JP7445150B2 - ドライエッチング方法及び半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
本実施形態によるドライエッチング方法では、第1のガス~第4のガスを全て含むドライエッチング剤を使用し、プラズマエッチングを行うことで、基板上に形成されたSiO2やSi3N4といったシリコン化合物膜をエッチングする。第1のガスは、ヨウ化フッ化炭素化合物及び臭化フッ化炭素化合物からなる群から選ばれる1以上の化合物である。第2のガスは、CnFm(n=2~5の整数、m=2、4、6、8で表される整数、ただし、n:m=2:6、2:8、3:2、3:8、5:2の組み合わせを除く)で表される不飽和フルオロカーボンである。第3のガスは、CxHyFz(x=2~4の整数、y+z=2、4、6、8で表される整数、ただし、x:y+z=2:6、2:8、3:2、3:8の組み合わせを除く、で表される整数)で表される含水素不飽和フルオロカーボンである。第4のガスは、酸化性ガスである。
すなわち、前記第1のガスに含まれるヨウ化フッ化炭素化合物または臭化フッ化炭素化合物1分子に含まれるヨウ素原子または臭素原子の数をNA、前記含水素不飽和フルオロカーボン分子に含まれる水素原子の数をNBとし、ドライエッチング剤中の体積分率をそれぞれVA、VBとしたとき、
NA×VA≦2×NB×VB
となることが好ましく、
NA×VA≦NB×VB
となることがより好ましい。
本実施形態のドライエッチング方法は、従来の半導体デバイスのシリコン化合物膜に所定のパターンを形成するためのエッチング方法として使用可能である。本実施形態のドライエッチング方法により基板上のシリコン化合物膜をエッチングすることにより、基板上にヨウ素原子又は臭素原子の残存の少ない、良好な特性を持つ半導体デバイスを製造することができる。
(エッチング工程)
図1は、実施例・比較例で用いた反応装置10の概略図である。チャンバー11内には、試料18を保持する機能を有しステージとしても機能する下部電極14と、上部電極15と、圧力計12が設置されている。また、チャンバー11上部には、ガス導入口16が接続されている。チャンバー11内は圧力を調整可能であると共に、13.56MHzの高周波電力を出力する高周波電源13によりドライエッチング剤を励起させることができる。これにより、下部電極14上に設置した試料18に対し励起させたドライエッチング剤を接触させ、試料18をエッチングすることができる。ドライエッチング剤を導入した状態で、高周波電源13から高周波電力を印加すると、プラズマ中のイオンと電子の移動速度の差から、上部電極15と下部電極14の間に自己バイアス電圧と呼ばれる直流電圧が発生させることができるように構成されている。チャンバー11内のガスはガス排出ライン17を経由して排出される。
エッチング形状評価用ウエハAおよびBを、ステージ上に設置した。上記の条件で、5分間のエッチングを行ったのち、断面SEM写真を撮影し、そのエッチング形状を観察した。
その結果、肩落ちやボウイング、マスクの変形やホールの閉塞といったエッチング形状異常のない、エッチングができていることを確認した。
SiO2膜を有するシリコンウエハC上に付着した金属の量を測定する試験を実施した。エッチング条件はエッチング形状評価に記載した条件と同様であるが、その後に5分間、酸素プラズマでアッシングした。金属量の測定は、JIS K0160:2009に規定された方法を用いて行った。即ち、ふっ化水素酸をプラスチック製ビーカーに入れてVPD(気相分解)容器と呼ばれるPFA(ペルフルオロアルコキシフッ素樹脂)製の容器内に置き,エッチング後のウエハCをVPD容器内に設置したウエハスタンドに置いた。次に、VPD容器を閉じ、ふっ化水素酸蒸気で前記ウエハ上のSiO2膜を10分間分解した。SiO2を分解した後のウエハの表面に、100μLの走査溶液(超純水)を滴下し、ウエハの表面全体を走査した。走査後,走査した液滴全体を乾燥し、再び超純水で溶解したのち、ICP-MS(誘導結合プラズマ質量分析計)で分析した。得られた分析値は溶解液量と、ウエハの表面積から、ウエハ1cm2あたりの金属原子数に換算した。その結果、ヨウ素原子の分析値は、1.2×1010atms/cm2であり、臭素原子の分析値は検出限界の1.0×1010atms/cm2未満であった。
CF3I、C3F6、C3H2F4、Arの混合割合を変えた以外は実施例1と同じ条件でエッチングを行った。
CF3Iの代わりにC2F5I、CF2Br2を用いた以外は実施例1と同じ条件でエッチングを行った。
C3F6の代わりにC4F6(ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン)、C5F8(オクタフルオロシクロペンタジエン)、C3F8(パーフルオロプロパン)を用いた以外は実施例1と同じ条件でエッチングを行った。
C3H2F4(トランス-1,3,3,3-テトラフルオロプロペン)の代わりにC3H2F4の構造異性体である2,3,3,3-テトラフルオロプロペンを用いた以外は実施例1と同じ条件でエッチングを行った。
C3F6およびC3H2F4を使用しなかった以外は実施例1と同じ条件でエッチングを行った。
C3F6の代わりにC3F8(パーフルオロプロパン)を用いた以外は実施例1と同じ条件でエッチングを行った。
C3H2F4(トランス-1,3,3,3-テトラフルオロプロペン)の代わりにC3H2F6(1,1,1,2,3,3-ヘキサフルオロプロパン)、C3H2F4O(ヘキサフルオロプロピレンオキサイド)を用いた以外は実施例1と同じ条件でエッチングを行った。
11: チャンバー
12: 圧力計
13: 高周波電源
14: 下部電極
15: 上部電極
16: ガス導入口
17: 排ガスライン
18: 試料
Claims (16)
- シリコン化合物膜を有する基板に対して、前記シリコン化合物膜上に形成された所定の開口パターンを有するマスクを介して、ドライエッチング剤をプラズマ化した上で前記シリコン化合物膜をエッチングする方法であって、
前記ドライエッチング剤が、以下の第1のガスから第4のガスを全て含み、前記ドライエッチング剤中の前記第1のガスの体積が、前記第2のガスと前記第3のガスの合計の体積の0.01倍以上であることを特徴とするドライエッチング方法。
第1のガス:ヨウ化フッ化炭素化合物及び臭化フッ化炭素化合物からなる群から選ばれる1以上の化合物。
第2のガス:CnFm(n=2~5の整数、m=2、4、6、8で表される整数、ただし、n:m=2:6、2:8、3:2、3:8、5:2の組み合わせを除く)で表される不飽和フルオロカーボン。
第3のガス:CxHyFz(x=2~4の整数、y+z=2、4、6、8で表される整数、ただし、x:y+z=2:6、2:8、3:2、3:8の組み合わせを除く、で表される整数)で表される含水素不飽和フルオロカーボン。
第4のガス:酸化性ガス。 - 前記第1のガスに含まれるヨウ素原子及び臭素原子の数が、前記第3のガスに含まれる水素原子の数の2倍以下であることを特徴とする、請求項1に記載のドライエッチング方法。
- 前記ドライエッチング剤中の前記第1のガスの体積が、前記第2のガスと前記第3のガスの合計の体積の0.01倍以上2倍以下の範囲であることを特徴とする、請求項1又は2に記載のドライエッチング方法。
- 前記ドライエッチング剤において、体積比で前記第2のガス:前記第3のガス=1:0.05以上20以下であることを特徴とする、請求項1~3のいずれか1項に記載のドライエッチング方法。
- 前記ドライエッチング剤において、前記酸化性ガスが前記ドライエッチング剤の1体積%以上50体積%以下であることを特徴とする、請求項1~4のいずれか1項に記載のドライエッチング方法。
- 前記不飽和フルオロカーボンが、C3F6、C4F6及びC5F8からなる群より選ばれる少なくともひとつであり、
前記含水素不飽和フルオロカーボンがC3H2F4であることを特徴とする、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のドライエッチング方法。 - 前記不飽和フルオロカーボンがヘキサフルオロプロペンであり、
前記含水素不飽和フルオロカーボンがトランス-1,3,3,3テトラフルオロプロペンであることを特徴とする、請求項6に記載のドライエッチング方法。 - 前記酸化性ガスが、O2、O3、CO、CO2、COCl2、COF2及びNO2からなる群より選ばれる少なくともひとつであることを特徴とする、請求項1から7のいずれか1項に記載のドライエッチング方法。
- 前記ドライエッチング剤が、さらに第5のガスとして不活性ガスを含み、
前記不活性ガスがHe、Ne、Ar、Kr、Xe及びN2からなる群より選ばれる少なくともひとつであることを特徴とする、請求項1から8のいずれか1項に記載のドライエッチング方法。 - プラズマ化した前記ドライエッチング剤を、絶対値で500V以上の負の直流の自己バイアス電圧を印加し、前記シリコン化合物膜をエッチングすることを特徴とする、請求項1~9のいずれか1項に記載のドライエッチング方法。
- 前記シリコン化合物膜をエッチングした後に、前記ドライエッチング剤が接触した前記基板の表面に残存するヨウ素原子及び臭素原子の量が、1×1011原子/cm2以下であることを特徴とする、請求項1~10のいずれか1項に記載のドライエッチング方法。
- 前記基板が、シリコンウエハであることを特徴とする、請求項1~11のいずれか1項に記載のドライエッチング方法。
- 前記基板が、シリコン膜を有することを特徴とする、請求項1~12のいずれか1項に記載のドライエッチング方法。
- 前記シリコン化合物膜は、シリコン酸化物膜及びシリコン窒化物膜からなる群から選ばれる1以上の膜であることを特徴とする、請求項1~13のいずれか1項に記載のドライエッチング方法。
- 基板上のシリコン化合物膜を、請求項1~14のいずれか1項に記載のドライエッチング方法によりエッチングするエッチング工程を含むことを特徴とする、半導体デバイスの製造方法。
- 前記エッチング工程の後に、アッシング又は熱アニーリングによって、前記マスク及び/又は前記エッチング工程において前記基板上に生成したフルオロカーボン重合膜を除去する除去工程を行うことを特徴とする、請求項15に記載の半導体デバイスの製造方法。
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