JP7438171B2 - 供給タンク、供給装置、供給システム - Google Patents
供給タンク、供給装置、供給システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP7438171B2 JP7438171B2 JP2021148834A JP2021148834A JP7438171B2 JP 7438171 B2 JP7438171 B2 JP 7438171B2 JP 2021148834 A JP2021148834 A JP 2021148834A JP 2021148834 A JP2021148834 A JP 2021148834A JP 7438171 B2 JP7438171 B2 JP 7438171B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- processing liquid
- partition plate
- pipe
- supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 239
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 95
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 81
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 17
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67075—Apparatus for fluid treatment for etching for wet etching
- H01L21/6708—Apparatus for fluid treatment for etching for wet etching using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67109—Apparatus for thermal treatment mainly by convection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67248—Temperature monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
Description
基板処理装置100は、例えば半導体ウェーハやガラスなどの基板Wに対して処理液を供給し、エッチングを行う枚葉式の基板処理装置である。基板処理装置100は、基板Wを保持及び回転させる回転駆動部101と、基板Wに処理液を供給する処理液供給部102と、基板Wに供給された処理液を回収する処理液回収部103と、を備える。
供給装置1は、基板処理装置100から回収したエッチング後の処理液を加熱し、再び基板処理装置100に供給する供給装置である。供給装置1は、基板処理装置100の処理液回収部103からエッチング後の処理液を回収する回収配管である配管Cと、配管Cに接続され、配管Cが回収した処理液を貯留する供給タンク10と、供給タンク10に接続され、供給タンク10から基板処理装置100の処理液供給部102に処理液を供給する供給配管である配管Sと、を備える。
上記のような構成の供給装置1の動作を説明する。前提として、基板処理装置100において、処理液供給部102が基板Wに対して処理液を吐出し、このエッチング後の処理液が、処理液回収部103の開口から配管Cに回収される。配管Cに回収された処理液は、供給装置1の供給タンク10に導入される。より詳細には、供給タンク10の第1の領域R1に導入される。第1の領域R1に導入された処理液は、その一部が第1の仕切り板111の開口11aを介して隣接する第2の領域R2に流れる。一方で、第1の領域R1に導入された処理液の大部分は、ポンプP1により、第1の領域R1の底部に接続された配管Pから吸い出される。吸い出された処理液は、ポンプP1の下流側に設けられたヒータH1により、所定の温度を目標に加熱される。
(1)本実施形態の供給タンク10は、基板処理装置100に処理液を供給する供給タンク10であって、処理液を貯留する容器10aと、容器10aを、処理液が導入される第1の領域R1と、基板処理装置100に処理液を供給する第2の領域R2とに仕切る第1の仕切り板111と、第2の領域R2に、第1の領域R1に導入された処理液を送り出す配管Pと、配管Pの経路上に設けられ、処理液を加熱するヒータH1と、を備える。このように、本実施形態の供給タンク10においては、処理液が導入される第1の領域R1とは異なる第2の領域R2に、ヒータH1により加熱した処理液を貯留し、この第2の領域R2から基板処理装置100に処理液を供給する。すなわち、第1の仕切り板111により第1の領域R1の処理液からの熱が遮断されているので、基板処理装置100に供給する第2の領域R2の処理液の液温を安定させることが出来る。従って、基板処理装置100に供給する直前で処理液を加熱するヒータH2の出力を大きく変動させる必要が無く、出力がほぼ一定となるような制御を行えば良いため、制御が容易である。さらに、第2の領域R2の処理液は、一度ヒータH1により加熱されているので、第1の領域R1の処理液に比して液温が高くなっている。これにより、ヒータH2は、比較的少ない出力で処理液を所定の温度まで加熱することが出来る。
本実施形態は、上記の態様に限定されるものではなく、以下のような変形例も構成可能である。例えば、配管P、SにそれぞれポンプP1、P2を設けたが、配管C、N、Rにもそれぞれポンプを設けても良い。さらに、配管Nは、第1の領域R1に接続されるものとしたが、予め加熱した状態で供給タンク10に導入出来るのであれば、第2の領域R2に接続しても良い。この場合、配管Nにもヒータを設けても良い。
以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。
101 回転駆動部
102 処理液供給部
103 処理液回収部
10 供給タンク
10a 容器
11、111、112、113 仕切り板
11a 開口
C、N、P、Q、R、S 配管
H1、H2 ヒータ
P1、P2、P3 ポンプ
R1、R2、R3、R4、R5、R6 領域
TH タンク内ヒータ
W 基板
Claims (10)
- 基板処理装置に処理液を供給する供給タンクであって、
前記処理液を貯留する容器と、
前記容器を、前記処理液が導入される第1の領域と、前記基板処理装置に前記処理液を供給する第2の領域とに仕切る第1の仕切り板と、
前記第2の領域に、前記第1の領域に導入された前記処理液を送り出す第1の配管と、
前記第1の配管の経路上に設けられ、前記処理液を加熱する第1のヒータと、
を備え、
前記第1の仕切り板は、前記第1の領域と前記第2の領域とを連通させ、前記処理液が流れる開口を備える供給タンク。 - 前記第2の領域を、前記第1の配管により送り出された前記処理液が導入される第3の領域と、前記基板処理装置に前記処理液を供給する第4の領域とに仕切る第2の仕切り板を更に備え、
前記第2の仕切り板は、前記第3の領域と前記第4の領域とを連通させ、前記処理液が流れる開口を備える、
請求項1に記載の供給タンク。 - 前記第1の仕切り板の開口は、前記第1の仕切り板の端部が接続される前記容器の一側面側に設けられ、
前記第2の仕切り板の開口は、前記容器の前記一側面に対向する他側面側に設けられる、
請求項2に記載の供給タンク。 - 前記第1の配管の流入口は、前記第1の領域において、前記第1の仕切り板の開口の近傍に設けられる、
請求項1乃至3のいずれかに記載の供給タンク。 - 前記第1の配管の流出口は、前記第2の領域において、前記第1の仕切り板の開口の近傍に設けられる、
請求項1乃至4のいずれかに記載の供給タンク。 - 前記第4の領域を、前記第2の仕切り板の開口を介して前記第3の領域と連通している第5の領域と、前記基板処理装置に前記処理液を供給する第6の領域とに仕切る第3の仕切り板と、
前記第6の領域に、前記第5の領域の前記処理液を送り出す第2の配管と、
を更に備え、
前記第3の仕切り板には、前記第6の領域から前記第5の領域に前記処理液が流れる開口が設けられておらず、
前記第3の仕切り板の上端は、前記第5の領域の前記処理液の液面よりも高い位置であって、前記容器の側面の上端よりも低い位置に設けられる、
請求項2または3に記載の供給タンク。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の供給タンクと、
前記基板処理装置に、前記第2の領域の前記処理液を供給する供給配管と、
前記供給配管の経路上に設けられ、前記処理液を加熱する第2のヒータと、
を備える供給装置。 - 前記供給配管から分岐して設けられ、前記容器に前記処理液を導入するリターン配管を更に備える、
を備える請求項7に記載の供給装置。 - 請求項7または8に記載の供給装置と、
前記処理液により基板を処理する基板処理装置と、
前記基板処理装置から前記基板を処理した後の処理液を回収し、前記容器の前記第1の領域に導入する回収配管と、
を備える供給システム。 - 前記回収配管は、前記容器において、前記第1の仕切り板の開口が設けられる側の一側面に対向する他側面側に設けられる、
請求項9に記載の供給システム。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021148834A JP7438171B2 (ja) | 2021-09-13 | 2021-09-13 | 供給タンク、供給装置、供給システム |
KR1020220109876A KR102658584B1 (ko) | 2021-09-13 | 2022-08-31 | 공급 탱크, 공급 장치, 공급 시스템 |
CN202211077714.3A CN115810561A (zh) | 2021-09-13 | 2022-09-05 | 供给罐、供给装置、供给系统 |
TW111134078A TWI814577B (zh) | 2021-09-13 | 2022-09-08 | 供給罐、供給裝置、供給系統 |
TW112128057A TW202349545A (zh) | 2021-09-13 | 2022-09-08 | 供給罐、供給裝置、供給系統 |
US17/942,520 US20230077617A1 (en) | 2021-09-13 | 2022-09-12 | Supply tank, supply device and supply system |
KR1020240047209A KR20240049263A (ko) | 2021-09-13 | 2024-04-08 | 공급 탱크, 공급 장치, 공급 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021148834A JP7438171B2 (ja) | 2021-09-13 | 2021-09-13 | 供給タンク、供給装置、供給システム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023041453A JP2023041453A (ja) | 2023-03-24 |
JP2023041453A5 JP2023041453A5 (ja) | 2023-06-08 |
JP7438171B2 true JP7438171B2 (ja) | 2024-02-26 |
Family
ID=85479813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021148834A Active JP7438171B2 (ja) | 2021-09-13 | 2021-09-13 | 供給タンク、供給装置、供給システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230077617A1 (ja) |
JP (1) | JP7438171B2 (ja) |
KR (2) | KR102658584B1 (ja) |
CN (1) | CN115810561A (ja) |
TW (2) | TWI814577B (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030168088A1 (en) | 2001-12-04 | 2003-09-11 | Kaori Watanabe | Chemical solution treatment apparatus for semiconductor substrate |
JP2014130954A (ja) | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および薬液回収方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007258462A (ja) | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP5173500B2 (ja) | 2008-03-11 | 2013-04-03 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 処理液供給装置およびそれを備えた基板処理装置 |
CN102356454B (zh) * | 2009-03-31 | 2014-03-26 | 栗田工业株式会社 | 蚀刻液的处理装置以及处理方法 |
KR101344915B1 (ko) * | 2011-10-31 | 2013-12-26 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 약액 재생 방법 |
US10510527B2 (en) * | 2013-02-01 | 2019-12-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Single wafer cleaning tool with H2SO4 recycling |
CN105339183B (zh) * | 2013-03-15 | 2018-11-09 | 东京毅力科创Fsi公司 | 用于提供加热的蚀刻溶液的系统 |
JP6302708B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2018-03-28 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ウェットエッチング装置 |
JP6022431B2 (ja) | 2013-10-17 | 2016-11-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置及び基板液処理方法 |
JP2019192863A (ja) | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2021034561A (ja) | 2019-08-23 | 2021-03-01 | キオクシア株式会社 | 半導体製造装置 |
-
2021
- 2021-09-13 JP JP2021148834A patent/JP7438171B2/ja active Active
-
2022
- 2022-08-31 KR KR1020220109876A patent/KR102658584B1/ko active IP Right Grant
- 2022-09-05 CN CN202211077714.3A patent/CN115810561A/zh active Pending
- 2022-09-08 TW TW111134078A patent/TWI814577B/zh active
- 2022-09-08 TW TW112128057A patent/TW202349545A/zh unknown
- 2022-09-12 US US17/942,520 patent/US20230077617A1/en active Pending
-
2024
- 2024-04-08 KR KR1020240047209A patent/KR20240049263A/ko active Application Filing
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030168088A1 (en) | 2001-12-04 | 2003-09-11 | Kaori Watanabe | Chemical solution treatment apparatus for semiconductor substrate |
JP2014130954A (ja) | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および薬液回収方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20230077617A1 (en) | 2023-03-16 |
KR102658584B1 (ko) | 2024-04-17 |
JP2023041453A (ja) | 2023-03-24 |
TWI814577B (zh) | 2023-09-01 |
TW202349545A (zh) | 2023-12-16 |
CN115810561A (zh) | 2023-03-17 |
KR20240049263A (ko) | 2024-04-16 |
TW202312325A (zh) | 2023-03-16 |
KR20230039532A (ko) | 2023-03-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104934350B (zh) | 基板处理装置以及使用基板处理装置的基板处理方法 | |
US9348340B2 (en) | Liquid processing apparatus | |
KR102301023B1 (ko) | 기판 액처리 장치 및 기판 액처리 방법 | |
CN108987309B (zh) | 基片液处理装置、处理液供给方法和存储介质 | |
US20150020968A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
KR102381166B1 (ko) | 기판액 처리 장치, 기판액 처리 방법 및 기억 매체 | |
JP5313647B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
US20200312682A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
KR102228490B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 액 공급 장치 | |
JP7438171B2 (ja) | 供給タンク、供給装置、供給システム | |
JP7438172B2 (ja) | 供給装置、供給システム | |
KR102134949B1 (ko) | 처리액 공급 장치, 기판 처리 장치, 및 처리액 공급 방법 | |
TW201940243A (zh) | 基板處理裝置以及基板處理方法 | |
TWI766921B (zh) | 液體處理裝置及液體處理方法 | |
KR101987810B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP6952860B2 (ja) | 基板処理装置、および基板処理方法 | |
WO2021015045A1 (ja) | 基板処理装置、及び基板処理方法 | |
TWI820233B (zh) | 基板處理裝置之控制裝置及基板處理裝置之控制方法 | |
CN114678292A (zh) | 基片处理装置和基片处理方法 | |
KR20240044625A (ko) | 불활성 기체의 안정화 공급장치 | |
TW202316544A (zh) | 基板處理裝置 | |
TW202336905A (zh) | 處理液供給裝置、基板處理裝置以及處理液供給方法 | |
KR20090056354A (ko) | 반도체 제조 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230531 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7438171 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |