方向に下降するため、浮上搬送路２２もＺ軸方向に下降する。

昇降機構７０は、着陸状態の搬送車１００が昇降機構７０の昇降位置に配置されたときに、浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入する位置に下降することができるように昇降範囲が調整されている。

昇降機構７０は、制御装置１４に接続されている。制御装置１４は、昇降機構７０のＺ軸方向の駆動を制御する。制御装置１４は、昇降機構７０からその現在位置を取得して、昇降機構７０をＺ軸方向における所定の位置に移動させることができる。なお、昇降機構７０は、制御装置１４とは別個の制御装置に接続されてその別個の制御装置により駆動が制御されてもよい。

昇降機構７０により搬送車１００を離陸させる動作について図５Ａ乃至図５Ｄを用いて説明する。図５Ａ乃至図５Ｄに示す一連の動作を行うための昇降機構７０の制御は、制御装置１４により実行されるが、これに代えて別個独立した制御装置により実行されてもよい。

まず、図５Ａに示すように、搬送車１００を着陸搬送路２０に着陸した着陸状態で昇降機構７０の昇降位置に配置する。このとき、昇降機構７０は、下降する前の初期状態になっている。昇降機構７０の昇降位置への搬送車１００の配置方法としては、例えば、搬送システム１１０の有する制御装置１４又は他の制御装置のプログラムにより着陸状態の搬送車１００を自動走行させて配置する方法を用いることができる。また、同じく配置方法として、手動で搬送車１００を運搬して配置する方法を用いることもできる。

次に、図５Ｂに示すように、昇降機構７０は、所定の下降位置までＺ軸方向に下降する。これにより、昇降機構７０が設置された軌道１の一部とともに浮上搬送路２２がＺ軸方向に移動して下降する。こうして浮上搬送路２２が所定の位置まで下降すると、搬送車１００の有する浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入する。浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入した搬送車１００は、浮上力により離陸可能な状態となる。こうして、昇降機構７０は、軌道１とコイル列２との間に働く磁力により浮上可能な位置に搬送車１００を相対的に移動させる。

次に、制御装置１２は、コイル列２に電流を流して、浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入した搬送車１００が磁気浮上状態になるように搬送車１００に働く浮上力を制御する。すると、図５Ｃに示すように、搬送車１００は、浮上力を受けて離陸し、磁気浮上状態となる。

次に、図５Ｄに示すように、搬送車１００の離陸後、昇降機構７０は、図５Ａに示す初期状態の位置までＺ軸方向に上昇する。昇降機構７０が上昇することにより浮上搬送路２２が上昇し、それに追従する形で搬送車１００も上昇して着陸搬送路２０から離れる。こうして昇降機構７０が初期状態に復帰することにより、搬送車１００が軌道１の一部から他の部分に移って走行可能になる。その後、制御装置１４は、固定子７のコイルに電流を流して搬送車１００に働く推力を制御することにより、磁気浮上状態の搬送車１００をＸ軸方向に浮上搬送路２２に沿って走行させて搬送することができる。

このように、本実施形態によれば、搬送路装置１０２に設置された簡単な構造の昇降機構７０により搬送車１００を離陸させる。したがって、本実施形態によれば、装置のコストを低く抑えつつ、浮上させるべき搬送車１００の離陸を実現することができる。

［第５実施形態］
本発明の第５実施形態による搬送システム１１０について図６乃至図７Ｆを用いて説明する。なお、上記第１乃至第４実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し又は簡略にする。

はじめに、本実施形態による搬送システム１１０の概略構成について図６を用いて説明する。図６は、本実施形態による搬送システム１１０を示す側面図である。図６は、Ｘ軸方向から搬送システム１１０を見た側面図になっている。

本実施形態による搬送システム１１０の基本的構成は、第１実施形態による構成とほぼ同様である。本実施形態による搬送システム１１０は、軟磁性材料により構成された軌道１Ａ、１Ｂに代えて硬磁性材料、すなわち永久磁石による構成された軌道１ａ、１ｂを有している。なお、第１乃至第４実施形態による搬送システム１１０も、本実施形態と同様に軌道１Ａ、１Ｂに代えて軌道１ａ、１ｂを有していてもよい。

本実施形態による搬送システム１１０では、図６に示すように、搬送路筐体９の天板内面に、軟磁性材料により構成された軌道１Ａ、１Ｂに代えて、永久磁石により構成されたＸ軸方向に沿って延びる帯板状の軌道１ａ、１ｂが取り付けられている。１組の軌道１ａ、１ｂは、所定の間隔を空けて互いに平行に取り付けられている。軌道１ａ、１ｂは、それぞれＸ軸方向に並ぶように配置された複数の永久磁石を含んでいる。軌道１ａ、１ｂのそれぞれにおいて、複数の永久磁石は、各永久磁石の互いに極性が異なる磁極がＹ軸方向に並ぶとともに、Ｘ軸方向に隣接する永久磁石の磁極が互いに異なるように配置されている。このように、本実施形態では、硬磁性材料の磁性材である永久磁石により軌道１ａ、１ｂが構成されている。

このように、本実施形態による搬送システム１１０は、固定部である軌道１に永久磁石が配置され、可動部である搬送車１００にコイル列２が配置されたムービングコイル（ＭＣ）型の構成を有している。本実施形態による搬送システム１１０は、永久磁石により構成された軌道１ａ、１ｂと搬送車１００のコイル列２との間に働く力を浮上力及び推力としてＺ軸方向に浮上させつつＸ軸方向に搬送車１００を走行させて搬送することができる。制御装置１２は、コイル列２に流す電流を制御することにより、搬送車１００に対する浮上力及び推力を制御することができる。なお、本実施形態でも、第１実施形態と同様に固定子７と二次導体板８との間に働く力を推力として用いることもできる。なお、搬送システム１１０は、ＭＣ型の構成に代えて、固定部にコイル列２が配置され、可動部に永久磁石が配置されたムービングマグネット（ＭＭ）型の構成を採用することもでき、この場合も同様の効果を得ることができる。

永久磁石により構成された軌道１ａ、１ｂには、それぞれコイル列２Ａ、２Ｂの鉄心に対して吸着力が発生する。軌道１ａ、１ｂの吸着力は、それぞれコイル列２Ａ、２Ｂまでの距離が小さいほどより大きくなる。また、制御装置１２は、軌道１ａ、１ｂによる磁界を強める向き又は弱める向きの磁界をコイル列２Ａ、２Ｂに発生させるようにコイル列２Ａ、２Ｂに電流を流すことができる。つまり、制御装置１２は、コイル列２Ａ、２Ｂに流す電流を制御することにより、コイル列２Ａ、２Ｂと軌道１ａ、１ｂとの間の吸着力を増減させることができる。

浮上搬送路２２は、浮上基準面２１を基準としたときの搬送車１００の浮上可能な領域である。本実施形態において、浮上搬送路２２の下限位置は、搬送車１００の重力と、軌道１ａ、１ｂによる磁界を強めるようにコイル列２Ａ、２Ｂに流し得る最大電流を流したときの軌道１ａ、１ｂとコイル列２Ａ、２Ｂとの間の吸着力とが釣り合う位置である。浮上搬送路２２の上限位置は、搬送車１００の重力と、軌道１ａ、１ｂによる磁界を弱めるようにコイル列２Ａ、２Ｂに流し得る最大電流を流したときの軌道１ａ、１ｂとコイル列２Ａ、２Ｂとの間の吸着力とが釣り合う位置である。

図６に示すように、磁気浮上状態の搬送車１００の場合、浮上基準面２１が浮上搬送路２２の下限位置よりも上方に進入して位置している。つまり、浮上基準面２１が浮上搬送路２２の下限位置に又は下限位置よりも上方に位置していないと、搬送車１００に対して十分な吸着力を発生させることができないため、搬送システム１１０は搬送車１００を浮上させることができない。また、浮上基準面２１が浮上搬送路２２の上限位置を超えて位置すると、軌道１ａ、１ｂとコイル列２Ａ、２Ｂとの間の吸着力により、搬送車１００の有する走行ローラー３が着陸搬送レール６の上面に着陸してしまう。なお、着陸搬送レール６の上面のＺ軸方向の位置は、走行ローラー３が着陸搬送レール６の上面に着陸したときにコイル列２Ａ、２Ｂが軌道１ａ、１ｂに接触しないように調整されていてもよいし、接触するように調整されていてもよい。

本実施形態による搬送システム１１０は、永久磁石により構成された軌道１ａ、１ｂに対応して、搬送車１００を離陸させる移動手段として上下機構３３をさらに有している。以下、本実施形態による搬送システム１１０において搬送車１００を移動させる移動手段である上下機構３３の具体的な構造及び離陸動作について図７Ａ乃至図７Ｆを用いて説明する。図７Ａ乃至図７Ｆは、それぞれ上下機構３３の具体的な構造及び離陸動作を示す図である。図７Ａ乃至図７Ｆは、それぞれ上下機構３３を含む搬送システム１１０をＹ軸方向から見た側面図になっている。

図７Ａ乃至図７Ｄに示すように、搬送システム１１０は、上下機構３３を有している。上下機構３３は、搬送路装置１０２において、特定の１箇所に１つ設置されていてもよいし、Ｘ軸方向の位置が異なる複数箇所に１つずつ複数設置されていてもよい。

上下機構３３は、搬送路筐体９の底板に設けられＺ軸方向に駆動する駆動部３２と、搬送車１００を把持する把持部３４Ａ、３４Ｂとを有している。また、上下機構３３は、着陸搬送レール６の上面に着陸した着陸状態の搬送車１００を把持部３４により把持したままＺ軸方向の負の方向に引き下げうるトルクを有している。駆動部３２により、上下機構３３は、把持部３４で搬送車１００を把持した状態でＺ軸方向に移動して搬送車１００を引き下げることができる。また、上下機構３３は、搬送車１００を引き下げたとき、浮上基準面２１のＺ軸方向の位置が浮上搬送路２２の領域まで移動するようにＺ軸方向の高さ、駆動部３２のＺ軸方向の駆動範囲等が調整されている。

上下機構３３は、制御装置１４に接続されている。制御装置１４は、駆動部３２による上下機構３３のＺ軸方向の駆動を制御する。また、制御装置１４は、把持部３４による搬送車１００の把持動作を制御する。なお、上下機構３３は、制御装置１４とは別個の制御装置に接続されてその別個の制御装置により駆動が制御されてもよい。

上下機構３３により搬送車１００を離陸させる動作について図７Ａ乃至図７Ｆを用いて説明する。図７Ａ乃至図７Ｆに示す一連の動作を行うための上下機構３３の制御は、制御装置１４により実行されるが、これに代えて別個独立した制御装置により実行されてもよい。

まず、図７Ａに示すように、搬送車１００を着陸搬送路２０に着陸した着陸状態で上昇前の状態の上下機構３３の上方の位置に配置する。なお、本実施形態にいう着陸搬送路２０は、第１実施形態とは異なり、着陸搬送レール６の上面によって形成される走行ローラー３の上側接地面の軌道である。搬送車１００は、コイル列２Ａ、２Ｂと軌道１ａ、１ｂとの間に働く吸着力により着陸搬送レール６の上面に着陸している。制御装置１２は、コイル列２Ａ、２Ｂに流す電流を制御することにより、コイル列２Ａ、２Ｂと軌道１ａ、１ｂとの間に働く吸着力を調整することができる。上下機構３３の上方の位置への搬送車１００の配置方法としては、例えば、搬送システム１１０の有する制御装置１４又は他の制御装置のプログラムにより着陸状態の搬送車１００を自動走行させて配置する方法を用いることができる。また、同じく配置方法として、例えば、手動で搬送車１００を運搬して配置する方法を用いることもできる。

次に、図７Ｂに示すように、上下機構３３は、駆動部３２によりＺ軸方向に上昇し、把持部３４により搬送車１００を把持可能な位置に移動する。
次に、図７Ｃに示すように、把持部３４は、搬送車１００を把持する。

次に、図７Ｄに示すように、上下機構３３は、駆動部３２によりＺ軸方向に下降する。これにより、把持部３４により把持された搬送車１００も下降する。このように上下機構３３が下降することにより、搬送車１００の有する浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入する。浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入した搬送車１００は、浮上力により離陸可能な状態となる。こうして、上下機構３３は、軌道１とコイル列２との間に働く磁力により浮上可能な位置に搬送車１００を相対的に移動させる。

次に、図７Ｅに示すように、把持部３４は、浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入した状態で搬送車１００を解放する。
浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入しているため、搬送車１００は、浮上力を受けて離陸し、磁気浮上状態となる。制御装置１２は、コイル列２に流す電流を制御して浮上力を制御することができる。

次に、図７Ｆに示すように、上下機構３３は、駆動部３２により更に下降する。すると、搬送車１００は、上下機構３３と接触することなく浮上搬送路２２を走行可能な状態となる。制御装置１２は、コイル列２に電流を流して搬送車１００に働く浮上力及び推力を制御することにより、磁気浮上状態の搬送車１００をＸ軸方向に浮上搬送路２２に沿って走行させて搬送することができる。

このように、本実施形態によれば、搬送路装置１０２に設置された簡単な構造の上下機構３３により搬送車１００を離陸させる。したがって、本実施形態によれば、装置のコストを低く抑えつつ、浮上させるべき搬送車１００の離陸を実現することができる。

［第６実施形態］
本発明の第６実施形態による搬送システム１１０について図８Ａ乃至図８Ｄを用いて説明する。なお、上記第１乃至第５実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し又は簡略にする。

本実施形態による搬送システム１１０の基本的構成は、第１実施形態による構成とほぼ同様である。本実施形態による搬送システム１１０は、搬送車１００を離陸させるための移動手段として、上下機構３０に代えてスロープ６１Ａ、６１Ｂを有している。なお、搬送システム１１０は、第１乃至第５実施形態の構成のうちのいずれかの１つの構成に加えてスロープ６１Ａ、６１Ｂを有していてもよい。また、搬送システム１１０は、第１乃至第５実施形態の構成のうちの少なくとも２つの組み合わせに加えてスロープ６１Ａ、６１Ｂを有していてもよい。

以下、本実施形態による搬送システム１１０において搬送車１００を離陸させる移動手段であるスロープ６１Ａ、６１Ｂの具体的な構造及び離陸動作について図８Ａ乃至図８Ｄを用いて説明する。図８Ａ乃至図８Ｄは、それぞれスロープ６１Ａ、６１Ｂの具体的な構造及び離陸動作を示す図である。図８Ａ乃至図８Ｄは、それぞれスロープ６１Ａ、６１Ｂを含む搬送システム１１０をＹ軸方向から見た側面図になっている。

図８Ａ乃至図８Ｄに示すように、本実施形態による搬送システム１１０は、搬送路筐体９の側板に設けられた着陸搬送レール６の上面に設けられたスロープ６１Ａ、６１Ｂを有している。スロープ６１Ａ、６１Ｂは、それぞれ着陸搬送レール６Ａ、６Ｂに同様に設けられている。着陸搬送レール６の上面をＸ軸方向の一方に向かって走行する搬送車１００に対して、スロープ６０Ａは軌道１から徐々に離れるように傾斜したスロープ、スロープ６０Ｂは軌道１に徐々に近づくように傾斜したスロープになっている。

スロープ６１Ａとスロープ６１Ｂとの間の着陸搬送レール６の上面は、Ｘ軸方向に平行な平坦面６３になっている。平坦面６３は、スロープ６１Ａ、６１Ｂの外側の着陸搬送レール６の上面よりもＺ軸方向に低くなっている。平坦面６３のＺ軸方向の高さは、平坦面６３に着陸している搬送車１００の有する浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入する高さになっている。すなわち、平坦面６３は、軌道１とコイル列２との間に働く磁力により搬送車１００が浮上可能な位置に位置している。スロープ６１Ａ、６１Ｂは、それぞれ平坦面６３の側、すなわち搬送車１００が浮上可能な位置の側に傾斜するように設けられている。

スロープ６１Ａ、６１Ｂは、Ｘ軸方向に対する傾斜角として、それぞれ着陸搬送レール６の下面に着陸した着陸状態でＸ軸方向に走行する搬送車１００が登り降り可能な角度を有している。なお、スロープ６１Ａ、６１Ｂの傾斜角は、互いに同じであっても互いに異なっていてもよい。

なお、スロープ６１Ａ、６１Ｂ及び平坦面６３を含む着陸搬送レール６の上面に対しては、これに対向するように平坦面６３よりもＺ軸方向に低い位置に着陸搬送レール６の下面が配置されている。着陸搬送レール６の下面は、平坦面６３よりもＺ軸方向に低い位置に配置されているため、搬送車１００の離陸を妨げることはない。

本実施形態による搬送システム１１０は、スロープ６１Ａ、６１Ｂを含む着陸搬送レール６の上面に搬送車１００を着陸状態で走行させることにより浮上基準面２１の高さを変更して、搬送車１００を離陸させる。スロープ６１により搬送車１００を離陸させる動作について図８Ａ乃至図８Ｄを用いて説明する。

まず、図８Ａに示すように、搬送車１００を着陸搬送路２０に着陸した着陸状態でスロープ６１Ａの直前位置に配置する。なお、本実施形態にいう着陸搬送路２０は、第１実施形態とは異なり、着陸搬送レール６の上面によって形成される走行ローラー３の上側接地面の軌道である。搬送車１００は、コイル列２Ａ、２Ｂと軌道１Ａ、１Ｂとの間に働く吸着力により着陸搬送レール６の上面に着陸している。制御装置１２は、コイル列２Ａ、２Ｂに流す電流を制御することにより、コイル列２Ａ、２Ｂと軌道１Ａ、１Ｂとの間に働く吸着力を調整することができる。スロープ６１Ａの直前位置への搬送車１００の配置方法としては、例えば、搬送システム１１０の有する制御装置１４又は他の制御装置のプログラムにより着陸状態の搬送車１００を自動走行させて配置する方法を用いることができる。また、同じく配置方法として、手動で搬送車１００を運搬して配置する方法を用いることもできる。

次に、図８Ｂに示すように、制御装置１４は、固定子７のコイルに電流を流して搬送車１００に働く推力を制御することにより、着陸状態の搬送車１００をＸ軸方向にスロープ６１Ａの側に走行させる。これにより、搬送車１００は、スロープ６１Ａに沿って走行して軌道１から徐々に離れて行くため、着陸搬送路２０から離れながら浮上基準面２１を下降させる。

次に、図８Ｃに示すように、搬送車１００は、スロープ６１Ａを走行することにより平坦面６３に到達して下降位置に案内される。搬送車１００が下降位置に案内されることにより、搬送車１００の有する浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入する。浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入した搬送車１００は、浮上力により離陸可能な状態となる。こうして、搬送車１００は、スロープ６１Ａを走行して、軌道１とコイル列２との間に働く磁力により浮上可能な位置に移動する。搬送車１００が離陸可能な状態になると、制御装置１２は、コイル列２に電流を流して、搬送車１００が磁気浮上状態になるように搬送車１００に働く浮上力を制御する。すると、搬送車１００は、浮上力を受けて離陸し、磁気浮上状態となる。

次に、図８Ｄに示すように、制御装置１４は、固定子７のコイルに電流を流して搬送車１００に働く推力を制御することにより、磁気浮上状態の搬送車１００を浮上搬送路２２に沿って走行させて搬送する。スロープ６１Ｂは着陸搬送路２０に向かって配置されているが、搬送車１００は、磁気浮上状態で離陸しているため、スロープ６１Ｂを走行することはなく着陸搬送路２０には移動しない。

なお、スロープ６１は、着陸状態の搬送車１００が走行して浮上基準面２１が浮上搬送路２２に進入することができるように配置されていればよく、上記のように配置されたものに限定されるものではない。例えば、上記のように搬送車１００が一方向に走行する場合にはスロープ６１Ａが設けられていればよく、必ずしもスロープ６１Ｂは設けられている必要はない。スロープ６１Ｂは、上記とは逆方向に搬送車１００が走行する場合にスロープ６１Ａと同様に搬送車１００を離陸させるためのスロープとして機能することができる。また、例えば、スロープ６１は、傾斜面と平坦面とを組み合わせた階段状のものであってもよい。

このように、本実施形態によれば、搬送路装置１０２の着陸搬送レール６に設けられた簡単な構造のスロープ６１により搬送車１００を離陸させる。したがって、本実施形態によれば、装置のコストを低く抑えつつ、浮上させるべき搬送車１００の離陸を実現することができる。

［変形実施形態］
本発明は、上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
例えば、上記実施形態では、搬送車１００を浮上させる浮上力としてコイル列２と軌道１との間に働く力を利用し、搬送車１００を走行させる推力として二次導体板８との間に働く力を利用する場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。搬送車１００は、搬送路筐体９に設置された軌道１としての第１の磁力部と搬送車１００に設置された第２の磁力部との間に働く磁力により浮上しつつ走行するように構成されていればよい。この場合、第１の磁力部及び第２の磁力部の一方としてコイル列を用い、第１の磁力部及び第２の磁力部の他方として軟磁性材料又は硬磁性材の磁性材を用いることができる。磁気浮上型の搬送システム１１０は、ＭＣ型にもＭＭ型にも構成することができる。

また、上記実施形態では、軌道１が２列である場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。軌道１は１列又は２列以上の複数列であってもよく、軌道１の列数に対応して搬送車１００にコイル列２を設置することができる。

また、本発明による搬送システムは、電子機器等の物品を製造する製造システムにおいて、物品となるワークに対して各作業工程を実施する工作機械等の各工程装置の作業領域にワークを可動子とともに搬送する搬送システムとして利用することができる。作業工程を実施する工程装置は、ワークに対して部品の組み付けを実施する装置、塗装を実施する装置等、あらゆる装置であってよい。また、製造される物品も特定のものに限定されるものではなく、あらゆる部品であってよい。

このように、本発明による搬送システムを用いてワークを作業領域に搬送し、作業領域に搬送されたワークに対して作業工程を実施して物品を製造することができる。

１…軌道
２…コイル列
３…走行ローラー
４…搬送物
５…搬送チャック
６…着陸搬送レール
７…固定子
８…二次導体板
９…搬送路筐体
１２…制御装置
１４…制御装置
２０…着陸搬送路
２１…浮上基準面
２２…浮上搬送路
３０…上下機構
３１…駆動部
３２…駆動部
３３…上下機構
３４…把持部
５０…駆動部
５１…受け取り機構
５２…上昇機構
５３…駆動部
５４…駆動部
５５…スライド機構
６０…スロープ
６１…スロープ
７０…昇降機構
１００…搬送車
１０２…搬送路装置
１０４…工程装置
１１０…搬送システム

Claims

搬送路筐体と、
前記搬送路筐体に設置された第１の磁力部と、
前記第１の磁力部と対向可能に設置された第２の磁力部を有し、前記第１の磁力部と前記第２の磁力部との間に働く磁力により浮上しつつ前記搬送路筐体に沿って走行可能な搬送車と、
前記搬送路筐体に設置され、前記搬送車が着陸して走行可能なレールと、
前記レールに着陸した着陸状態の前記搬送車を、前記磁力により浮上可能な位置に移動させる少なくとも１つの移動手段と、
を有し、
前記移動手段は、前記搬送車を水平方向に沿って移動させて前記搬送車を前記浮上可能な位置に移動させるスライド機構を含む
ことを特徴とする搬送システム。
搬送路筐体と、
前記搬送路筐体に設置された第１の磁力部と、
前記第１の磁力部と対向可能に設置された第２の磁力部を有し、前記第１の磁力部と前記第２の磁力部との間に働く磁力により浮上しつつ前記搬送路筐体に沿って走行可能な搬送車と、
前記搬送路筐体に設置され、前記搬送車が着陸して走行可能なレールと、
前記レールに着陸した着陸状態の前記搬送車を、前記磁力により浮上可能な位置に移動させる少なくとも１つの移動手段と、
を有し、
前記移動手段は、前記着陸状態の前記搬送車が走行して前記浮上可能な位置に移動するスロープを含む
ことを特徴とする搬送システム。
前記レールは、重力により前記搬送車が着陸する下面を有し、
前記スロープは、前記浮上可能な位置の側に傾斜するように前記下面に設けられている
ことを特徴とする請求項２記載の搬送システム。
前記レールは、前記磁力により前記搬送車が着陸する上面を有し、
前記スロープは、前記浮上可能な位置の側に傾斜するように前記上面に設けられている
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の搬送システム。
搬送路筐体と、
前記搬送路筐体に設置された第１の磁力部と、
前記第１の磁力部と対向可能に設置された第２の磁力部を有し、前記第１の磁力部と前記第２の磁力部との間に働く磁力により浮上しつつ前記搬送路筐体に沿って走行可能な搬送車と、
前記搬送路筐体に設置され、前記搬送車が着陸して走行可能なレールと、
前記レールに着陸した着陸状態の前記搬送車を、前記磁力により浮上可能な位置に移動させる少なくとも１つの移動手段と、
を有し、
前記移動手段は、前記第１の磁力部を下降させて前記搬送車を前記浮上可能な位置に相対的に移動させる昇降機構を含む
ことを特徴とする搬送システム。
搬送路筐体と、
前記搬送路筐体に設置された第１の磁力部と、
前記第１の磁力部と対向可能に設置された第２の磁力部を有し、前記第１の磁力部と前記第２の磁力部との間に働く磁力により浮上しつつ前記搬送路筐体に沿って走行可能な搬送車と、
前記搬送路筐体に設置され、前記搬送車が着陸して走行可能なレールと、
前記レールに着陸した着陸状態の前記搬送車を、前記磁力により浮上可能な位置に移動させる少なくとも１つの移動手段と、
を有し、
前記着陸状態の前記搬送車を走行させて、前記移動手段が前記搬送車を移動させる位置に前記搬送車を移動させる制御装置を有する
ことを特徴とする搬送システム。
前記移動手段は、前記搬送車を鉛直方向に沿って移動させて前記搬送車を前記浮上可能な位置に移動させる上下機構を含む
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の搬送システム。
前記移動手段は、前記搬送路筐体に設けられている
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の搬送システム。
前記第１の磁力部は、軟磁性材料又は硬磁性材料の磁性材であり、
前記第２の磁力部は、複数のコイルを含むコイル列である
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の搬送システム。
請求項１乃至９のいずれか１項に記載された搬送システムと、
前記搬送車により搬送されるワークに対して加工を施す工程装置と
を有することを特徴とする加工システム。
請求項１０に記載の加工システムを用いて物品を製造する物品の製造方法であって、
前記搬送車により前記ワークを搬送する工程と、
前記搬送車により搬送された前記ワークに対して、前記工程装置により前記加工を施す工程と
を有することを特徴とする物品の製造方法。