JP5099704B2 - 高さを測定する方法及び高さ測定装置 - Google Patents
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Description
特許文献3には、共焦点用微小開口を介して照明光を被検物に照射し共焦点用微小開口を通過した被検物からの反射光を焦点位置の異なる複数の位置において検出したデータを処理して高さや形状測定を行うことについて記載されている。
特許文献5には、XYテーブル上に保持された被検査基板の外観検査を行う実装基板外観検査装置における高さ測定回路について記載されている。
特許文献6には、波長の異なる2種類の光束が対象物に関して異なる集光位置をもつようにし合成して対象物に照射し、対象物からの反射光を分離して検出し、両反射光の強度の比率に基づいて対象物の高さを求めることについて記載されている。
特許文献4のような計測ビームと参照ビームの干渉によるものでは、測定精度を高くすることはできるが、そのための光学系や信号処理回路が複雑で大規模のものになり、やはりスループットを高くできない。
特許文献6に記載のものでは高い測定精度を得ることが期待されるが、それに応じて集光位置調整等に関する測定装置の各構成要素も精度高いものとすることが避けられず、測定の過程を合理的にし、簡易な構成のものとする上では実際的な利用可能性は少ないものとなる。
初めに本発明による高さ測定の原理について説明する。本発明による高さの測定は概略的にはナイフエッジ法と三角測量法を組み合わせたものであり、写真撮影で自動合焦を行う際の位相差検出と同様の光学的手段を利用して高さの測定を行う。
フィルター付マスクMの窓部におけるフィルターF1,F2の平面形状は図3(b)で円形としているが、図3(b)のように矩形としてもよく、あるいは同形、同大であれば他の形状でもよい。
例えば、f=5mmで1倍の光学系とすると、a=b=10mmとなり、D=2mm、Δa=0.1mmとすると、d=20μmとなる。撮像素子CCDの画素の幅を5μmとすると、4画素分のずれに相当する。
図1,2に示す測定原理を用いて微小高さを測定するための高さ測定装置の構成は図4に示すようになる。図4において、1は基台であり、2は対象物としての試料Sを載置するステージであり、基台に備えられるステージ駆動手段3により上下に微細駆動されるようにしてある。ステージ駆動手段としては、パルスモータによるもの、あるいはピエゾ効果によるもの等が用いられる。
レンズが固定焦点距離のものであっても、撮像部の設置位置を変えて対象物との位置関係が変われば、撮像倍率が変化しa,bの値が変わってくるので、換算係数としては異なってくる。
2 載置ステージ
3 ステージ駆動手段
4 支柱
5 腕部
5a ロック用ノブ
6 撮像部
7 レンズ鏡胴
8,L 撮像用レンズ
9 フィルター付マスク
10 解析処理部
M フィルター付マスク
F1 フィルター
F2 フィルター
S 試料(対象物)
Claims (4)
- 上下方向に移動調節可能な載置ステージ上に載置された対象物を撮像して得られた画像の処理を行うことにより該対象物における基準表面からの凸部の高さまたは凹部の深さを測定する方法であって、
前記上下に移動可能な載置ステージ上に対象物を載置することと、
光軸に関して対称的に配設された1対の窓部にそれぞれ異なる色のフィルターが設けられてなり該フィルター以外の部分が遮光性であるフィルター付マスクを含む撮像光学系と撮像素子とを備えた撮像装置を前記載置ステージに対して固定され上方から対象物を撮像可能な状態に配置することと、
前記載置された対象物の基準表面に対して合焦するように前記撮像装置の撮像光学系を調節することと、
前記対象物の基準表面に対して合焦した状態で対象物を撮像して得られた画像における対象物の凸部または凹部についての異なる色で分離した像の重心位置の間隔を算出するとともに撮像時の状態での撮影光学系に関して予め求められた前記分離した像の重心位置の間隔と凸部の高さまたは凹部の深さとの比例関係を表す換算係数と前記算出された分離した像の重心位置の間隔とから対象物の基準表面に対する凸部の高さまたは凹部の深さを算出することと、
からなることを特徴とする高さを測定する方法。 - 前記分離した像の重心位置の間隔と凸部の高さまたは凹部の深さとの比例関係を表す換算係数を求めるに際し、前記載置ステージ面上に識別部を付設しておき、配置された撮像装置により対象物を載置しない状態で載置ステージ面に焦点を合わせた状態で載置ステージを上下に移動させて載置ステージ面を撮像し、得られた画像における前記載置ステージ上の識別部についての異なる色で分離した像の重心位置の間隔と前記載置ステージの移動距離との関係を検量線として求めることにより換算係数を算出するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の高さを測定する方法。
- 上下方向に移動調節可能な載置ステージと、
光軸に関して対称的に配設された1対の窓部にそれぞれ異なる色のフィルターが設けられてなり該フィルター以外の部分が遮光性であるフィルター付マスクを含む撮像光学系と撮像素子とを備え前記載置ステージに対して固定され上方から前記載置ステージ上に載置された対象物を撮像可能な状態に配置された撮像装置と、
前記撮像装置により撮像された前記載置ステージ上に載置された対象物の画像について解析処理を行って対象物における凸部の高さまたは凹部の深さを算出する解析処理部と、
を備えてなり、前記解析処理装置は前記載置ステージ上に載置された対象物の基準表面に対して合焦した状態で対象物を撮像して得られた画像における対象物の凸部または凹部についての異なる色で分離した像の重心位置の間隔を算出するとともに撮像時の状態での撮像光学系に関して予め求められた前記分離した像の重心位置の間隔と凸部の高さまたは凹部の深さとの比例関係を表す換算係数と前記算出された分離した像の重心位置の間隔とから対象物における基準表面からの凸部の高さまたは凹部の深さを算出するようにしたことを特徴とする高さ測定装置。 - 前記分離した像の重心位置の間隔と凸部の高さまたは凹部の深さとの比例関係を表す換算係数は、前記載置ステージ面上に識別部を付設しておき、配置された撮像装置により対象物を載置しない状態で載置ステージ面に焦点を合わせた状態で載置ステージを上下に移動させて載置ステージ面を撮像し、得られた画像における前記載置ステージ上の識別部についての異なる色で分離した像の重心位置の間隔と前記載置台の移動距離との関係を検量線として求めることにより算出されたものであることを特徴とする請求項3に記載の高さ測定装置。
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