JP7109959B2 - 記録ヘッド基板、記録ヘッド基板の製造方法、半導体基板、半導体基板の製造方法、およびインクジェット記録装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態における記録ヘッド基板101を示す図である。記録ヘッド基板101が複数配列されて、長尺の記録ヘッド(図9(b))が構成される。記録ヘッド基板101は、平行四辺形の基板形状をしている。記録ヘッド基板101は、半導体チップで構成されている。記録ヘッド基板101は、ウエハ基板内部にレーザ光を集光して局所的な加工変質層のパターンを形成し、その形成されたパターンに沿って割断することによって、図1に示すような基板形状で切り出される。このように、記録ヘッド基板101は、ステルスダイシングによるダイシングによって基板形状が形成されている。図1の記録ヘッド基板101では、図1中の右下と左上の2つの角が、鋭角部である。
実施形態1では、記録ヘッド基板の形状が、平行四辺形である場合を例に挙げて説明した。本実施形態では、記録ヘッド基板の形状が台形である場合を例に挙げて説明する。
実施形態3では、耐湿リングが形成された記録ヘッド基板を説明する。耐湿リングとは、化学機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing)等の平坦化プロセスを採用している半導体基板において一般的に使用されている部材である。耐湿リングは、チップ切断壁面からの湿度に対してチップ内のデバイスを保護するための壁となる。
上述の実施形態の記録素子基板が搭載されるインクジェット記録ヘッドと、このインクジェット記録ヘッドを用いる記録装置の例について説明する。
103 ヒータ
104 PAD
105 TEG領域
Claims (15)
- 液体を吐出して記録を行うための複数の記録素子と、第1の辺に沿って配置され、前記複数の記録素子に電気的に接続される複数のパッドと、を備え、前記第1の辺と第2の辺とで鋭角が構成された基板面と、
前記複数の記録素子と電気的に接続されておらず、前記複数の記録素子のデバイス特性を評価し、かつ、前記記録を行うために用いられない評価用の素子を含むTEGを有するTEG領域であって、少なくとも一部が、前記第2の辺と、前記複数のパッドのうちの前記鋭角の頂点に最も近いパッドと、に挟まれるように配置された前記TEG領域と、
を有することを特徴とする記録ヘッド基板。 - 前記TEG領域は、前記複数の記録素子が配置された領域と重複しない、請求項1に記載の記録ヘッド基板。
- 前記基板面には、複数の前記鋭角が備わっており、
前記TEG領域は、前記複数の鋭角の頂点のうちの少なくとも1つに対応する位置に備えられている、請求項1または2に記載の記録ヘッド基板。 - 前記基板面の形状は、平行四辺形である、請求項1から3のいずれか一項に記載の記録ヘッド基板。
- 前記基板面の形状は、台形である、請求項1から3のいずれか一項に記載の記録ヘッド基板。
- 前記TEG領域には、トランジスタ、配線、抵抗素子、前記評価用の素子、またはプラグのうちの少なくとも1つの前記TEGと、前記TEGに接続する第二パッドとが配置されている、請求項1から5のいずれか一項に記載の記録ヘッド基板。
- 前記TEGは、ウエハ製造工程を管理するプロセスモニタに用いられる、請求項1から6のいずれか一項に記載の記録ヘッド基板。
- 少なくとも2つ以上の記録素子は、前記パッドから引き出しされている配線パターンと共通に接続されている、請求項1から7のいずれか一項に記載の記録ヘッド基板。
- 前記配線パターンは、前記TEG領域と重複しない、請求項8に記載の記録ヘッド基板。
- 前記パッド、前記配線パターン、および前記記録素子を含む領域は、耐湿リングによって前記TEG領域と隔てられている、請求項8または9に記載の記録ヘッド基板。
- 前記耐湿リングは、前記パッド、前記配線パターン、および前記記録素子を含む領域を囲っており、前記TEG領域は、前記耐湿リングの囲いの外側に配置されている、請求項10に記載の記録ヘッド基板。
- 前記TEG領域をさらに囲う第二の耐湿リングが備えられている、請求項10または11に記載の記録ヘッド基板。
- 前記基板面は、前記第2の辺に対向する第3の辺と前記第1の辺とで鈍角が構成されており、
前記複数のパッドのうちの前記鋭角の頂点に最も近いパッドと前記第2の辺との距離は、前記複数のパッドのうちの前記鈍角の頂点に最も近いパッドと前記第3の辺との距離よりも長い、請求項1に記載の記録ヘッド基板。 - 液体を吐出して記録を行うための複数の記録素子と、第1の辺に沿って配置され、前記複数の記録素子に電気的に接続される複数のパッドと、を備え、前記第1の辺と第2の辺とで鋭角が構成された基板面と、
前記複数の記録素子と電気的に接続されておらず、前記複数の記録素子のデバイス特性を評価し、かつ、前記記録を行うために用いられない評価用の素子を含むTEGを有するTEG領域であって、少なくとも一部が、前記第2の辺と、前記複数のパッドのうちの前記鋭角の頂点に最も近いパッドと、に挟まれるように配置された前記TEG領域と、
を有する記録ヘッド基板が複数配列された記録ヘッドを備える、インクジェット記録装置。 - 液体を吐出して記録を行うための複数の記録素子と、第1の辺に沿って配置され、前記複数の記録素子に電気的に接続される複数のパッドと、を備え、前記第1の辺と第2の辺とで鋭角が構成された基板面と、
前記複数の記録素子と電気的に接続されておらず、前記複数の記録素子のデバイス特性を評価し、かつ、前記記録を行うために用いられない評価用の素子を含むTEGを有するTEG領域であって、少なくとも一部が、前記第2の辺と、前記複数のパッドのうちの前記鋭角の頂点に最も近いパッドと、に挟まれるように配置された前記TEG領域と、を有する、半導体基板。
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