JP7471769B2 - 素子基板、液体吐出ヘッドおよび記録装置 - Google Patents
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Description
以下、図面を参照して本発明の第1の実施形態について説明する。
以下、図面を参照して本発明の第2の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第1の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
101 発熱抵抗素子
103 電気配線
109 吐出口
201 電極パッド
204 封止禁止領域
600 駆動電極パッド群
602 駆動電極パッド
Claims (16)
- 吐出口から液体を吐出するように構成された複数の吐出素子を面に備え、
複数の電極端子が、前記面における所定の辺の近傍に、前記辺に沿って配列された電極端子列を有する素子基板であって、
前記電極端子列には、前記吐出素子へ電流を送るように構成され、複数の前記吐出素子に接続された電源端子が設けられ、
前記面を前記電極端子列の垂直二等分線によって、第1領域と第2領域とに分けた場合に、前記第1領域内の複数の前記吐出素子のうち、前記電極端子列と前記垂直二等分線との交点から最も離れた位置にある第1吐出素子までの前記交点からの距離が、前記第2領域内の複数の前記吐出素子のうち、前記交点から最も離れた位置にある第2吐出素子までの前記交点からの距離よりも長く、
前記電極端子列は、互いに隣接して配置される複数の前記電源端子から構成される電源端子群を、前記第2領域よりも前記第1領域の側に寄った位置であって、前記交点に前記電源端子群を配置した際よりも、前記電源端子群から複数の前記吐出素子までの距離のばらつきが小さくなるような位置に有することを特徴とする素子基板。 - 吐出口から液体を吐出するように構成された複数の吐出素子を面に備え、
複数の電極端子が、前記面における所定の辺の近傍に、前記辺に沿って配列された電極端子列を有する素子基板であって、
前記電極端子列は、前記吐出素子へ電流を送るように構成され、複数の前記吐出素子に接続された電源端子を有し、
前記電源端子は、前記電源端子とは別の電極端子よりも前記辺に沿う方向の長さが長い第1の電源端子を有し、
前記面を前記電極端子列の垂直二等分線によって、第1領域と第2領域とに分けた場合に、前記第1領域内の複数の前記吐出素子のうち、前記電極端子列と前記垂直二等分線との交点から最も離れた位置にある第1吐出素子までの前記交点からの距離が、前記第2領域内の複数の前記吐出素子のうち、前記交点から最も離れた位置にある第2吐出素子までの前記交点からの距離よりも長く、
前記電極端子列は、前記第1の電源端子を、前記第2領域よりも前記第1領域の側に寄った位置であって、前記交点に前記第1の電源端子を配置した際よりも、前記第1の電源端子から複数の前記吐出素子までの距離のばらつきが小さくなるような位置に有することを特徴とする素子基板。 - 前記面は前記垂直二等分線を軸として非対称であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の素子基板。
- 長辺と短辺とを備えた平行四辺形の形状を備え、かつ点対称な形状であることを特徴とする請求項3に記載の素子基板。
- 前記電源端子は、前記電極端子列における端部以外に位置していることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の素子基板。
- 前記吐出素子はヒータであり、前記吐出素子の熱で液体を発泡させる圧力室が、前記吐出素子に対応して設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の素子基板。
- 前記吐出素子は、前記辺に沿って設けられ、複数の列を成して設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の素子基板。
- 前記吐出素子の作用で液体を吐出するために用いられる圧力室に、液体を供給する供給口を備え、
前記吐出口は、前記圧力室と連通し、前記供給口から供給された液体を吐出することを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載の素子基板。 - 前記電極端子は、前記電極端子の配列方向における前記素子基板の端部から所定の間隔をあけて設けられ、他の部材の電極端子と接続され、封止材によって封止されることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の素子基板。
- 前記他の部材はフレキシブルケーブルであり、前記フレキシブルケーブル内の配線は1つの配線にまとめられていることを特徴とする請求項9に記載の素子基板。
- 前記所定の間隔は、700μm以上であることを特徴とする請求項9または10に記載の素子基板。
- 第1の電極端子列と第2の電極端子列とを含む複数の前記電極端子列を備え、
前記第1の電極端子列は前記辺に沿って複数の前記電極端子が配列され、
前記第2の電極端子列は前記辺と対向する辺に沿って複数の前記電極端子が配列されることを特徴とする請求項4に記載の素子基板。 - 前記電極端子列の中心に前記電源端子群を配置した場合、前記第1吐出素子における電圧降下量が、前記第2吐出素子における電圧降下量よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の素子基板。
- 請求項1ないし請求項13のいずれか1項に記載の複数の素子基板が前記電極端子列の方向に配列されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
- 前記複数の素子基板が配列されてライン型ヘッドとして構成されている、請求項14に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項14または請求項15に記載の液体吐出ヘッドから液体を吐出して記録を行うことを特徴とする記録装置。
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JP2023037261A (ja) * | 2021-09-03 | 2023-03-15 | キヤノン株式会社 | 素子基板および記録ヘッド |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006326972A (ja) | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド用基板および該基板を用いるインクジェット記録ヘッド |
JP2008260243A (ja) | 2007-04-13 | 2008-10-30 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置並びにそれらの吐出制御方法 |
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JP6650748B2 (ja) * | 2015-12-21 | 2020-02-19 | キヤノン株式会社 | 記録素子基板、記録ヘッド、及び記録装置 |
JP6639223B2 (ja) * | 2015-12-25 | 2020-02-05 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
JP6806457B2 (ja) * | 2016-04-05 | 2021-01-06 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006326972A (ja) | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド用基板および該基板を用いるインクジェット記録ヘッド |
JP2008260243A (ja) | 2007-04-13 | 2008-10-30 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置並びにそれらの吐出制御方法 |
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