JP7443808B2 - 圧電性酸化物単結晶基板の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係る圧電性酸化物単結晶基板の製造方法(以下「製造方法」と略記する場合もある)の一例を示すフローチャートである。図2は、圧電性酸化物単結晶(以下「単結晶」と略記する場合もある)のインゴット(以下「単結晶インゴット」と略記する場合もある)、スライス加工後の単結晶のインゴット、及び単結晶薄板の一例を示す図である。
図1に示すスライス工程S1では、図2に示すように、単結晶インゴットCIを所望の結晶方位に沿って所定の厚さの円盤状の単結晶薄板CP1にスライス加工(スライス)する。スライス加工は、例えば、一定ピッチで並行する複数の極細ワイヤー列に被加工物を押し当て、ワイヤーを線方向に送りながら、被加工物とワイヤーとの間に砥粒を含む加工液(スラリーともいう)を供給することによって研磨切断する方式(以下「遊離砥粒方式」と称す場合もある)を用いたワイヤーソー(マルチワイヤーソーともいう、切断装置)等により行われる。スライス工程S1は、加工の効率の観点から、マルチワイヤーソー装置を用いて行うことが好ましい。なお、スライス工程S1によって生成する単結晶薄板CP1の大きさ、形状、及び厚さTは、特に限定されない。
酸処理工程S2について説明する。酸処理工程S2は、還元処理工程S3(還元処理)を行う前に、単結晶薄板CP1の表面を整える工程である。酸処理工程S2は、圧電性酸化物単結晶をスライス加工して生成された薄板状の単結晶薄板CP1に、フッ化水素酸と硝酸とを含む混酸等の単結晶薄板CP1をエッチングすることが可能な酸を用いて酸処理を施す工程である。
酸処理工程S2の次に、還元処理工程S3を行う。還元処理工程S3は、酸処理を施した単結晶薄板CP2を還元処理する工程である。
(単結晶育成工程~スライス工程)
コングルエント組成の原料を用いて、チョクラルスキー法で、LT単結晶の育成を行った。育成雰囲気は、酸素濃度約3%の窒素‐酸素混合ガスである。得られたLT単結晶のインゴットは透明な淡黄色であった。このLT単結晶のインゴットに対して、熱歪除去のための熱処理と単一分極とするためのポーリング処理を行った後、外周研削、スライス加工を行い、φ4インチ厚み0.3mm42°RY(Rotated Y axis)のLT単結晶薄板を得た。得られた42°RYのLT単結晶薄板は、無色透明であり、キュリー温度は603℃であった。基板表面の粗さRaは0.05μmであった。加工変質層の厚さ(深さ)を透過電子顕微鏡(TEM)によって観察(TEM観察と略す)し、1μm程度の厚さ(深さ)であることを確認した。
フッ化水素水溶液(濃度50%)と硝酸水溶液(濃度60%)を体積比で1:1となるように混合した混酸を酸処理液とし、前記スライス加工により得た単結晶薄板を浸漬した。酸処理の時間は12時間とした。酸処理は常温(20℃)で行った。酸処理後の単結晶薄板の表面粗さRaを測定し、表面粗さRaは0.09μmであった。
10重量%のアルミニウム粉末と90重量%の酸化アルミニウム粉末との混合粉で充填された容器内に上記酸処理を施した単結晶薄板を埋め込み、かつ、上記容器を加熱炉内に配置した後、LT単結晶のキュリー温度未満の580℃の温度で20時間熱処理し、本実施形態に係る圧電性酸化物単結晶基板を得た。
実施例1の酸処理時間を12時間から24時間に変更した以外は、実施例1と同様の条件により圧電性酸化物単結晶基板を製造した。
酸処理を実施しない以外は、実施例1と同様の条件により圧電性酸化物単結晶基板を製造した。
上記の実施例1~2及び比較例1より、本実施形態の方法を用いることで、還元処理工程の条件を変更せずに、還元度合いを向上させることができ、且つ、スライス工程により生じる基板の加工変質層を低減させることができることが確認された。
CP1、CP2:単結晶薄板
CX:圧電性酸化物単結晶基板(単結晶基板)
DL1、DL2:加工変質層
Claims (6)
- 圧電性酸化物単結晶基板の製造方法であって、
圧電性酸化物単結晶をスライス加工して生成された薄板状の単結晶薄板に、フッ化水素酸と硝酸とを含む混酸を用いて表面粗さRaを増加させる酸処理を施す酸処理工程と、
前記表面粗さRaを増加させた前記単結晶薄板を還元処理する還元処理工程と、を含む、圧電性酸化物単結晶基板の製造方法。 - 前記酸処理は、前記単結晶薄板の各面における表面粗さRaを0.08μm以上に増加させることを含む、請求項1に記載の圧電性酸化物単結晶基板の製造方法。
- 前記酸処理は、前記単結晶薄板の各面における加工変質層の厚さを0.6μm以下に減少させることを含む、請求項1又は2に記載の圧電性酸化物単結晶基板の製造方法。
- 前記単結晶薄板はタンタル酸リチウム単結晶薄板であり、
前記酸処理の時間は、10時間以上30時間以下である、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電性酸化物単結晶基板の製造方法。 - ワイヤソー装置により、粒子径が5μm以上20μm以下の砥粒を用いて前記圧電性酸化物単結晶をスライス加工し、各面における加工変質層の厚さが1.2μm以下の前記単結晶薄板を得るスライス工程を含む、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の圧電性酸化物単結晶基板の製造方法。
- 前記スライス工程は、各面における表面粗さRaが0.03μm以上0.06μm以下の前記単結晶薄板を得ることを含む、請求項5に記載の圧電性酸化物単結晶基板の製造方法。
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