JP7472918B2 - 弾性波デバイスおよびそれを備えたラダー型フィルタ - Google Patents
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Description
(フィルタ装置の構成)
図1は、実施の形態1に従う弾性波デバイスにより形成されるフィルタ装置10の回路構成を示す図である。フィルタ装置10は、たとえば、通信装置の送信側回路に用いられるフィルタ装置であり、送信用端子TXとアンテナ端子ANTとの間に接続されたラダー型フィルタである。フィルタ装置10は、送信用端子TXで受けた信号をフィルタリングしてアンテナ端子ANTから出力する。
次に、図2および図3を用いて、本実施の形態1に係る弾性波デバイス100の基本構成について説明する。図2は、弾性波デバイス100において、隣接共振子間に共用反射器が形成される部分の上面図である。また、図3は、隣接共振子間の部分の断面図である。
図2で示した実施の形態1の弾性波デバイス100においては、隣接して配置される2つの弾性波共振子が、弾性表面波の伝播方向の中心が一致するように、すなわちIDT電極の交叉幅の中心を通り電極指に直交する方向が一致するように配置されている構成について説明した。しかしながら、2つの弾性波共振子において弾性表面波の伝播方向の中心は異なっていてもよい。
実施の形態1および変形例1の弾性波デバイスにおいては、IDT電極および反射器における電極指が、電極指に接続されたバスバーに対して直交する方向に延在する構成について説明した。変形例2の弾性波デバイスにおいては、IDT電極および反射器の電極指が、バスバーに対して傾斜配置された構成について説明する。
実施の形態1においては、隣接する弾性波共振子の電極指ピッチが異なる構成の場合に、共用反射器の電極指のピッチを中間的なピッチにすることによって、共用反射器の周波数特性を調整する構成について説明した。
実施の形態3においては、隣接する弾性波共振子の電極指の膜厚が異なる構成の場合に、共用反射器の電極指の膜厚を中間的な膜厚とすることによって、共用反射器の周波数特性を調整する構成について説明する。
弾性波デバイスにおいては、基板上の機能素子を保護するために、IDT電極および反射器上に誘電体層が配置される場合がある。弾性波共振子の周波数特性は、この保護用の誘電体層の厚みによっても変化する。
Claims (24)
- 圧電層を有する基板と、
前記基板上に配置された第1共振子と、
前記基板上に配置され、前記第1共振子と周波数特性が異なる第2共振子と、
前記基板上において前記第1共振子と前記第2共振子との間に配置され、前記第1共振子および前記第2共振子の双方の反射器として機能する共用反射器とを備え、
前記第1共振子は、電極指が第1ピッチで形成された第1IDT(Interdigital Transducer)電極を含み、
前記第2共振子は、電極指が第2ピッチで形成された第2IDT電極を含み、
前記共用反射器の阻止域の下限周波数は、前記第1共振子の阻止域の下限周波数と前記第2共振子の阻止域の下限周波数と同じ、もしくは、前記第1共振子の阻止域の下限周波数と前記第2共振子の阻止域の下限周波数との間にあり、
前記共用反射器の阻止域の上限周波数は、前記第1共振子の阻止域の上限周波数と前記第2共振子の阻止域の上限周波数と同じ、もしくは、前記第1共振子の阻止域の上限周波数と前記第2共振子の阻止域の上限周波数との間にあり、
前記第1共振子における電極指のデューティは第1デューティであり、前記第2共振子における電極指のデューティは前記第1デューティよりも大きい第2デューティであり、
前記共用反射器の電極指の少なくとも一部は、前記第1デューティおよび前記第2デューティの間のデューティで形成される、弾性波デバイス。 - 前記第2ピッチは、前記第1ピッチよりも狭く、
前記共用反射器の電極指の少なくとも一部は、前記第1ピッチおよび前記第2ピッチの間のピッチで形成される、請求項1に記載の弾性波デバイス。 - 前記共用反射器の電極指のピッチは、前記第1共振子から前記第2共振子に向かって徐々に狭くなる、請求項2に記載の弾性波デバイス。
- 前記共用反射器の電極指のピッチは、前記第1共振子から前記第2共振子に向かって段階的に狭くなる、請求項2に記載の弾性波デバイス。
- 前記共用反射器の電極指のデューティは、前記第1共振子から前記第2共振子に向かって徐々に大きくなる、請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記共用反射器の電極指のデューティは、前記第1共振子から前記第2共振子に向かって段階的に大きくなる、請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1共振子の電極指の厚みは、前記第2共振子の電極指の厚みよりも薄く、
前記共用反射器の少なくとも一部の電極指の厚みは、前記第1共振子の電極指の厚みよりも厚く、かつ、前記第2共振子の電極指の厚みよりも薄い、請求項1に記載の弾性波デバイス。 - 前記第1共振子、前記第2共振子、および前記共用反射器の上に配置された誘電体層をさらに備え、
前記第1共振子の領域に配置された前記誘電体層の厚みは、前記第2共振子の領域に配置された前記誘電体層の厚みよりも厚く、
前記共用反射器の領域に配置された前記誘電体層の少なくとも一部は、前記第1共振子の領域に配置された前記誘電体層の厚みよりも薄く、かつ、前記第2共振子の領域に配置された前記誘電体層の厚みよりも厚い、請求項1に記載の弾性波デバイス。 - 前記第1共振子および前記第2共振子の各々は、
当該共振子に含まれるIDT電極と前記共用反射器との間に配置された第1反射器と、
当該IDT電極に対して、前記第1反射器と反対の端部に配置された第2反射器とを含み、
前記第1共振子の第1反射器の電極指は、前記第1ピッチで形成され、
前記第2共振子の第1反射器の電極指は、前記第2ピッチで形成される、請求項1~8のいずれか1項に記載の弾性波デバイス。 - 前記第1反射器および前記共用反射器の電極指の数の和は、前記第2反射器の電極指の数と同じである、請求項9に記載の弾性波デバイス。
- 前記共用反射器の電極指の長さは、各共振子のIDT電極における電極指の交叉幅以上である、請求項1~10のいずれか1項に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1IDT電極の交叉幅の中心を通り、前記第1IDT電極の電極指に直交する第1仮想線と、前記第2IDT電極の交叉幅の中心を通り、前記第2IDT電極の電極指に直交する第2仮想線とは重ならない、請求項1~11のいずれか1項に記載の弾性波デバイス。
- 各IDT電極および各反射器は、電極指が接続されたバスバーを含み、
各IDT電極および各反射器において、電極指とバスバーとのなす角は0°より大きく90°より小さい、請求項1~12のいずれか1項に記載の弾性波デバイス。 - 前記基板は、前記圧電層が配置される反射層をさらに含む、請求項1~13のいずれか1項に記載の弾性波デバイス。
- 圧電層を有する基板と、
前記基板上に配置された第1共振子と、
前記基板上に配置され、前記第1共振子と周波数特性が異なる第2共振子と、
前記基板上において前記第1共振子と前記第2共振子との間に配置され、前記第1共振子および前記第2共振子の双方の反射器として機能する共用反射器と、
前記第1共振子、前記第2共振子および前記共用反射器を覆うように配置された誘電体層とを備え、
前記第1共振子は、電極指が第1ピッチで形成された第1IDT電極を含み、
前記第2共振子は、電極指が第2ピッチで形成された第2IDT電極を含み、
前記共用反射器、前記第1共振子および前記第2共振子について、電極指のピッチ、電極指のデューティ、および電極指の厚みを掛け合わせた値を、それぞれ第1値、第2値および第3値とした場合、前記第1値は、前記第2値と前記第3値と同じ、もしくは、前記第2値と前記第3値との間にあり、
前記誘電体層は、前記第1共振子および前記第2共振子の共振周波数の音速よりも遅いバルク波音速を有する材料により形成されており、
前記共用反射器、前記第1共振子および前記第2共振子について、電極指のピッチ、電極指のデューティ、電極指の厚み、および、誘電体層の厚みを掛け合わせた値を、それぞれ第4値、第5値および第6値とした場合、前記第4値は、前記第5値と前記第6値と同じ、もしくは、前記第5値と前記第6値との間にある、弾性波デバイス。 - 圧電層を有する基板と、
前記基板上に配置された第1共振子と、
前記基板上に配置され、前記第1共振子と周波数特性が異なる第2共振子と、
前記基板上において前記第1共振子と前記第2共振子との間に配置され、前記第1共振子および前記第2共振子の双方の反射器として機能する共用反射器と、
前記第1共振子、前記第2共振子および前記共用反射器を覆うように配置された誘電体層とを備え、
前記第1共振子は、電極指が第1ピッチで形成された第1IDT電極を含み、
前記第2共振子は、電極指が第2ピッチで形成された第2IDT電極を含み、
前記共用反射器、前記第1共振子および前記第2共振子について、電極指のピッチ、電極指のデューティ、および電極指の厚みを掛け合わせた値を、それぞれ第1値、第2値および第3値とした場合、前記第1値は、前記第2値と前記第3値と同じ、もしくは、前記第2値と前記第3値との間にあり、
前記誘電体層は、前記第1共振子および前記第2共振子の共振周波数の音速よりも速いバルク波音速を有する材料により形成されており、
前記共用反射器、前記第1共振子および前記第2共振子について、電極指のピッチ、電極指のデューティ、電極指の厚み、および、誘電体層の厚みの逆数を掛け合わせた値を、それぞれ第7値、第8値および第9値とした場合、前記第7値は、前記第8値と前記第9値と同じ、もしくは、前記第8値と前記第9値との間にある、弾性波デバイス。 - 圧電層を有する基板と、
前記基板上に配置された第1共振子と、
前記基板上に配置され、前記第1共振子と周波数特性が異なる第2共振子と、
前記基板上において前記第1共振子と前記第2共振子との間に配置され、前記第1共振子および前記第2共振子の双方の反射器として機能する共用反射器とを備え、
前記第1共振子は、電極指が第1ピッチで形成された第1IDT電極を含み、
前記第2共振子は、電極指が第2ピッチで形成された第2IDT電極を含み、
前記共用反射器の阻止域の下限周波数は、前記第1共振子の阻止域の下限周波数と前記第2共振子の阻止域の下限周波数と同じ、もしくは、前記第1共振子の阻止域の下限周波数と前記第2共振子の阻止域の下限周波数との間にあり、
前記共用反射器の阻止域の上限周波数は、前記第1共振子の阻止域の上限周波数と前記第2共振子の阻止域の上限周波数と同じ、もしくは、前記第1共振子の阻止域の上限周波数と前記第2共振子の阻止域の上限周波数との間にあり、
前記第1共振子の電極指の厚みは、前記第2共振子の電極指の厚みよりも薄く、
前記共用反射器の少なくとも一部の電極指の厚みは、前記第1共振子の電極指の厚みよりも厚く、かつ、前記第2共振子の電極指の厚みよりも薄い、弾性波デバイス。 - 圧電層を有する基板と、
前記基板上に配置された第1共振子と、
前記基板上に配置され、前記第1共振子と周波数特性が異なる第2共振子と、
前記基板上において前記第1共振子と前記第2共振子との間に配置され、前記第1共振子および前記第2共振子の双方の反射器として機能する共用反射器と、 前記第1共振子、前記第2共振子、および前記共用反射器の上に配置された誘電体層とを備え、
前記第1共振子は、電極指が第1ピッチで形成された第1IDT電極を含み、
前記第2共振子は、電極指が第2ピッチで形成された第2IDT電極を含み、
前記共用反射器の阻止域の下限周波数は、前記第1共振子の阻止域の下限周波数と前記第2共振子の阻止域の下限周波数と同じ、もしくは、前記第1共振子の阻止域の下限周波数と前記第2共振子の阻止域の下限周波数との間にあり、
前記共用反射器の阻止域の上限周波数は、前記第1共振子の阻止域の上限周波数と前記第2共振子の阻止域の上限周波数と同じ、もしくは、前記第1共振子の阻止域の上限周波数と前記第2共振子の阻止域の上限周波数との間にあり、
前記第1共振子の領域に配置された前記誘電体層の厚みは、前記第2共振子の領域に配置された前記誘電体層の厚みよりも厚く、
前記共用反射器の領域に配置された前記誘電体層の少なくとも一部は、前記第1共振子の領域に配置された前記誘電体層の厚みよりも薄く、かつ、前記第2共振子の領域に配置された前記誘電体層の厚みよりも厚い、弾性波デバイス。 - 圧電層を有する基板と、
前記基板上に配置された第1共振子と、
前記基板上に配置され、前記第1共振子と周波数特性が異なる第2共振子と、
前記基板上において前記第1共振子と前記第2共振子との間に配置され、前記第1共振子および前記第2共振子の双方の反射器として機能する共用反射器とを備え、
前記第1共振子は、電極指が第1ピッチで形成された第1IDT電極を含み、
前記第2共振子は、電極指が第2ピッチで形成された第2IDT電極を含み、
前記共用反射器の阻止域の下限周波数は、前記第1共振子の阻止域の下限周波数と前記第2共振子の阻止域の下限周波数と同じ、もしくは、前記第1共振子の阻止域の下限周波数と前記第2共振子の阻止域の下限周波数との間にあり、
前記共用反射器の阻止域の上限周波数は、前記第1共振子の阻止域の上限周波数と前記第2共振子の阻止域の上限周波数と同じ、もしくは、前記第1共振子の阻止域の上限周波数と前記第2共振子の阻止域の上限周波数との間にあり、
前記第1共振子および前記第2共振子の各々は、
当該共振子に含まれるIDT電極と前記共用反射器との間に配置された第1反射器と、
当該IDT電極に対して、前記第1反射器と反対の端部に配置された第2反射器とを含み、
前記第1共振子の第1反射器の電極指は、前記第1ピッチで形成され、
前記第2共振子の第1反射器の電極指は、前記第2ピッチで形成され、
前記第1反射器および前記共用反射器の電極指の数の和は、前記第2反射器の電極指の数と同じである、弾性波デバイス。 - 圧電層を有する基板と、
前記基板上に配置された第1共振子と、
前記基板上に配置され、前記第1共振子と周波数特性が異なる第2共振子と、
前記基板上において前記第1共振子と前記第2共振子との間に配置され、前記第1共振子および前記第2共振子の双方の反射器として機能する共用反射器とを備え、
前記第1共振子は、電極指が第1ピッチで形成された第1IDT電極を含み、
前記第2共振子は、電極指が第2ピッチで形成された第2IDT電極を含み、
前記共用反射器の阻止域の下限周波数は、前記第1共振子の阻止域の下限周波数と前記第2共振子の阻止域の下限周波数と同じ、もしくは、前記第1共振子の阻止域の下限周波数と前記第2共振子の阻止域の下限周波数との間にあり、
前記共用反射器の阻止域の上限周波数は、前記第1共振子の阻止域の上限周波数と前記第2共振子の阻止域の上限周波数と同じ、もしくは、前記第1共振子の阻止域の上限周波数と前記第2共振子の阻止域の上限周波数との間にあり、
各IDT電極および各反射器は、電極指が接続されたバスバーを含み、
各IDT電極および各反射器において、電極指とバスバーとのなす角は0°より大きく90°より小さい、弾性波デバイス。 - 請求項1~20のいずれか1項に記載の弾性波デバイスを含むラダー型フィルタであって、
前記第1共振子を含む複数の直列腕共振子と、
前記第2共振子を含む複数の並列腕共振子とを備え、
前記複数の直列腕共振子は、前記第1共振子よりも電極指のピッチが狭い第3共振子をさらに含む、ラダー型フィルタ。 - 請求項1~20のいずれか1項に記載の弾性波デバイスを含むラダー型フィルタであって、
前記第1共振子を含む複数の直列腕共振子と、
前記第2共振子を含む複数の並列腕共振子とを備え、
前記複数の並列腕共振子は、前記第2共振子よりも電極指のピッチが広い第4共振子をさらに含む、ラダー型フィルタ。 - 弾性波デバイスと、
複数の直列腕共振子と、
複数の並列腕共振子とを備え、
前記弾性波デバイスは、
圧電層を有する基板と、
基板上に配置された第1共振子と、
基板上に配置され、前記第1共振子と周波数特性が異なる第2共振子と、
基板上において前記第1共振子と前記第2共振子との間に配置され、前記第1共振子および前記第2共振子の双方の反射器として機能する共用反射器とを含み、
前記第1共振子は、電極指が第1ピッチで形成された第1IDT電極を含み、
前記第2共振子は、電極指が第2ピッチで形成された第2IDT電極を含み、
前記共用反射器、前記第1共振子および前記第2共振子について、電極指のピッチ、電極指のデューティ、および電極指の厚みを掛け合わせた値を、それぞれ第1値、第2値および第3値とした場合、前記第1値は、前記第2値と前記第3値と同じ、もしくは、前記第2値と前記第3値との間にあり、
前記複数の直列腕共振子は、前記第1共振子を含み、
前記複数の並列腕共振子は、前記第2共振子を含み、
前記複数の直列腕共振子は、前記第1共振子よりも電極指のピッチが狭い第3共振子をさらに含む、ラダー型フィルタ。 - 弾性波デバイスと、
複数の直列腕共振子と、
複数の並列腕共振子とを備え、
前記弾性波デバイスは、
圧電層を有する基板と、
基板上に配置された第1共振子と、
基板上に配置され、前記第1共振子と周波数特性が異なる第2共振子と、
基板上において前記第1共振子と前記第2共振子との間に配置され、前記第1共振子および前記第2共振子の双方の反射器として機能する共用反射器とを含み、
前記第1共振子は、電極指が第1ピッチで形成された第1IDT電極を含み、
前記第2共振子は、電極指が第2ピッチで形成された第2IDT電極を含み、
前記共用反射器、前記第1共振子および前記第2共振子について、電極指のピッチ、電極指のデューティ、および電極指の厚みを掛け合わせた値を、それぞれ第1値、第2値および第3値とした場合、前記第1値は、前記第2値と前記第3値と同じ、もしくは、前記第2値と前記第3値との間にあり、
前記複数の直列腕共振子は、前記第1共振子を含み、
前記複数の並列腕共振子は、前記第2共振子を含み、
前記複数の並列腕共振子は、前記第2共振子よりも電極指のピッチが広い第4共振子をさらに含む、ラダー型フィルタ。
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