JPH10303691A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH10303691A JPH10303691A JP10873297A JP10873297A JPH10303691A JP H10303691 A JPH10303691 A JP H10303691A JP 10873297 A JP10873297 A JP 10873297A JP 10873297 A JP10873297 A JP 10873297A JP H10303691 A JPH10303691 A JP H10303691A
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- Japan
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- acoustic wave
- surface acoustic
- electrode
- resonator
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 良好なフィルタ特性を得るとともに、小型化
を達成した弾性表面波フィルタを提供すること。 【解決手段】 圧電基板１上に、櫛形電極と、該櫛形電
極を挟む一対の反射器電極とから成る複数の共振子をラ
ダー型に接続して成る弾性表面波装置Ｓ１であって、直
列接続された直列共振子２の少なくとも１つと並列接続
された並列共振子３の少なくとも１つとを弾性表面波の
伝搬方向に直線状に配設するとともに、少なくとも１つ
の直列共振子２の反射器電極と少なくとも１つの並列共
振子３の反射器電極とを接続させたことを特徴とする。
を達成した弾性表面波フィルタを提供すること。 【解決手段】 圧電基板１上に、櫛形電極と、該櫛形電
極を挟む一対の反射器電極とから成る複数の共振子をラ
ダー型に接続して成る弾性表面波装置Ｓ１であって、直
列接続された直列共振子２の少なくとも１つと並列接続
された並列共振子３の少なくとも１つとを弾性表面波の
伝搬方向に直線状に配設するとともに、少なくとも１つ
の直列共振子２の反射器電極と少なくとも１つの並列共
振子３の反射器電極とを接続させたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は自動車電話および携
帯電話などの小型移動体無線機器に搭載される弾性表面
波フィルタなどの弾性表面波装置に関するものである。
帯電話などの小型移動体無線機器に搭載される弾性表面
波フィルタなどの弾性表面波装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術とその課題】現在、ＴＶ，ＶＴＲ，移動体通
信などには、弾性表面波フィルタが多く使用されてお
り、この弾性表面波フィルタとして圧電基板上に櫛形電
極が形成され、この櫛形電極でもって電気信号を弾性表
面波に変換させるラダー型回路の弾性表面波フィルタが
提案されている。
信などには、弾性表面波フィルタが多く使用されてお
り、この弾性表面波フィルタとして圧電基板上に櫛形電
極が形成され、この櫛形電極でもって電気信号を弾性表
面波に変換させるラダー型回路の弾性表面波フィルタが
提案されている。
【０００３】上記弾性表面波フィルタを図４及び図５に
基づいて説明する。図４は弾性表面波フィルタの平面
図、図５は共振子の電極配置図である。図４に示す弾性
表面波フィルタＪ１において、５１は圧電基板、５２は
直列共振子、５３は並列共振子、５４は入出力用の信号
線（接続線）である。これら共振子５２，５３は、例え
ば図５に示すように、直列共振子５３は、櫛形電極５５
と、この櫛形電極５５を挟む一対の反射器電極５６ａ，
５６ｂとから構成され、また同様に、並列共振子５３
は、櫛形電極５７と、この櫛形電極５７を挟む一対の反
射器電極５８ａ，５８ｂとから構成されている。
基づいて説明する。図４は弾性表面波フィルタの平面
図、図５は共振子の電極配置図である。図４に示す弾性
表面波フィルタＪ１において、５１は圧電基板、５２は
直列共振子、５３は並列共振子、５４は入出力用の信号
線（接続線）である。これら共振子５２，５３は、例え
ば図５に示すように、直列共振子５３は、櫛形電極５５
と、この櫛形電極５５を挟む一対の反射器電極５６ａ，
５６ｂとから構成され、また同様に、並列共振子５３
は、櫛形電極５７と、この櫛形電極５７を挟む一対の反
射器電極５８ａ，５８ｂとから構成されている。
【０００４】上記構成の弾性表面波フィルタＪ１におい
て、従来では直列共振子５２と並列共振子５３は、直列
共振子５２どうしと、直列共振子５２と並列共振子５３
とを同一の接続線で配線を行うのが一般的であった。ま
た、直列共振子５２と並列共振子５３との干渉を極力避
けるために、図４に示すように弾性表面波の伝搬方向が
双方の共振子で重ならないようにしていた。
て、従来では直列共振子５２と並列共振子５３は、直列
共振子５２どうしと、直列共振子５２と並列共振子５３
とを同一の接続線で配線を行うのが一般的であった。ま
た、直列共振子５２と並列共振子５３との干渉を極力避
けるために、図４に示すように弾性表面波の伝搬方向が
双方の共振子で重ならないようにしていた。
【０００５】このため、電極パターンの総面積が非常に
大きくなり、その結果、弾性表面波装置の小型化の支障
となっていた。
大きくなり、その結果、弾性表面波装置の小型化の支障
となっていた。
【０００６】そこで、本発明は上述の諸問題を解消し、
特に良好なフィルタ特性を得るとともに、装置全体の小
型化に優れた弾性表面波装置を提供することを目的とす
る。
特に良好なフィルタ特性を得るとともに、装置全体の小
型化に優れた弾性表面波装置を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の弾性表面波装置は、圧電基板上に、櫛形電
極と、該櫛形電極を挟む一対の反射器電極とから成る複
数の共振子をラダー型に接続して成る弾性表面波装置で
あって、直列接続された直列共振子の少なくとも１つと
並列接続された並列共振子の少なくとも１つとを弾性表
面波の伝搬方向に直線状に配設するとともに、少なくと
も１つの直列共振子の反射器電極と少なくとも１つの並
列共振子の反射器電極とを接続させたことを特徴とす
る。
に、本発明の弾性表面波装置は、圧電基板上に、櫛形電
極と、該櫛形電極を挟む一対の反射器電極とから成る複
数の共振子をラダー型に接続して成る弾性表面波装置で
あって、直列接続された直列共振子の少なくとも１つと
並列接続された並列共振子の少なくとも１つとを弾性表
面波の伝搬方向に直線状に配設するとともに、少なくと
も１つの直列共振子の反射器電極と少なくとも１つの並
列共振子の反射器電極とを接続させたことを特徴とす
る。
【０００８】具体的には、直列共振子及び並列共振子を
タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）の圧電基板の一主
面上に配設した場合に、上記反射器電極の電極指の本数
Ｍがガウスの記号〔 〕で表示した下記式の条件を満た
すことを特徴とする。 Ｍ≧〔３．６×（Ｈ／λ）-1＋１．５〕（ただし、Ｈは
電極の膜厚、λは弾性表面波の波長（単位：Å）であ
る）。
タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）の圧電基板の一主
面上に配設した場合に、上記反射器電極の電極指の本数
Ｍがガウスの記号〔 〕で表示した下記式の条件を満た
すことを特徴とする。 Ｍ≧〔３．６×（Ｈ／λ）-1＋１．５〕（ただし、Ｈは
電極の膜厚、λは弾性表面波の波長（単位：Å）であ
る）。
【０００９】ここで特に、Ｈ／λを０．１以下とすると
フィルタ特性上好適である。さらに、直列共振子の反射
器電極と並列共振子の反射器電極との間隔を１５μm 以
上離すことにより、直列共振子と並列共振子との間の干
渉が皆無となるので、通過帯域内偏差（平坦度）等のフ
ィルタ特性に悪影響を与えることがない。
フィルタ特性上好適である。さらに、直列共振子の反射
器電極と並列共振子の反射器電極との間隔を１５μm 以
上離すことにより、直列共振子と並列共振子との間の干
渉が皆無となるので、通過帯域内偏差（平坦度）等のフ
ィルタ特性に悪影響を与えることがない。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面に基づいて説明する。弾性表面波装置である弾性表
面波フィルタＳ１を図１〜図３に基づいて説明する。図
１は弾性表面波フィルタＳ１を模式的に示した平面図、
図２及び図３は共振子の電極配置例を説明する平面図で
ある。
図面に基づいて説明する。弾性表面波装置である弾性表
面波フィルタＳ１を図１〜図３に基づいて説明する。図
１は弾性表面波フィルタＳ１を模式的に示した平面図、
図２及び図３は共振子の電極配置例を説明する平面図で
ある。
【００１１】図１に示すように、弾性表面波フィルタＳ
１は、例えばタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、
もしくは四ホウ酸リチウム等の圧電基板１の一主面上
に、櫛形電極（ＩＤＴ電極）と、該櫛形電極を挟む一対
の反射器電極とから成る１以上の直列共振子２、及び１
以上の並列共振子３をラダー型回路に接続するととも
に、少なくとも１つの直列共振子２と少なくとも１つの
並列共振子３をを直線状に配置させている。そして、少
なくとも１つの直列共振子２の反射器電極のショートバ
ー２ａと少なくとも１つの並列共振子３の反射器電極の
ショートバー３ｂとを、連結部５において互いに弾性表
面波の伝搬方向に延長させて接続して成る。
１は、例えばタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、
もしくは四ホウ酸リチウム等の圧電基板１の一主面上
に、櫛形電極（ＩＤＴ電極）と、該櫛形電極を挟む一対
の反射器電極とから成る１以上の直列共振子２、及び１
以上の並列共振子３をラダー型回路に接続するととも
に、少なくとも１つの直列共振子２と少なくとも１つの
並列共振子３をを直線状に配置させている。そして、少
なくとも１つの直列共振子２の反射器電極のショートバ
ー２ａと少なくとも１つの並列共振子３の反射器電極の
ショートバー３ｂとを、連結部５において互いに弾性表
面波の伝搬方向に延長させて接続して成る。
【００１２】具体的には、図２に示すように、直列共振
子２は櫛形電極２１が一対の反射器電極２２ａ，２２ｂ
により挟まれて構成されており、並列共振子３は、櫛形
電極３１が一対の反射器電極３２ａ，３２ｂにより挟ま
れて構成されている。そして、直列共振子２の並列共振
子３側に位置する反射器電極２２ａと並列共振子３の直
列共振子２側に位置する反射器電極３２ｂとが所定距離
以上離して接続され連結されている。
子２は櫛形電極２１が一対の反射器電極２２ａ，２２ｂ
により挟まれて構成されており、並列共振子３は、櫛形
電極３１が一対の反射器電極３２ａ，３２ｂにより挟ま
れて構成されている。そして、直列共振子２の並列共振
子３側に位置する反射器電極２２ａと並列共振子３の直
列共振子２側に位置する反射器電極３２ｂとが所定距離
以上離して接続され連結されている。
【００１３】上記直列共振子と並列共振子との連結は例
えば、図３に示す弾性表面波装置Ｓ２のように、直列共
振子６のショートバー６ａの側部と並列共振子７のショ
ートバー７ａ側部とを連結させるように構成してもよ
い。なお、図中６１は直列共振子６における櫛形電極で
あり、６２ａ，６２ｂはそれぞれ櫛形電極６１を挟むよ
うに配置された反射器電極である。同様に、７１は並列
共振子７における櫛形電極であり、７２ａ，７２ｂはそ
れぞれ櫛形電極７１を挟むように配置された反射器電極
である。
えば、図３に示す弾性表面波装置Ｓ２のように、直列共
振子６のショートバー６ａの側部と並列共振子７のショ
ートバー７ａ側部とを連結させるように構成してもよ
い。なお、図中６１は直列共振子６における櫛形電極で
あり、６２ａ，６２ｂはそれぞれ櫛形電極６１を挟むよ
うに配置された反射器電極である。同様に、７１は並列
共振子７における櫛形電極であり、７２ａ，７２ｂはそ
れぞれ櫛形電極７１を挟むように配置された反射器電極
である。
【００１４】ここで、弾性表面波装置Ｓ１又はＳ２にお
いて、直列共振子及び並列共振子をタンタル酸リチウム
ＬｉＴａＯ3 ，特に３６°Ｙカット−Ｘ伝搬）単結晶の
圧電基板の一主面上に配設した場合に、上記双方の共振
子の反射器電極の電極指の本数Ｍが、ガウスの記号
〔 〕で表示した下記式の条件を満たすものとする。
いて、直列共振子及び並列共振子をタンタル酸リチウム
ＬｉＴａＯ3 ，特に３６°Ｙカット−Ｘ伝搬）単結晶の
圧電基板の一主面上に配設した場合に、上記双方の共振
子の反射器電極の電極指の本数Ｍが、ガウスの記号
〔 〕で表示した下記式の条件を満たすものとする。
【００１５】Ｍ≧〔３．６×（Ｈ／λ）-1＋１．５〕
（ただし、Ｈは電極の膜厚、λは弾性表面波の波長（単
位：Å）である）。そして特に、Ｈ／λを０．１以下と
するとフィルタ特性上好適であり、さらに、直列共振子
の反射器電極と並列共振子の反射器電極との間隔ｄを１
５μm 以上離すことにより、直列共振子と並列共振子と
の間の干渉が皆無となるので、通過帯域内偏差等のフィ
ルタ特性に悪影響を与えることがない。また、間隔ｄを
２００μm 以下として配線抵抗がフィルタ特性に影響を
与えないようにさせることができる。
（ただし、Ｈは電極の膜厚、λは弾性表面波の波長（単
位：Å）である）。そして特に、Ｈ／λを０．１以下と
するとフィルタ特性上好適であり、さらに、直列共振子
の反射器電極と並列共振子の反射器電極との間隔ｄを１
５μm 以上離すことにより、直列共振子と並列共振子と
の間の干渉が皆無となるので、通過帯域内偏差等のフィ
ルタ特性に悪影響を与えることがない。また、間隔ｄを
２００μm 以下として配線抵抗がフィルタ特性に影響を
与えないようにさせることができる。
【００１６】また、上記構成によれば、弾性表面波の伝
搬方向と直交する方向に存在する無駄な領域にパターン
形成を行うことがなく、従来の弾性表面波装置のごとく
に電極パターンの総面積が広くなることがないので、弾
性表面波装置の製造の迅速化や装置全体の小型化（図４
に示す弾性表面波装置の１／２〜３／４程度）を図るこ
とができる。
搬方向と直交する方向に存在する無駄な領域にパターン
形成を行うことがなく、従来の弾性表面波装置のごとく
に電極パターンの総面積が広くなることがないので、弾
性表面波装置の製造の迅速化や装置全体の小型化（図４
に示す弾性表面波装置の１／２〜３／４程度）を図るこ
とができる。
【００１７】
【実施例】図１に示すように、３６°Ｙカット−Ｘ方向
伝搬のＬｉＴａＯ3 単結晶基板１の一主面に、直列共振
子２と並列共振子３をラダー型回路に配線した。
伝搬のＬｉＴａＯ3 単結晶基板１の一主面に、直列共振
子２と並列共振子３をラダー型回路に配線した。
【００１８】すなわち、直列共振子２の櫛形電極２１の
対数を４０対，交差幅を３０λ（λ：弾性表面波の波長
＝約４．４μm ）に、並列共振子１４のＩＤＴ電極３１
の対数を５０対、交差幅を３０λに、さらに反射器電極
２２ａと反射器電極３２ｂの間隔ｄを５λになるよう
に、Deep-UV 光を用いた密着露光機を使用したフォトリ
ソグラフィ及び電子ビーム蒸着機を用いた蒸着法でもっ
て、アルミニウムの金属膜から成る直列共振子２と並列
共振子３とを形成し、直列共振子２が３個、並列共振子
３が２個から成る２．５段のラダー型回路に配線した。
また、このときの電極の膜厚は３５００〜５０００Åと
した。また、双方の共振子の反射器電極の本数は１０〜
１００本で最適化した。
対数を４０対，交差幅を３０λ（λ：弾性表面波の波長
＝約４．４μm ）に、並列共振子１４のＩＤＴ電極３１
の対数を５０対、交差幅を３０λに、さらに反射器電極
２２ａと反射器電極３２ｂの間隔ｄを５λになるよう
に、Deep-UV 光を用いた密着露光機を使用したフォトリ
ソグラフィ及び電子ビーム蒸着機を用いた蒸着法でもっ
て、アルミニウムの金属膜から成る直列共振子２と並列
共振子３とを形成し、直列共振子２が３個、並列共振子
３が２個から成る２．５段のラダー型回路に配線した。
また、このときの電極の膜厚は３５００〜５０００Åと
した。また、双方の共振子の反射器電極の本数は１０〜
１００本で最適化した。
【００１９】その後、パターニングされたウエハーのダ
イングカットを行いチップを作製し、エポキシ樹脂等に
よりＳＭＤパッケージ内に接着・硬化した。そして３５
μm径のアルミニウムワイヤーをＳＭＤパッケージのパ
ッド部とチップ上のアルミニウムパッド部上に超音波ボ
ンディングした後に、パッケージのリッド部にてシーリ
ングして弾性表面波フィルタを完成した。
イングカットを行いチップを作製し、エポキシ樹脂等に
よりＳＭＤパッケージ内に接着・硬化した。そして３５
μm径のアルミニウムワイヤーをＳＭＤパッケージのパ
ッド部とチップ上のアルミニウムパッド部上に超音波ボ
ンディングした後に、パッケージのリッド部にてシーリ
ングして弾性表面波フィルタを完成した。
【００２０】この実施例の弾性表面波フィルタによれ
ば、上記と同様にして作製した図４に示す従来の弾性表
面波フィルタに比べ、長さで５０μm 以上も無駄な電極
パターンを削減することができただけでなく、チップの
面積も従来のものより１／２程度小型化に成功した。
ば、上記と同様にして作製した図４に示す従来の弾性表
面波フィルタに比べ、長さで５０μm 以上も無駄な電極
パターンを削減することができただけでなく、チップの
面積も従来のものより１／２程度小型化に成功した。
【００２１】なお、本発明では弾性表面波フィルタを例
にとり説明したがこれに限定されるものではなく、他の
各種弾性表面波装置に適用が可能である。
にとり説明したがこれに限定されるものではなく、他の
各種弾性表面波装置に適用が可能である。
【００２２】
【発明の効果】以上のとおり、本発明の弾性表面波装置
によれば、少なくとも１つの直列共振子の反射器電極と
少なくとも１つの並列共振子の反射器電極とを、互いに
弾性表面波の伝搬方向に延長させて接続したので、弾性
表面波の伝搬方向と直交する方向に存在する無駄な電極
パターンの形成を避けることができ、さらに、装置全体
を大幅に小型化させることが可能なうえフィルタ特性も
良好な優れた弾性表面波装置を提供できる。
によれば、少なくとも１つの直列共振子の反射器電極と
少なくとも１つの並列共振子の反射器電極とを、互いに
弾性表面波の伝搬方向に延長させて接続したので、弾性
表面波の伝搬方向と直交する方向に存在する無駄な電極
パターンの形成を避けることができ、さらに、装置全体
を大幅に小型化させることが可能なうえフィルタ特性も
良好な優れた弾性表面波装置を提供できる。
【図１】本発明に係る弾性表面波フィルタの共振子配置
図である。
図である。
【図２】本発明に係る弾性表面波フィルタの共振子の電
極配置図である。
極配置図である。
【図３】本発明に係る他の弾性表面波フィルタの共振子
の電極配置図である。
の電極配置図である。
【図４】従来の弾性表面波フィルタを模式的に示す平面
図である。
図である。
【図５】従来の弾性表面波フィルタの共振子の電極配置
図である。
図である。
１ ： 基板 ２ ： 直列共振子 ３ ： 並列共振子 ４ ： 接続線 ５ ： 連結部 Ｓ１，Ｓ２： 弾性表面波装置
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電基板上に、櫛形電極と、該櫛形電極
を挟む一対の反射器電極とから成る複数の共振子をラダ
ー型に接続して成る弾性表面波装置であって、直列接続
された直列共振子の少なくとも１つと並列接続された並
列共振子の少なくとも１つとを弾性表面波の伝搬方向に
直線状に配設するとともに、前記少なくとも１つの直列
共振子の反射器電極と前記少なくとも１つの並列共振子
の反射器電極とを接続させたことを特徴とする弾性表面
波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10873297A JPH10303691A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10873297A JPH10303691A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10303691A true JPH10303691A (ja) | 1998-11-13 |
Family
ID=14492134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10873297A Pending JPH10303691A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10303691A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7990234B2 (en) * | 2007-09-28 | 2011-08-02 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Elastic wave filter |
| KR20220107021A (ko) | 2020-01-31 | 2022-08-01 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 디바이스 및 그것을 포함한 래더형 필터 |
| KR20220112806A (ko) | 2020-01-31 | 2022-08-11 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 디바이스 및 그것을 포함한 래더형 필터 |
-
1997
- 1997-04-25 JP JP10873297A patent/JPH10303691A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7990234B2 (en) * | 2007-09-28 | 2011-08-02 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Elastic wave filter |
| KR20220107021A (ko) | 2020-01-31 | 2022-08-01 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 디바이스 및 그것을 포함한 래더형 필터 |
| KR20220112806A (ko) | 2020-01-31 | 2022-08-11 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 디바이스 및 그것을 포함한 래더형 필터 |
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