JP7457649B2 - 感光性樹脂組成物、エッチング方法及び樹脂構造体の製造方法 - Google Patents
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Description
上記用途において、ポリイミドフィルムには、金属層間の導通を確保するためのスルーホールやデバイス実装用のデバイスホール等の孔を多数形成する必要がある。孔を形成するためには、ドリルやレーザで機械的に加工する方法以外に、ポリイミドを溶解せしめる強アルカリ性の溶液をエッチング液として用いて化学的に加工するエッチング方法が知られている(例えば、特許文献1及び2参照)。また、該エッチング方法によれば、円形の孔あけ加工だけでなく、様々な形状の加工を施すことも可能である。
そのため、代替のエッチング液として、15~45質量%のアルカリ金属水酸化物及び5~40質量%のエタノールアミン化合物を含有する強アルカリ性のエッチング液が提案されている(例えば、特許文献1及び2参照)。該エッチング液によれば、エッチング孔の形崩れが生じにくく、例えば、米国デュポン社製「カプトン(登録商標)」に代表されるピロメリット酸系ポリイミドだけでなく、他のエッチング液ではエッチングが困難であった、例えば、宇部興産株式会社製「ユーピレックス(登録商標)」に代表されるビフェニルテトラカルボン酸系ポリイミドでも、良好にエッチングされ、好適に使用できる。
金属層をレジストとする場合、金属層はエッチング液に対して安定で、液を浸透させず、かつ金属層とポリイミドフィルムとの剥離が起こりにくいため、微細な形状の加工や厚いフィルムの加工等に適している。しかし、金属層のレジストは、製造コストが高く、かつ工程上金属層を使えないケースも多くあり、樹脂層をレジストとしてエッチングする技術が求められている。
可使時間を長くするために、エッチングする前に感光性樹脂層を加熱(ポストキュア)する技術や、エッチングする前に感光性樹脂層に紫外線を照射する技術が知られているが、微細な形状の加工、厚いポリイミドフィルムの加工、溶解速度の遅いポリイミドフィルムの加工における対策は未だ不十分である。
15~45質量%のアルカリ金属水酸化物及び5~40質量%のエタノールアミン化合物を含有するエッチング液によって、基材をエッチング処理するエッチング方法において使用される感光性樹脂組成物であって、
少なくとも(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)重合性単量体を含有し、
(C)重合性単量体として、一般式(i)で示され、m+nが2以上、7以下である化合物を、(C)重合性単量体の総量に対して5~80質量%含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
15~45質量%のアルカリ金属水酸化物及び5~40質量%のエタノールアミン化合物を含有するエッチング液によって、基材をエッチング処理するエッチング方法において使用される感光性樹脂組成物であって、
少なくとも(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)重合性単量体を含有し、
(A)アルカリ可溶性樹脂が、(I)メタクリル酸、(II)スチレン誘導体及び(III)その他のエチレン性不飽和基を有する単量体を共重合して得られる共重合体であり、(I)メタクリル酸、(II)スチレン誘導体及び(III)その他のエチレン性不飽和基を有する単量体の総量に対して、(I)メタクリル酸が20~40質量%であり、(II)スチレン誘導体が25~50質量%であり、
(C)重合性単量体として、一般式(i)で示され、m+nが2以上、20以下である化合物を含有し、
(C)重合性単量体として、一般式(i)で示され、m+nが2以上、7以下である化合物の含有量が、(C)重合性単量体の総量に対して80質量%以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
基材の少なくとも片面に、上記(1)又は(2)に記載の感光性樹脂組成物を含有してなる感光性樹脂層を形成する工程1、該感光性樹脂層を露光・現像してレジストパターンを形成する工程2、並びに、15~45質量%のアルカリ金属水酸化物及び5~40質量%のエタノールアミン化合物を含有するエッチング液によって基材をエッチング処理する工程3、を少なくとも含むことを特徴とするエッチング方法。
上記のエッチング方法を用いることを特徴とする孔又はパターンを有する樹脂構造体の製造方法。
以下、「一般式(i)で示され、m+nが2以上、7以下である化合物」を「化合物(i)-S」と記載する場合がある。
以下、「15~45質量%のアルカリ金属水酸化物及び5~40質量%のエタノールアミン化合物を含有するエッチング液」を「エッチング液α」と記載する場合がある。
また、エッチング液αを、例えば、80℃という高温で使用した場合であっても、感光性樹脂組成物(1)が膨潤又は剥離しにくいという効果を達成できる。
また、エッチング液αを、例えば80℃という高温で使用した場合であっても、感光性樹脂組成物(2)が膨潤又は剥離しにくいという効果を達成できる。
以下、「一般式(i)で示され、m+nが2以上、20以下である化合物」を「化合物(i)-P」と記載する場合がある。
本発明におけるエッチング液αは、15~45質量%のアルカリ金属水酸化物及び5~40質量%のエタノールアミン化合物を含有するエッチング液であり、水溶液であることが好ましい。
上記アルカリ金属水酸化物としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム及び水酸化リチウムよりなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物が好適に用いられる。アルカリ金属水酸化物は、これらの中の1種類を単独で使用してもよいし、2種類以上を組み合わせて使用してもよい。なかでも水酸化カリウムが好適に使用できる。アルカリ金属水酸化物の含有率は、エッチング液全体に対して、20~45質量%がより好ましく、25~40質量%がさらに好ましい。
該エタノールアミン化合物は、1種類を単独で使用してもよいし、2種類以上を組み合わせて使用してもよい。エタノールアミン化合物の含有率は、エッチング液全体に対して、20~40質量%がより好ましく、25~35質量%がさらに好ましい。
次に、本発明のエッチング方法を説明する。本発明のエッチング方法は、基材の少なくとも片面に、本発明の感光性樹脂組成物を含有してなる感光性樹脂層を形成する工程1、感光性樹脂層を露光・現像してレジストパターンを形成する工程2、エッチング液αによって基材をエッチング処理する工程3を少なくとも含む。
基材の少なくとも片面に感光性樹脂層を形成する工程1を説明する。
基材としては、エッチング液αによってエッチングできる基材であれば何れであってもよい。例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、無機充填材含有樹脂、液晶ポリマー、フッ素化合物含有樹脂、ガラス等が挙げられる。
該ピロメリット酸系ポリイミドとしては、例えば、米国デュポン社製「カプトン(登録商標)」等が挙げられる。また、ビフェニルテトラカルボン酸系ポリイミドとしては、例えば、宇部興産株式会社「ユーピレックス(登録商標)」等が挙げられる。
該ビフェニルテトラカルボン酸系ポリイミドは、ポリイミド樹脂の中でもアルカリ性のエッチング液への溶解速度が遅いことが知られている。このような溶解速度の遅いポリイミドのフィルムでも、本発明の感光性樹脂組成物を用いることによって、パターン状に加工することができる。
該無機充填材含有樹脂の樹脂成分としては、具体的にはアルカリ不溶性樹脂が挙げられる。アルカリ不溶性樹脂とは、アルカリ可溶性を発現するカルボキシル基等の酸基の含有量が非常に少ない樹脂を言う。
熱硬化剤としては、例えば、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、活性エステル系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、シアネートエステル樹脂等が挙げられる。
また、本発明の感光性樹脂組成物を含む塗工液を、キャリアーフィルムに塗工して、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層を形成して、ドライフィルムレジスト(以下、単に「DFR」と略記することがある)を作製し、基材に感光性樹脂層を転写する方法が挙げられる。
感光性樹脂層を露光・現像してレジストパターンを形成する工程2を説明する。
工程2では、まず、感光性樹脂層に対してパターン状の露光を実施し、露光部を硬化させる。露光としては、具体的には、フォトマスクを用いた密着露光が挙げられる。また、キセノンランプ、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、UV蛍光灯等を光源とした、反射画像露光、プロキシミティ方式、プロジェクション方式、走査露光等が挙げられる。
走査露光としては、UVレーザ、He-Neレーザ、He-Cdレーザ、アルゴンイオンレーザ、クリプトンイオンレーザ、ルビーレーザ、YAGレーザ、窒素レーザ、色素レーザ、エキシマレーザ等のレーザ光源を、発光波長に応じてSHG波長変換した走査露光、あるいは、液晶シャッター、マイクロミラーアレイシャッターを利用した走査露光等が挙げられる。
現像に使用するアルカリ現像液としては、例えば、無機アルカリ性化合物の水溶液を用いることができる。無機アルカリ性化合物としては、リチウム、ナトリウム、カリウム等の炭酸塩や水酸化物が挙げられる。アルカリ現像液としては、0.1~3質量%の炭酸ナトリウム水溶液が好ましく使用できる。現像液には、界面活性剤、消泡剤、溶剤等を適宜少量混入することもできる。
現像処理方法としては、ディップ方式、バトル方式、スプレー方式、ブラッシング、スクレーピング等があり、スプレー方式が除去速度のためには最も適している。処理温度は15~35℃が好ましく、また、スプレー圧は、0.02~0.3MPaが好ましい。
エッチング液αによって基材をエッチング処理する工程3を説明する。エッチング方法としては、浸漬処理、パドル処理、スプレー処理、ブラッシング、スクレーピング等の方法を用いることができる。この中でも、浸漬処理が好ましい。
浸漬処理以外の方法では、エッチング液α中に気泡が発生しやすく、その気泡が基材の表面に付着してエッチング不良が発生する場合がある。また、浸漬処理以外の方法では、エッチング液αの温度変化が大きくなりやすく、基材のエッチング速度にばらつきが発生する場合がある。
レジストパターンに追加露光する工程4を説明する。
本発明の感光性樹脂組成物を使用したエッチング方法において、工程2と工程3の間で、レジストパターンに追加露光をする工程4を実施してもよい。
該追加露光は、具体的には、キセノンランプ、高圧水銀灯、低圧水銀灯、超高圧水銀灯、UV蛍光灯等を光源として、紫外線を硬化した感光性樹脂層を含むレジストパターン全面に照射し、さらに架橋させる。追加露光の露光量は、特に限定はないが、100~2000mJ/cm2が好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、工程4の追加露光をすることによって、その後の工程3のエッチング処理において、レジストパターンが膨潤又は剥離しにくいという効果が特に奏されるようになる。
工程4を行う場合には、工程4終了から工程3開始までの時間は、30分以下であることが好ましく、20分以下であることがより好ましい。これによって、感光性樹脂層で形成されたレジストパターンの内部まで充分に硬化された状態で、エッチング処理が可能であり、強アルカリ性のエッチング液αによって、基材をエッチング処理した場合に、レジストパターンが膨潤又は剥離することをより抑制することができる。
次いで、工程3後にレジストパターンを剥離するレジスト剥離工程を説明する。工程3後に、レジストパターンを残しておいてもよいが、不要であれば、レジストパターンを剥離する。
レジスト剥離工程において、レジスト剥離液としては、アルカリ水溶液が有用に使用される。レジスト剥離液に使用される塩基性化合物としては、例えば、ケイ酸アルカリ金属塩、アルカリ金属水酸化物、リン酸アルカリ金属塩、炭酸アルカリ金属塩、リン酸アンモニウム、炭酸アンモニウム塩等の無機塩基性化合物;エタノールアミン、エチレンジアミン、プロパンジアミン、トリエチレンテトラミン、モルホリン、水酸化テトラメチルアンモニウム等の有機塩基性化合物を挙げることができる。
本発明は、上記エッチング方法を用いることを特徴とする孔又はパターンを有する樹脂構造体の製造方法でもある。
本発明の感光性樹脂組成物(1)は、少なくとも(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)重合性単量体を含有し、(C)重合性単量体として、一般式(i)で示され、m+nが2以上、7以下である化合物(化合物(i)-S)を、(C)重合性単量体の総量に対して5~80質量%含有することを特徴とする。
アルカリ可溶性樹脂とは、具体的には、酸性基を含む樹脂であり、酸価が40mgKOH/g以上である樹脂が挙げられる。該酸性基としては、具体的にはカルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられる。
その中でも、(メタ)アクリル系樹脂を用いることが好ましい。該(メタ)アクリル系樹脂としては、(メタ)アクリレートを主成分とし、これにエチレン性不飽和カルボン酸を共重合させてなる(メタ)アクリル系重合体が好ましい。また、これには、その他の共重合可能なエチレン性不飽和基を有する単量体を共重合させたものでもよい。
酸価が40mgKOH/g未満では、アルカリ現像時間が長くなる場合があり、一方、500mgKOH/gを超えると、感光性樹脂層と基材との密着性が悪くなる場合や、エッチング液αへの耐性が悪くなる場合がある。上記酸価は、JIS K2501:2003に準拠して測定した値である。
(A)アルカリ可溶性樹脂の質量平均分子量が5,000未満では、硬化前の感光性樹脂組成物をフィルム状態に形成することが困難になる場合がある。一方、(A)アルカリ可溶性樹脂の質量平均分子量が150,000を超えると、アルカリ現像液に対する溶解性が悪化する場合や、レジスト剥離液に溶解する速度が遅くなる場合がある。
これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。なかでも、イミダゾール二量体が、高感度であり好適に使用でき、さらに、2-(2’-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体が特に好適に使用できる。
化合物(i)-Sの含有率が、5~80質量%であること(又は上記範囲であること)によって、エッチング液αへの耐性に優れ、レジストパターンの剥離性にも優れ、アルカリ現像性にも優れている。
化合物(i)-Sの含有率が少なすぎると、エッチング液αへの耐性が不十分になる場合があり、一方、化合物(i)-Sの含有率が多すぎると、アルカリ現像性が悪くなり、アルカリ現像に多くの時間を有する場合がある。また、レジストパターンの剥離性が悪くなる場合がある。
(A)アルカリ可溶性樹脂が、(I)メタクリル酸、(II)スチレン誘導体及び(III)その他のエチレン性不飽和基を有する単量体を共重合して得られる共重合体であり、(I)メタクリル酸、(II)スチレン誘導体及び(III)その他のエチレン性不飽和基を有する単量体の総量に対して、(I)メタクリル酸が20~40質量%であり、(II)スチレン誘導体が25~50質量%であり、
(C)重合性単量体として、一般式(i)で示され、m+nが2以上、20以下である化合物(化合物(i)-P)を含有し、
(C)重合性単量体として、一般式(i)で示され、m+nが2以上、7以下である化合物(化合物(i)-S)の含有量が、(C)重合性単量体の総量に対して80質量%以下であることを特徴とする。
アルカリ可溶性樹脂とは、具体的には、酸性基を含む樹脂であり、酸価が40mgKOH/g以上である樹脂が挙げられる。該酸性基としては、具体的にはカルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物(2)では、カルボキシル基を有する(I)メタクリル酸を(A)アルカリ可溶性樹脂の共重合成分として使用する。
一方、(II)スチレン誘導体を、上記上限を超えて含むと、アルカリ現像性が悪くなり、アルカリ現像に多くの時間を有する場合やアルカリ現像ができなくなる場合がある。また、レジストパターンの剥離性が悪くなる場合がある。
酸価が40mgKOH/g未満では、アルカリ現像時間が長くなる場合があり、一方、500mgKOH/gを超えると、感光性樹脂層と基材との密着性が悪くなる場合や、エッチング液αへの耐性が悪くなる場合がある。上記酸価は、JIS K2501:2003に準拠して測定した値である。
(A)アルカリ可溶性樹脂の質量平均分子量が5,000未満では、硬化前の感光性樹脂組成物をフィルム状態に形成することが困難になる場合がある。一方、(A)アルカリ可溶性樹脂の質量平均分子量が150,000を超えると、アルカリ現像液に対する溶解性が悪化する場合や、レジスト剥離液への溶解する速度が遅くなる場合がある。
化合物(i)-Sの含有率が多すぎると、アルカリ現像性が悪くなり、アルカリ現像に多くの時間を有する場合がある。また、レジストパターンの剥離性が悪くなる場合がある。
以下、「一般式(i)で示され、m+nが7より大きく、13以下である化合物」を「化合物(i)-M」と略記する場合がある。また、「一般式(i)で示され、m+nが13より大きく、20以下である化合物」を「化合物(i)-L」と略記する場合がある。
本発明の感光性樹脂組成物(1)及び(2)において、(A)アルカリ可溶性樹脂の含有率は、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)重合性単量体の総量に対して、35~75質量%であることが好ましく、40~65質量%であることがより好ましい。
(A)アルカリ可溶性樹脂の含有率が35質量%未満では、感光性樹脂層のタック性が高く、キャリアーフィルムに感光性樹脂層を形成したDFRとしたとき、エッジフュージョンが発生しやすくなる場合や、フィルムにしわが入りやすくなる場合がある。一方、(A)アルカリ可溶性樹脂の含有率が75質量%を超えると、光重合性が低下する場合がある。
このような成分としては、増感剤、溶剤、熱重合禁止剤、可塑剤、着色剤(染料、顔料)、光発色剤、光減色材、熱発色防止剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、熱硬化剤、撥水剤、撥油剤等が挙げられ、それぞれ、0.01~20質量%程度含有することができる。これらの成分は1種を単独で用いてもよいし、2種類以上を組み合わせて用いることもできる。
該透明フィルムの材質としては、例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル、ポリビニルアルコール等が使用できる。その中でも特に、ポリエステルの一種であるポリエチレンテレフタレートフィルムを使用すると、ラミネート適性、剥離適性、光透過性、屈折率に対して有利であり、また、安価で、脆化せず、耐溶剤性に優れ、高い引っ張り強度を持つ等の利点から、非常に利用しやすい。
キャリアーフィルムの厚みは、1~100μmであることが好ましい。
感光性樹脂層の厚みは、3~120μmであることが好ましく、5~100μmであることがより好ましい。この感光性樹脂層の厚みが大きすぎると、解像性の低下、コスト高、等の問題が発生する場合があり、逆に薄すぎると、密着性が低下する場合がある。
なお、実施例3、5、25~27、35~37、47~48を、参考例3、5、25~27、35~37、47~48と読み替える。
表1に示す各成分を共重合させて(A-1)~(A~10)の(A)アルカリ可溶性樹脂を得た。なお、表1における各成分の含有量の単位は[質量部]である。また、表1には、(A)アルカリ可溶性樹脂の酸価及び質量平均分子量も記載した。
(B-1):2-(2’-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体
(B-2):4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
(C-1):NKエステルBPE-100(商品名、新中村化学工業社製、化合物(i)-S、m+n=2.6)
(C-2):NKエステルBPE-200(商品名、新中村化学工業社製、化合物(i)-S、m+n=4)
(C-3):NKエステルBPE-500(商品名、新中村化学工業社製、化合物(i)-M、m+n=10)
(C-4):NKエステルBPE-900(商品名、新中村化学工業社製、化合物(i)-L、m+n=17)
(C-5):NKエステルBPE-1300N(商品名、新中村化学工業社製、一般式(i)で示され、m+nが30である化合物)
(C-6):ポリエチレングリコール♯200ジメタクリレート(エトキシ基数が4)
(C-7):ポリエチレングリコール♯400ジメタクリレート(エトキシ基数が9)
(C-8):ライトアクリレート4EG-A(商品名、共栄社化学株式会社製、ポリエチレングリコールジアクリレート(エトキシ基数が4))
表3に示す各成分を混合し、感光性樹脂組成物の塗工液を得た。
アプリケーターを用いて、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(キャリアーフィルム、商品名:R310、16μm厚、三菱ケミカル社製)上に、得られた塗工液を塗工し、80℃で5分間乾燥して溶剤成分を除去し、PETフィルムの片面上に、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層(30μm厚)を得た。
ポリエチレンフィルム(保護フィルム、商品名:GF1、30μm厚、タマポリ社製)を感光性樹脂層面に貼り付け、DFRを作製した。
続いて、5kWの超高圧水銀灯光源を搭載した両面露光機を用い、ライン/スペース=300μm/300μmのテスト用パターンを有するフォトマスクを通して上記のポリイミドフィルムの両面に形成されたDFRに対して密着露光を行い、コンベアー式現像機を用いて、液温30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で、スプレー圧力0.2MPaの条件で、90秒間現像処理し、テスト用パターン部に、ボトム部でスペース/ライン=300μm/300μmのレジストパターンを得た。
次に、上記両面露光機を使用し、露光量1000mJ/cm2にて紫外線を全面に追加露光した。一連の工程後、レジストパターンを確認したが、比較例5のDFRに関しては、現像が進まず、現像できなかった。
その際、比較例1~4のDFRに関しては、液1~4の何れのエッチング液においても、スペース/ライン=300μm/300μmのレジストパターンが膨潤剥離してしまい、良好にエッチングができなかった。一方、実施例1~6のDFRについては、液1~4の全てのエッチング液に対しても、脱離することなく、液温度80℃、12分間の浸漬に耐えた。
実施例1、2及び4では、1分以内と短時間にレジスト剥離が完了した。実施例3では、5分でレジスト剥離が完了し、少し時間を要した。実施例5では、15分でレジスト剥離が完了し、さらに時間を要したが、完全にレジストパターンを剥離することができた。
レジスト剥離後に、水洗後乾燥し、エッチングが完了したポリイミドフィルムを500倍の顕微鏡で観察したところ、レジストパターンのスペース部分は貫通しており、また、レジストパターンのライン部分においては、エッチング液の入り込みがなく、侵食されていないことが確認できた。
よって、実施例1~5においては、良好なエッチングが達成できた。
表4に示す各成分を混合し、感光性樹脂組成物の塗工液を得た。アプリケーターを用いて、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(キャリアーフィルム、商品名:R310、16μm厚、三菱ケミカル社製)上に得られた塗工液を塗工し、80℃で5分間乾燥し、溶剤成分を除去し、PETフィルムの片面上に、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層(30μm厚)を得た。
ポリエチレンフィルム(保護フィルム、商品名:GF1、30μm厚、タマポリ社製)を感光性樹脂層面に貼り付け、DFRを作製した。
続いて、5kWの超高圧水銀灯光源を搭載した両面露光機を用い、ライン/スペース=300μm/300μmのテスト用パターンを有するフォトマスクを通して上記のポリイミドフィルムの両面に形成されたDFRに対して密着露光を行い、コンベアー式現像機を用いて、液温30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で、スプレー圧力0.2MPaの条件で、90秒間現像処理し、テスト用パターン部に、ボトム部でスペース/ライン=300μm/300μmのレジストパターンを得た。次に、上記両面露光機を使用し、露光量1000mJ/cm2にて紫外線を全面追加露光して、レジストパターンをさらに架橋させた。一連の工程後、レジストパターンを確認したが、比較例12及び比較例13のDFRに関しては、現像が進まず、現像できなかった。
一方、実施例11~14のDFRについては、液1~4の全てのエッチング液に対しても、膨潤剥離することなく、液温度80℃、12分間の浸漬に耐えた。
レジスト剥離後に、水洗後乾燥し、エッチングが完了したポリイミドフィルムを500倍の顕微鏡で観察したところ、レジストパターンのスペース部分は貫通しており、またレジストパターンのライン部分においては、エッチング液の入り込みがなく、侵食されていないことが確認できた。
よって、実施例11~14においては、良好なエッチングが達成できた。
表5に示す各成分を混合し、感光性樹脂組成物の塗工液を得た。アプリケーターを用いて、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(キャリアーフィルム、商品名:R310、16μm厚、三菱ケミカル社製)上に得られた塗工液を塗工し、80℃で5分間乾燥し、溶剤成分を除去し、PETフィルムの片面上に、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層(60μm厚)を得た。ポリエチレンフィルム(保護フィルム、商品名:GF1、30μm厚、タマポリ社製)を感光性樹脂層面に貼り付け、DFRを作製した。
続いて、5kWの超高圧水銀灯光源を搭載した両面露光機を用い、ライン/スペース=300μm/300μmのテスト用パターンを有するフォトマスクを通して上記のポリイミドフィルムの両面に形成されたDFRに対して密着露光を行い、コンベアー式現像機を用いて、液温30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で、スプレー圧力0.2MPaの条件で、90秒間現像処理し、テスト用パターン部に、ボトム部でスペース/ライン=300μm/300μmのレジストパターンを得た。
次に、上記両面露光機を使用し、露光量1000mJ/cm2にて紫外線を全面に追加露光した。一連の工程後、レジストパターンを確認したが、比較例22のDFRに関しては、現像が進まず、現像できなかった。
その際、比較例21のDFRに関しては、液1~4の何れのエッチング液においても、スペース/ライン=300μm/300μmのレジストパターンが膨潤剥離してしまい、良好にエッチングができなかった。
一方、実施例21~27のDFRについては、液1~4の全てのエッチング液に対しても、脱離することなく、液温度80℃、12分間の浸漬に耐えた。
実施例21、22及び24に関しては1分以内と短時間にレジスト剥離が完了した。実施例23は15分でレジスト剥離が完了し、少しレジスト剥離に時間を要した。実施例25~27は、60分以上剥離液に浸漬したが、剥離できなかった。
レジスト剥離後に、水洗後乾燥し、エッチングが完了したポリイミドフィルムを500倍の顕微鏡で観察したところ、レジストパターンのスペース部分は貫通しており、またレジストパターンのライン部分においては、エッチング液の入り込みがなく、侵食されていないことが確認できた。
よって、実施例21~27では、エッチングができ、実施例21~24では、レジスト剥離もできた。
表6に示す各成分を混合し、感光性樹脂組成物の塗工液を得た。アプリケーターを用いて、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(キャリアーフィルム、商品名:R310、16μm厚、三菱ケミカル社製)上に得られた塗工液を塗工し、80℃で5分間乾燥し、溶剤成分を除去し、PETフィルムの片面上に、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層(60μm厚)を得た。
ポリエチレンフィルム(保護フィルム、商品名:GF1、30μm厚、タマポリ社製)を感光性樹脂層面に貼り付け、DFRを作製した。
続いて、5kWの超高圧水銀灯光源を搭載した両面露光機を用い、ライン/スペース=300μm/300μmのテスト用パターンを有するフォトマスクを通して上記のポリイミドフィルムの両面に形成されたDFRに対して密着露光を行い、コンベアー式現像機を用いて、液温30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で、スプレー圧力0.2MPaの条件で、90秒間現像処理し、テスト用パターン部に、ボトム部でスペース/ライン=300μm/300μmのレジストパターンを得た。
次に、上記両面露光機を使用し、露光量1000mJ/cm2にて紫外線を全面追加露光した。一連の工程後、レジストパターンを確認したが、比較例32のDFRに関しては、現像が進まず、現像できなかった。
一方、実施例31~37のDFRについては、液1~4の全てのエッチング液に対しても、脱離することなく、液温度80℃、12分間の浸漬に耐えた。
実施例31、32、34に関しては、1分以内と短時間にレジスト剥離が完了した。実施例33は、15分でレジスト剥離が完了し、少しレジスト剥離に時間を要した。実施例35~37は、60分以上剥離液に浸漬したところ剥離できなかったが、剥離しないで使用することはできた。
よって、実施例31~37では、エッチングができ、実施例31~34では、レジスト剥離もできた。
表7に示す各成分を混合し、感光性樹脂組成物の塗工液を得た。アプリケーターを用いて、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(キャリアーフィルム、商品名:R310、16μm厚、三菱ケミカル社製)上に得られた塗工液を塗工し、80℃で5分間乾燥し、溶剤成分を除去し、PETフィルムの片面上に、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層(60μm厚)を得た。
ポリエチレンフィルム(保護フィルム、商品名:GF1、30μm厚、タマポリ社製)を感光性樹脂層面に貼り付け、DFRを作製した。
続いて、5kWの超高圧水銀灯光源を搭載した両面露光機を用い、ライン/スペース=300μm/300μmのテスト用パターンを有するフォトマスクを通して上記のポリイミドフィルムの両面に形成されたDFRに対して密着露光を行い、コンベアー式現像機を用いて、液温30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で、スプレー圧力0.2MPaの条件で、90秒間現像処理し、テスト用パターン部に、ボトム部でスペース/ライン=300μm/300μmのレジストパターンを得た。
次に、上記両面露光機を使用し、露光量1000mJ/cm2にて紫外線を全面に追加露光した。一連の工程後、レジストパターンを確認したが、比較例42のDFRに関しては、現像が進まず、現像できなかった。
一方、実施例41~48のDFRについては、液1~4の全てのエッチング液に対しても、膨潤又は剥離することなく、液温度80℃、12分間の浸漬に耐えた。
実施例41~43、45及び46に関しては1分以内と短時間にレジスト剥離が完了した。実施例44は15分でレジスト剥離が完了し、少しレジスト剥離に時間を要した。実施例47及び48は、60分以上剥離液に浸漬したところ剥離できなかったが、剥離しないで使用することはできた。
Claims (4)
- 15~45質量%のアルカリ金属水酸化物及び5~40質量%のエタノールアミン化合物を含有するエッチング液によって、基材をエッチング処理するエッチング方法において使用される感光性樹脂組成物であって、
少なくとも(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)重合性単量体を含有し、
(C)重合性単量体として、一般式(i)で示され、m+nが2以上、7以下である化合物を、(C)重合性単量体の総量に対して5~30質量%含有することを特徴とする感光性樹脂組成物(但し、下記P-1、M-1、M-2、M-3、M-4、M-5、I-1、I-2、D-1及びD-2の化合物からなる場合、並びに、下記式(1)で示されるスチリルピリジン化合物を含有する場合を除く)。
P-1:メタクリル酸メチル50質量%、メタクリル酸25質量%、スチレン25質量%の三元共重合体のメチルエチルケトン溶液
M-1:ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均2モルのプロピレンオキサイドと平均6モルのエチレンオキサイドを付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレート
M-2:ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均2モルのエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールのジメタクリレート
M-3:ヘキサメチレンジイソシアネートとオリゴプロピレングリコールモノメタクリレートとの反応物であるウレタンポリプロピレングリコールジメタクリレート
M-4:トリメチロ-ルプロパントリアクリレート
M-5:トリオキシエチルトリメチロールプロパントリアクリレート
I-1:4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
I-2:2-(o-クロロフェニル)-4、5-ジフェニルイミダゾール二量体
D-1:ダイアモンドグリーン
D-2:ロイコクリスタルバイオレット
- 15~45質量%のアルカリ金属水酸化物及び5~40質量%のエタノールアミン化合物を含有するエッチング液によって、基材をエッチング処理するエッチング方法において使用される感光性樹脂組成物であって、
少なくとも(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)重合性単量体を含有し、
(A)アルカリ可溶性樹脂が、(I)メタクリル酸、(II)スチレン誘導体及び(III)その他のエチレン性不飽和基を有する単量体を共重合して得られる共重合体であり、(I)メタクリル酸、(II)スチレン誘導体及び(III)その他のエチレン性不飽和基を有する単量体の総量に対して、(I)メタクリル酸が20~40質量%であり、(II)スチレン誘導体が25~50質量%であり、
(C)重合性単量体として、一般式(i)で示され、m+nが2以上、20以下である化合物を含有し、
(C)重合性単量体として、一般式(i)で示され、m+nが2以上、7以下である化合物の含有量が、(C)重合性単量体の総量に対して30質量%以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物(但し、下記P-1、M-1、M-2、M-3、M-4、M-5、I-1、I-2、D-1及びD-2の化合物からなる場合、並びに、下記式(1)で示されるスチリルピリジン化合物を含有する場合を除く)。
P-1:メタクリル酸メチル50質量%、メタクリル酸25質量%、スチレン25質量%の三元共重合体のメチルエチルケトン溶液
M-1:ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均2モルのプロピレンオキサイドと平均6モルのエチレンオキサイドを付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレート
M-2:ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均2モルのエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールのジメタクリレート
M-3:ヘキサメチレンジイソシアネートとオリゴプロピレングリコールモノメタクリレートとの反応物であるウレタンポリプロピレングリコールジメタクリレート
M-4:トリメチロ-ルプロパントリアクリレート
M-5:トリオキシエチルトリメチロールプロパントリアクリレート
I-1:4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
I-2:2-(o-クロロフェニル)-4、5-ジフェニルイミダゾール二量体
D-1:ダイアモンドグリーン
D-2:ロイコクリスタルバイオレット
- 基材の少なくとも片面に、請求項1又は請求項2に記載の感光性樹脂組成物を含有してなる感光性樹脂層を形成する工程1、該感光性樹脂層を露光・現像してレジストパターンを形成する工程2、並びに、15~45質量%のアルカリ金属水酸化物及び5~40質量%のエタノールアミン化合物を含有するエッチング液によって基材をエッチング処理する工程3、を少なくとも含むことを特徴とするエッチング方法。
- 請求項3に記載のエッチング方法を用いることを特徴とする孔又はパターンを有する樹脂構造体の製造方法。
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