JP7433175B2 - ワーク撮像装置およびワーク撮像方法 - Google Patents
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Description
35 第1撮像手段
36 第2撮像手段
39 距離画像作成手段
40 算出手段
41 調整手段
45 第1撮像工程
47 距離画像作成工程
48 算出工程
49 調整工程
50 第2撮像工程
W ワーク
Claims (9)
- ワークを撮像するワーク撮像装置であって、
ワークのフォーカスの異なる画像を複数撮像する第1撮像手段と、
少なくともフォーカス移動が可能である第2撮像手段と、
前記第1撮像手段の複数の画像からワークの全焦点画像を作成する全焦点画像作成手段と、
前記第1撮像手段にて撮像されたフォーカスの異なる複数の画像から距離画像を作成する距離画像作成手段と、
前記全焦点画像作成手段にて作成された全焦点画像と前記距離画像作成手段にて作成された距離画像とに基づいて前記第2撮像手段のフォーカス調整位置を算出する算出手段と、
前記第2撮像手段のフォーカス位置を、前記算出手段にて算出されたフォーカス調整位置とする調整手段と、を備え、
前記第1撮像手段で前記ワークの撮像が可能な状態と、前記第2撮像手段で前記ワークの撮像が可能な状態と、に前記第1・第2撮像手段側と前記ワーク側との相対的な移動が可能とされ、
前記第2撮像手段にて前記ワークの撮像が可能な状態で、前記調整手段にて前記フォーカス調整位置に調整した前記第2撮像手段にて前記ワークを撮像することを特徴とするワーク撮像装置。 - フォーカス位置移動方向と直交する平面内の第1撮像手段及び第2撮像手段とワークとの相対的な移動を行う移動手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載のワーク撮像装置。
- 前記移動手段には、第1撮像手段及び第2撮像手段とワークとの相対的なフォーカス位置移動方向の移動を行うフォーカス位置移動機能を含むことを特徴とする請求項2に記載のワーク撮像装置。
- 前記第2撮像手段による撮像は1回の撮影であることを特徴とする請求項1~請求項3のいずれか1項に記載のワーク撮像装置。
- 前記第2撮像手段による撮像はフォーカス移動量を限定した複数枚撮影であることを特徴とする請求項1~請求項3のいずれか1項に記載のワーク撮像装置。
- 第2撮像手段は、光学系が相違する複数機を備えることを特徴とする請求項1~請求項5のいずれか1項に記載のワーク撮像装置。
- 前記ワークは電子デバイスであることを特徴とする請求項1~請求項6のいずれか1項に記載のワーク撮像装置。
- ワークのフォーカスの異なる画像を複数撮像する第1撮像手段を用いる第1撮像工程と、少なくともフォーカス移動が可能である第2撮像手段を用いる第2撮像工程とを行って、ワークを検査するワーク撮像方法であって、
前記第1撮像手段にて撮像された複数の画像からワークの全焦点画像を作成する全焦点画像作成工程と、
前記第1撮像手段にて撮像されたフォーカスの異なる複数の画像から距離画像を作成する距離画像作成工程と、
前記全焦点画像作成工程にて作成された全焦点画像と前記距離画像作成工程にて作成された距離画像とに基づいて前記第2撮像手段のフォーカス調整位置を算出する算出工程と、
前記第2撮像手段のフォーカス位置を、前記算出工程にて算出された前記フォーカス調整位置に制御する調整工程と、を備え、
前記第1撮像手段でワークの撮像が可能な状態と、前記第2撮像手段で前記ワークの撮像が可能な状態と、に前記第1・第2撮像手段側と前記ワーク側との相対的な移動が可能とされ、
前記調整工程にて前記フォーカス調整位置に調整した前記第2撮像手段が前記ワークを撮像する第2撮像工程を行うことを特徴とするワーク撮像方法。 - 前記ワークが、接続部位にボンディングされたボンディングワイヤであることを特徴とする請求項8に記載のワーク撮像方法。
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