JP7493674B2 - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
前記第1金属電極部の上面が露出するように前記半導体素子を封止材で封止し、
前記第1金属電極部の上面を、回路基板の下面に形成された第2金属電極部の下面に対して第2接合材を介して接続されたものであって、
前記封止材の上面に、前記第1金属電極部における垂直方向の高さが最も高くなるような勾配を設けたものである。
前記下金型と前記上金型の内部に封止材を圧入する工程と、
前記上金型及び前記下金型を取り外すとともに、前記第1金属電極部の上面を、回路基板の下面に形成された第2金属電極部の下面に対して第2接合材を介して接続する工程を有するものである。
本実施の形態は電子機器等に用いられる半導体素子の接合体の構造、及び接合体の製造方法に関するものである。図1は実施の形態1による半導体装置の製造工程を示すフローチャートであり、図2、図3、図8、図9は半導体装置を示す側面断面図である。図において、X方向及びX方向に垂直なY方向が水平方向となり、X方向及びY方向に垂直なZ方向が垂直方向となる。そして図2におけるZ方向において、矢印方向を上方向及び上側とし、矢印方向と反対方向を下方向及び下側とする。又以下の各基板等において上側の面を上面、下側の面を下面と定義する。更に図3以降においても同様に定義される。
次に図12に示すように、金型内へ封止材7を圧入する。図12においては、矢印で示すように、注入口のある右側から左側へ向かって封止材7が圧入される状態を示しており、圧入状態の途中が示されている。封止材7としてはシリカ粒子が充填されたエポキシ樹脂又はフェノール樹脂硬化剤系の樹脂(熱膨張係数12ppm/K)を用いることができる。また封止材に合わせた条件(圧力等)で金型内へ封止材7を圧入することで部材を封止できる。次に図13に示すように、金型内で部材が封止された状態で封止材7の硬化処理を実施する。例えば硬化処理条件は、180℃、3分間の条件で行う。更に上金型19、下金型17を取り外し、再度175℃、6時間の条件で封止材の硬化処理をおこなう。これにより、図9に示す半導体モジュールが得られる。
次に勾配8の角度θの範囲について検討する。具体的には比較例として勾配を設けないサンプルを作製するため、上記第3、第4の工程で勾配を設けず、それ以外は上記と同じ条件で接合した場合について、図16~図18に基づき説明する。図16~図18は比較例による半導体装置を示す側面断面図である。図16においては、金属電極部6が露出するように封止材7aで封止した状態を示しており、勾配を設けていない。
図21、図22は実施の形態2による半導体装置を示す側面断面図である。勾配については、図21に示すように、封止材7の上面が曲面状に形成された勾配14であっても良い。図21においては、曲面状の勾配14を左側に設けた例を示しているが、右側に曲面状の勾配を設けてもよい。更に左右両者に曲面状の勾配を設けた場合、勾配は左右非対称であっても良く、又左右対称であっても良い。図23は図22における封止材7をA方向から見た平面図である。図23に示すように、勾配8が設けられた封止材7の上面15にコンタミネーションが一定方向に流れ易くするための複数のスリット(溝)16を設けてもよい。上記のように勾配が設けられた封止材7の上面を曲面状にし、又は封止材7の上面にスリットを設けることにより偶発的にはんだ接合部に留まってしまうコンタミネーションをより効率よく排斥することができる。尚図10~図13に示すように、勾配を設けた金型を用いて製造する場合には、上金型19の傾斜8a、8bを曲面状に形成し、あるいは傾斜8a、8bをスリット状に形成することにより、曲面を有する勾配14又はスリット16を形成することができる。
封止材7における勾配8の上面の表面粗さRaを0.5μm以下の平滑処理により処理しても良い。JISでは工業製品の表面粗さを表すパラメータとして、算術平均粗さ(Ra)、最大高さ(Ry)、十点平均粗さ(Rz)、凹凸の平均間隔(Sm)、局部山頂の平均間隔(S)及び負荷長さ率(tp)の定義並びに表示について規定されており、表面粗さRaは、対象物の表面からランダムに抜き取った各部分におけるそれぞれの算術平均値となっている。このように封止材7の上面を平滑処理することにより、凹凸が小さく、コンタミネーションが溜まることなく、良好なはんだ付け性が得られる。
従って、例示されていない無数の変形例が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも1つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも1つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。
Claims (8)
- 半導体素子の上面側に第1金属電極部を有し、
前記第1金属電極部の上面が露出するように前記半導体素子を封止材で封止し、
前記第1金属電極部の上面を、回路基板の下面に形成された第2金属電極部の下面に対して第2接合材を介して接続された半導体装置において、
前記封止材の上面に、前記第1金属電極部における垂直方向の高さが最も高くなるような勾配を設けた半導体装置。 - 前記第1金属電極部は、前記半導体素子の上面に対し第1接合材を介して接合された端子の上面にあり、
前記封止材は、前記端子及び前記半導体素子を封止し、
前記勾配は、前記封止材の端部における垂直方向の高さが低くなるように構成されている請求項1記載の半導体装置。 - 前記第1接合材及び前記第2接合材としてはんだ材を使用するとともに、前記第1接合材の融点は前記第2接合材の融点よりも高い請求項2記載の半導体装置。
- 前記勾配の水平方向に対する角度は1度以上10度以下である請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記勾配が設けられた前記封止材の上面を曲面状に形成した請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記勾配が設けられた前記封止材の上面に複数のスリットを設けた請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記勾配が設けられた前記封止材の上面における表面粗さの指標としての算術平均粗さが、0.5μm以下になるよう前記封止材の上面に平滑処理が施された請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 半導体素子の上面に対し第1接合材を介して、上面に第1金属電極部を有する端子を接合したものを、下金型と上部内面に傾斜が設けられた上金型の内部に配置する工程と、
前記下金型と前記上金型の内部に封止材を圧入する工程と、
前記上金型及び前記下金型を取り外すとともに、前記第1金属電極部の上面を、回路基板の下面に形成された第2金属電極部の下面に対して第2接合材を介して接続する工程を有する半導体装置の製造方法。
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