JP7479162B2 - 多層配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 102
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 64
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 64
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 59
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 56
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 13
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 10
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 9
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 101001134276 Homo sapiens S-methyl-5'-thioadenosine phosphorylase Proteins 0.000 description 1
- 102100022050 Protein canopy homolog 2 Human genes 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
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- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
一例として、前記積層体製造プロセスは、前記ダミーコア基板の両面に配されたピーラブル銅箔それぞれの片面に前記積層体を形成し、その後、前記ダミーコア基板から前記積層体を分離し、分離した前記積層体から前記ピーラブル銅箔をエッチング処理によって除去する。一例として、前記熱硬化性樹脂層の厚みは10μm未満であり、前記導体パターンの厚みは前記熱硬化性樹脂層の厚みの3倍以上である。
図5は、図4に示す実施例のV-V断面を拡大して示す断面図である。基材4は、銅からなる導体パターン3aにポリイミドを塗布し熱硬化して熱硬化性樹脂層6を形成しさらに未硬化状態のエポキシを塗布したものである。図4の例は、第1導体パターン3aおよび第2導体パターン3bの積層数は、合計4である。第2導体パターン3bは、第1導体パターン3aよりも高抵抗かつ高密度で配線されている。そして、第2導体パターン3bから積層方向に離れるにしたがって、第1導体パターン3aの線幅を広く形成して低抵抗化を図っている。
2 積層体
3a 第1導体パターン(導体パターン)
3b 第2導体パターン(導体パターン)
3c 層間接続導体
4 基材(樹脂付銅箔)
5 第2熱硬化性樹脂
6 熱硬化性樹脂層
7a、7b カバーレイ
8a、8b めっき
9 ダミーコア基板
11 ピーラブル銅箔
Claims (5)
- 複数の基材が積層された積層体を備え、導体パターンと層間接続導体とでスパイラル状のコイルが形成されており、前記導体パターンの積層数は合計4以上であり、前記積層体における第2主面をマグネットに近接配置しアクチュエータとして用いる構成であって、前記積層体における各層は第2熱硬化性樹脂によって接着されているとともに、前記積層体における各層の前記導体パターンの間に第1熱硬化性樹脂からなる熱硬化性樹脂層が介在しており、前記第2熱硬化性樹脂はエポキシであり、前記第1熱硬化性樹脂はポリイミドであり、前記導体パターンは、積層するにしたがって幅が広くなるとともに厚みが小さくなっており、前記導体パターンのうち、前記積層体における第2主面側の第2導体パターンは、前記積層体における第1主面側の第1導体パターンよりも高抵抗かつ高密度で配線されていること
を特徴とする多層配線基板。 - 前記熱硬化性樹脂層の厚みは10μm未満であり、前記導体パターンの厚みは前記熱硬化性樹脂層の厚みの3倍以上であること
を特徴とする請求項1に記載の多層配線基板。 - 複数の基材が積層された積層体を備え、導体パターンと層間接続導体とでスパイラル状のコイルが形成されており、前記導体パターンの積層数は合計4以上であり、前記積層体における第2主面をマグネットに近接配置しアクチュエータとして用いる多層配線基板の製造方法であって、各層を第2熱硬化性樹脂によって接着するとともに、各層の前記導体パターンの間に第1熱硬化性樹脂からなる熱硬化性樹脂層を介在させて、ダミーコア基板を用いたビルドアップ工法によって前記積層体を形成する積層体製造プロセスを有し、前記第2熱硬化性樹脂はエポキシであり、前記第1熱硬化性樹脂はポリイミドであり、前記積層体製造プロセスにおいて、前記導体パターンは、積層するにしたがって幅を広くするとともに厚みを小さくし、前記導体パターンのうち、前記積層体における第2主面側の第2導体パターンは、前記積層体における第1主面側の第1導体パターンよりも高抵抗かつ高密度で配線すること
を特徴とする多層配線基板の製造方法。 - 前記積層体製造プロセスは、前記ダミーコア基板の両面に配されたピーラブル銅箔それぞれの片面に前記積層体を形成し、その後、前記ダミーコア基板から前記積層体を分離し、分離した前記積層体から前記ピーラブル銅箔をエッチング処理によって除去すること
を特徴とする請求項3に記載の多層配線基板の製造方法。 - 前記熱硬化性樹脂層の厚みは10μm未満であり、前記導体パターンの厚みは前記熱硬化性樹脂層の厚みの3倍以上であること
を特徴とする請求項3または4に記載の多層配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020028688A JP7479162B2 (ja) | 2020-02-21 | 2020-02-21 | 多層配線基板及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020028688A JP7479162B2 (ja) | 2020-02-21 | 2020-02-21 | 多層配線基板及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021136243A JP2021136243A (ja) | 2021-09-13 |
JP7479162B2 true JP7479162B2 (ja) | 2024-05-08 |
Family
ID=77661554
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020028688A Active JP7479162B2 (ja) | 2020-02-21 | 2020-02-21 | 多層配線基板及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7479162B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080316646A1 (en) | 2007-06-25 | 2008-12-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Perpendicular magnetic recording head and method of manufacturing the same |
JP2012089760A (ja) | 2010-10-21 | 2012-05-10 | Tdk Corp | トランス部品 |
JP2014229739A (ja) | 2013-05-22 | 2014-12-08 | Tdk株式会社 | コイル部品およびその製造方法 |
JP2019029638A (ja) | 2017-07-25 | 2019-02-21 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | インダクタ及びその製造方法 |
JP2019054144A (ja) | 2017-09-15 | 2019-04-04 | Tdk株式会社 | コイル部品及びコイル部品の製造方法 |
-
2020
- 2020-02-21 JP JP2020028688A patent/JP7479162B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080316646A1 (en) | 2007-06-25 | 2008-12-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Perpendicular magnetic recording head and method of manufacturing the same |
JP2012089760A (ja) | 2010-10-21 | 2012-05-10 | Tdk Corp | トランス部品 |
JP2014229739A (ja) | 2013-05-22 | 2014-12-08 | Tdk株式会社 | コイル部品およびその製造方法 |
JP2019029638A (ja) | 2017-07-25 | 2019-02-21 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | インダクタ及びその製造方法 |
JP2019054144A (ja) | 2017-09-15 | 2019-04-04 | Tdk株式会社 | コイル部品及びコイル部品の製造方法 |
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---|---|
JP2021136243A (ja) | 2021-09-13 |
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