JP7406503B2 - 炭素含有コーティングにより基板をコーティングするための装置 - Google Patents
炭素含有コーティングにより基板をコーティングするための装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7406503B2 JP7406503B2 JP2020560457A JP2020560457A JP7406503B2 JP 7406503 B2 JP7406503 B2 JP 7406503B2 JP 2020560457 A JP2020560457 A JP 2020560457A JP 2020560457 A JP2020560457 A JP 2020560457A JP 7406503 B2 JP7406503 B2 JP 7406503B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- heat transfer
- substrate
- gas
- reactor housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 77
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 20
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 8
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title claims description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 76
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 38
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 38
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims description 7
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 4
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/46—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for heating the substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/26—Deposition of carbon only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
- C23C16/4409—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber characterised by sealing means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45502—Flow conditions in reaction chamber
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/46—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for heating the substrate
- C23C16/463—Cooling of the substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/52—Controlling or regulating the coating process
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
- C23C16/545—Apparatus specially adapted for continuous coating for coating elongated substrates
Description
本発明のさらなる構成において、特に、金属板からなる熱伝達抑制手段がスリットを有することが提供される。それは、熱伝達抑制手段の縁部に開口した狭いスリットとすることができる。スリットは、金属板からなる熱伝達抑制手段の材料の厚さにほぼ対応するスリット幅を有することができる。熱伝達抑制手段は、特に、円弧ライン上に延在する輪郭を有することができる。少なくとも入口領域及び/又は出口領域が、同様に円形の輪郭を有する。好ましくは、入口領域及び出口領域が、リアクタのキャビティ全体を通って延在しその中間領域でプロセスゾーンを形成する内管(ライナーパイプ)の端部断面によって形成される。後者は、加熱コイルによって形成された加熱装置により囲まれることができる。入口領域又は出口領域に配置された熱伝達の阻止のための手段も、加熱コイルにより囲まれることができる。それに替えて、これらの手段が冷却コイルで囲まれることもできる。
本発明のさらなる構成において、熱伝達抑制手段が、ロッド又は管のための貫通孔を形成することが提供される。それらは、ロッド又は管に対して変位することができる。少なくとも1つの管は、ガス入口の管及び/又はガス出口の管とすることができる。熱伝達抑制手段は、2つの部材から構成することができる。その場合、2つの好ましくは半円形の形状の手段の間にスリットが残り、それを通って基板が搬送される。
本発明のさらなる構成において、複数の、少なくとも2つの、好ましくは3つ又は4つの熱伝達抑制手段が、搬送方向において互いに前後して配置されることが提供される。このように、熱伝達抑制手段のために特に金属板反射体から形成された手段は、例えばスペーサスリーブなどのスペーサ手段によって互いに離間して保持することができる。スペーサスリーブは、管上に配置することができる。しかしながら、スペーサスリーブは、熱伝達抑制手段がリアクタ内で変位可能に配置されているロッド上にも配置することができる。さらに、熱伝達抑制手段が異なる表面積を有し、特に入口領域又は出口領域の異なる断面を充填することを提供できる。その場合、入口開口又は出口開口から最も遠い位置に、より小さい断面を有する少なくとも1つの熱伝達抑制手段が配置されている。
熱伝達抑制手段が、十字形の形状を有することが提供できる。十字形に形成された熱伝達抑制要素は、好ましくは、熱伝達抑制手段の中心から径方向に突出している4つのセクションを有する。この中心は、搬送方向に対して垂直に延在する中心線から形成される。この中心線から2つの平板体が一方の広い側にV字状に突出することができる。反対側に位置する広い側にも、中心線から2つの平板体がV字状に突出することができる。特に、搬送方向に斜めに突出する2つの平板体と、搬送方向とは反対側に突出する2つの平板体とが形成されている。熱伝達抑制手段は、2つの互いに接続された平板体から構成される部分であってもよい。頂点ラインで折り曲げられた2つの平板体の各々が、頂点ラインで互いに接続されることが提供できる。その場合、頂点ラインは、基板を通過させるためのスリットを画定する。さらに、2つの平板体が接続ブリッジによって互いに接続されており、その場合、接続ブリッジが、基板を通過させるためのスリットを画定することが提供される。
独立した意義を有する本発明のさらなる構成では、リアクタハウジング内に配置され、好ましくは入口開口又は出口開口に直接接続するガイド要素が提供される。それらは、搬送方向に平行に向けられたロッドとすることができる。それらのロッドは、それらの間に、基板が通過するガイドスリットを残している。基板の両側の各々に、複数の、好ましくは3つのロッドを配置することができる。それらのロッドは、セラミック材料を用いることができる。
本発明の好ましい実施形態では、ガイド要素が、熱伝達抑制手段により保持される。このために、熱伝達抑制手段が、ガイド要素を保持する孔又は同等のものを有することができる。熱伝達を抑制するための最後の、特に入口開口又は出口開口から離れた手段が、ガイド要素の端部が位置する手前に停止面を形成することを提供できる。ガイド要素における反対側の第2の端部は、別の、好ましくは熱伝達を抑制するための第1の手段又は閉鎖板によって支持されることができる。
本発明のさらなる構成において、入口領域又は出口領域の閉鎖板に隣接するゾーンが不活性ガスでフラッシングされることが提供される。この対策では、プロセスガスが入口開口又は出口開口から逃げることをかなりの程度まで防止することが意図されている。さらなる構成では、リアクタが鉛直配置で稼動されることが提供される。この変形形態では、入口開口と出口開口が、基板が鉛直方向に連続的にリアクタハウジングを通って搬送されるように鉛直方向に互いに離間している。基板は、好ましくは、下方からリアクタ内に導入され、そして上方から取り出される。これは、ガイドローラを用いて行うことができる。同様に、リアクタの上面にガス出口が設けられるように、ガス入口は好ましくは下からである。したがって、リアクタ内のガス流は、片面又は両面にコーティングすることができる基板の搬送方向に対して平行になる。
2 基板
3、3’ コイル
4、4’ ガイドローラ
5 プロセスゾーン
5’ 入口領域
5” 出口領域
6 ガス入口
6’ ガス供給ライン
7 ガス出口
7’ ガス排出ライン
8、8’ 加熱コイル
9 ライナーパイプ
10 拡散バリア
11 ガイド要素
12 入口開口
12’ 出口開口
13 閉鎖板
14 第4反射板、頂点要素
14’ 頂点ライン
15 第3反射板、頂点要素
15’ 頂点ライン
16 第2反射板
17 第1反射板
18 スペーサスリーブ
19 スリット
20 切欠き
21 孔
22 孔、貫通孔
23 スロット
24 接続ブリッジ
25 ロッド
26 ガスフラッシングゾーン
110、110’、111、111’ スリット境界画定体
112 スリット
113、113’ 閉鎖板
114、114’ ベース本体
115、115’ スリット壁(ガス出口面)
116、116’ ガス放出孔
117、117’ ガス分配室
118、118’ シールコード
119、119’ 環状溝
120、120’ カバー
121、121’、122、122’ 傾斜面
123 調整螺子
124、124’ ガス供給管
125、125’ 固定螺子
126、126’ 長孔
127、127’、128、128’ 螺子付き孔、内螺子山
129 凹部
130、130’ 結合部材
w、w’ スリット幅
S スリット延在方向
Claims (15)
- 入口開口(12)を通ってリアクタハウジング(1)に入りかつ出口開口(12’)を通ってリアクタハウジング(1)から出る帯形状の連続した基板(2)上に、グラフェン、カーボンナノチューブ又はその他の、炭素を含むコーティングを堆積させるための装置であって、前記基板は、前記入口開口(12)から、リアクタハウジング(1)内に配置され温度制御装置(8)により温度制御されるプロセスゾーン(5)を通って出口開口(12’)まで搬送方向に搬送され、前記プロセスゾーン(5)と前記入口開口(12)及び/又は前記出口開口(12’)との間に熱伝達抑制手段(14、15、16、17)が配置されており、前記熱伝達抑制手段により前記プロセスゾーン(5)から前記入口開口(12)又は前記出口開口(12’)への熱伝達が低減される、前記装置において、
前記熱伝達抑制手段(14、15、16、17)が、金属板及び/又は反射体として、前記搬送方向に対して垂直に又は傾斜して延在する平板体を形成し、
前記熱伝達抑制手段(14、15、16、17)が、ロッド(11,25)又は管(6、7)が貫通するスロット(23)及び/又は孔(22)を有することを特徴とする装置。 - 前記熱伝達抑制手段(14、15、16、17)が、平板体の形状を有する反射体であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記熱伝達抑制手段(14、15、16、17)が配置され前記プロセスゾーン(5)に隣接する入口領域(5’)又は出口領域(5”)の自由断面の75%以上、好ましくは80%以上又は90%以上を充填する断面を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の装置。
- 前記熱伝達抑制手段(14、15、16、17)が、前記ロッド(11)又は前記管(6、7)上で変位可能に取り付けられるように、かつ/又は、ガス入口の管(6)又はガス出口の管(7)により貫通されるように、かつ/又は、前記基板(2)を通過させるためのスリット(19)を間に残した2つの部材からなるように、前記スロット(23)及び/又は孔(22)が構成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の装置。
- 複数の熱伝達抑制手段(14、15、16、17)が、搬送方向において互いに前後して配置され、かつ/又は、スペーサ手段により互いに離間されており、かつ/又は、互いに異なる大きさの反射板を有することを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の装置。
- 1又は複数の熱伝達抑制手段(14、15、16、17)が、円形を形成する1又は複数の部材からなる平板体であり、かつ/又は、十字形を形成する平板体であり、かつ/又は、頂点ライン(14’、15’)を中心に折り曲げられた2つの平板体(14、15)から形成されそれらの平板体(14、15)は基板(2)を通過させるためのスリット(19)を形成して前記頂点ライン(14’、15’)上で互いに接続されること、及び/又は、2つの平板体(14、15)が基板(2)を通過させるためのスリット(19)を形成するために接続ブリッジ(24)により互いに接続されることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の装置。
- 前記リアクタハウジング(1)内で入口領域(5’)及び/又は出口領域(5”)において基板(2)を案内するために配置されたガイド要素(11)を有することを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の装置。
- 前記基板(2)を案内するためのガイド要素(11)が、前記リアクタハウジング(1)のキャビティ内において前記入口開口(12)又は前記出口開口(12’)に隣接して延在することを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載の装置。
- 前記ガイド要素(11)が、熱伝達抑制手段(14、15、16、17)の2つの部材の間のスリット(19)に隣接して配置され、かつ/又は、熱伝達抑制手段(14、15、16、17)により担持され、かつ/又は、熱伝達抑制手段(14、15、16、17)の第2の孔(21)を通って保持されることを特徴とする請求項7又は8に記載の装置。
- 第1のコイル(3)から引き出されて第2のコイル(3’)に巻き取られかつ前記プロセスゾーン(5)を通って連続的に搬送される基板(2)が通過するスリット状の前記入口開口(12)及び/又はスリット状の前記出口開口(12’)が、不活性ガスによりフラッシングされることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記リアクタハウジング(1)が、円筒形の外形を有しかつ前記入口開口(12)及び/又は前記出口開口(12’)が前記リアクタハウジング(1)の端面のうちの1つに配置されていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記リアクタハウジング(1)を通る前記基板(2)の搬送方向が鉛直方向であること、及び/又は、前記基板(2)が前記リアクタハウジング(1)の下面に配置された入口開口(12)を通って前記リアクタハウジング(1)に入りかつ/又は前記リアクタハウジング(1)の上面に配置された出口開口(12’)にて前記リアクタハウジング(1)から出ること、及び/又は、下方から上方へプロセスチャンバ(5)を通ってガス流が向けられるようにガス入口(6)及びガス出口(7)が前記リアクタハウジング(1)のキャビティの入口領域(5’)及び/又は出口領域(5”)に配置されていることを特徴とする請求項1~11のいずれかに記載の装置。
- 前記入口開口(12)又は前記出口開口(12’)が、調整可能なスリット幅(w)をもつスリット(112)を形成し、前記スリット幅(w)が2つのスリット境界画定体(110、110’)の距離により決定され、前記2つのスリット境界画定体(110、110’)が、傾斜面(121、122)上に互いに載置され、かつ、前記スリット幅(w)を調整するために前記傾斜面(121、122)の傾斜方向に変位可能であることを特徴とする請求項1~12のいずれかに記載の装置。
- 前記スリット境界画定体(110、110’、111、111’)が、互いに同じ形状であることを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 前記スリット(112)の境界壁を形成する、前記スリット境界画定体(110、110’、111、111’)のベース本体(114、114’)の各々の面(115、115’)が、前記スリット(112)に開口するガス放出孔(116、116’)を有し、前記ガス放出孔(116、116’)が、前記スリット境界画定体(110、110’、111、111’)に配置されたガス分配室(117、117’)を前記スリット(112)と接続する孔により形成されるように設けられており、多数の前記ガス放出孔(116、116’)が前記面(115、115’)上にシャワーヘッドのように規則的な配置で分布するように設けられており、前記ガス放出孔(116、116’)が、搬送方向において隣合う複数の、少なくとも4つの列で配置されていることを特徴とする請求項13又は14に記載の装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102018110350.6 | 2018-04-30 | ||
DE102018110348.4A DE102018110348A1 (de) | 2018-04-30 | 2018-04-30 | Vorrichtung zum Herein- und Herausführen eines Substrates in beziehungsweise aus einer Substratbehandlungseinrichtung |
DE102018110350.6A DE102018110350A1 (de) | 2018-04-30 | 2018-04-30 | Vorrichtung zum Beschichten eines Substrates mit einer kohlenstoffhaltigen Beschichtung |
DE102018110348.4 | 2018-04-30 | ||
PCT/EP2019/061065 WO2019211280A2 (de) | 2018-04-30 | 2019-04-30 | Vorrichtung zum beschichten eines substrates mit einer kohlenstoffhaltigen beschichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021523979A JP2021523979A (ja) | 2021-09-09 |
JP7406503B2 true JP7406503B2 (ja) | 2023-12-27 |
Family
ID=66349574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020560457A Active JP7406503B2 (ja) | 2018-04-30 | 2019-04-30 | 炭素含有コーティングにより基板をコーティングするための装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210189565A1 (ja) |
EP (1) | EP3788180A2 (ja) |
JP (1) | JP7406503B2 (ja) |
KR (1) | KR20210002675A (ja) |
CN (1) | CN112567068B (ja) |
WO (1) | WO2019211280A2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005256075A (ja) | 2004-03-11 | 2005-09-22 | Jfe Steel Kk | 金属ストリップの連続式化学蒸着装置 |
JP2005533180A (ja) | 2002-07-17 | 2005-11-04 | ハイトコ カーボン コムポージッツ インコーポレイテッド | 連続的化学気相蒸着プロセス及び処理炉 |
WO2010087218A1 (ja) | 2009-01-28 | 2010-08-05 | 富士電機ホールディングス株式会社 | 可撓性基板の位置制御装置 |
JP2010248073A (ja) | 2008-04-16 | 2010-11-04 | Nippon Zeon Co Ltd | カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法 |
JP2011162877A (ja) | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Sungkyunkwan Univ Foundation For Corporate Collaboration | グラフィンロールトロールコーティング装置及びこれを用いたグラフィンロールトロールコーティング方法 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE610964C (de) * | 1935-03-20 | Emil Schulte | Absperrschieber | |
US3032890A (en) * | 1958-03-28 | 1962-05-08 | Continental Can Co | Sealing structures for treating chambers |
JP2975151B2 (ja) * | 1991-03-28 | 1999-11-10 | キヤノン株式会社 | 半導体素子の連続的製造装置 |
JPH06184747A (ja) * | 1992-12-21 | 1994-07-05 | Canon Inc | ガスゲート及び該ガスゲートを備えた真空処理装置 |
JP3571785B2 (ja) * | 1993-12-28 | 2004-09-29 | キヤノン株式会社 | 堆積膜形成方法及び堆積膜形成装置 |
US5772715A (en) * | 1997-01-17 | 1998-06-30 | Solar Cells, Inc. | System and method for processing sheet glass |
DE60027686T2 (de) * | 2000-01-24 | 2007-01-11 | Infineon Technologies Ag | Reaktor zur Herstellung einer Halbleiteranordnung |
JP3990867B2 (ja) * | 2000-01-31 | 2007-10-17 | キヤノン株式会社 | 堆積膜形成装置および堆積膜形成方法 |
KR100492769B1 (ko) * | 2001-05-17 | 2005-06-07 | 주식회사 엘지이아이 | 수직챔버를 구비한 플라즈마중합 연속처리장치 |
KR100426987B1 (ko) * | 2001-07-10 | 2004-04-13 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조용 종형의 저압화학기상증착 장치 |
DE10322935A1 (de) | 2003-05-21 | 2004-12-16 | Unaxis Deutschland Holding Gmbh | Mit einem Spalt versehene Trennwand zwischen zwei hintereinander angeordneten Prozesskammern |
US20060071384A1 (en) * | 2004-10-06 | 2006-04-06 | Advanced Display Process Engineering Co. Ltd. | Apparatus for manufacturing flat-panel display |
TWI328050B (en) * | 2005-05-10 | 2010-08-01 | Ulvac Inc | Reeling type plasma cvd device |
WO2009142019A1 (ja) * | 2008-05-21 | 2009-11-26 | パナソニック株式会社 | 薄膜の製造方法 |
CN102471065B (zh) | 2009-07-01 | 2014-03-26 | 日本瑞翁株式会社 | 取向碳纳米管集合体的制造装置 |
JP2011195397A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Hitachi Zosen Corp | カーボンナノチューブ形成用のcvd装置 |
KR102083961B1 (ko) | 2013-05-10 | 2020-03-03 | 엘지전자 주식회사 | 그래핀의 제조 장치, 제조 방법 및 그 그래핀 |
US20150140211A1 (en) * | 2013-11-19 | 2015-05-21 | Cvd Equipment Corporation | Scalable 2D-Film CVD Synthesis |
CN106414795A (zh) * | 2014-01-22 | 2017-02-15 | 应用材料公司 | 用于展开柔性基板的辊、用于对柔性基板进行处理的设备和其操作方法 |
DE102014106451B4 (de) | 2014-05-08 | 2018-09-20 | VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG | Vakuumkammergehäuse |
DE102014116991A1 (de) | 2014-11-20 | 2016-05-25 | Aixtron Se | CVD- oder PVD-Reaktor zum Beschichten großflächiger Substrate |
DE102015013799A1 (de) | 2015-10-26 | 2017-04-27 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten überlanger flächenhafter Substrate, insbesondere Glasscheiben, in einer Vakuum-Beschichtungsanlage |
-
2019
- 2019-04-30 CN CN201980040329.1A patent/CN112567068B/zh active Active
- 2019-04-30 KR KR1020207034303A patent/KR20210002675A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-04-30 JP JP2020560457A patent/JP7406503B2/ja active Active
- 2019-04-30 WO PCT/EP2019/061065 patent/WO2019211280A2/de unknown
- 2019-04-30 US US17/051,871 patent/US20210189565A1/en active Pending
- 2019-04-30 EP EP19720882.0A patent/EP3788180A2/de active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005533180A (ja) | 2002-07-17 | 2005-11-04 | ハイトコ カーボン コムポージッツ インコーポレイテッド | 連続的化学気相蒸着プロセス及び処理炉 |
JP2005256075A (ja) | 2004-03-11 | 2005-09-22 | Jfe Steel Kk | 金属ストリップの連続式化学蒸着装置 |
JP2010248073A (ja) | 2008-04-16 | 2010-11-04 | Nippon Zeon Co Ltd | カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法 |
WO2010087218A1 (ja) | 2009-01-28 | 2010-08-05 | 富士電機ホールディングス株式会社 | 可撓性基板の位置制御装置 |
JP2011162877A (ja) | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Sungkyunkwan Univ Foundation For Corporate Collaboration | グラフィンロールトロールコーティング装置及びこれを用いたグラフィンロールトロールコーティング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112567068A (zh) | 2021-03-26 |
WO2019211280A3 (de) | 2019-12-26 |
KR20210002675A (ko) | 2021-01-08 |
WO2019211280A2 (de) | 2019-11-07 |
US20210189565A1 (en) | 2021-06-24 |
JP2021523979A (ja) | 2021-09-09 |
EP3788180A2 (de) | 2021-03-10 |
CN112567068B (zh) | 2023-03-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20200087784A1 (en) | Atomic layer deposition chamber with counter-flow multi inject | |
US8394229B2 (en) | Susceptor ring | |
US20100116207A1 (en) | Reaction chamber | |
TWI388691B (zh) | 氣相沉積之二維孔陣列 | |
JP5227788B2 (ja) | 高速剥離下流チャンバ | |
US7127367B2 (en) | Tailored temperature uniformity | |
US6802906B2 (en) | Emissivity-change-free pumping plate kit in a single wafer chamber | |
KR101204527B1 (ko) | 박막형성용 분자공급장치 | |
TW555900B (en) | Gas inlet device | |
US20060027165A1 (en) | Heated gas box for PECVD applications | |
TW201407687A (zh) | 用於基板處理系統的氣體分配裝置 | |
JP7406503B2 (ja) | 炭素含有コーティングにより基板をコーティングするための装置 | |
JPWO2018199184A1 (ja) | 蒸発源及び成膜装置 | |
JP5964293B2 (ja) | 基板処理システムで使用するための窓アセンブリ | |
CN105861991A (zh) | 一种线性加热源 | |
TWI792279B (zh) | 成膜裝置及具有開口部的板 | |
CN111850515B (zh) | 用于外延反应腔室的衬里装置及外延反应腔室 | |
JP5924336B2 (ja) | 化学蒸着処理の原料ガス供給用ノズル | |
US20150093894A1 (en) | Semiconductor manufacturing apparatus, semiconductor manufacturing method, and process tube | |
US5891250A (en) | Injector for reactor | |
KR20030033062A (ko) | 화학증착(cvd)방법 및 장치를 위한 기체 유입 장치 | |
JP3099053B2 (ja) | 真空装置 | |
TW202012662A (zh) | 用於在真空腔室中蒸發沉積材料的蒸發源、用於蒸發沉積材料的系統以及用於操作蒸發源的方法 | |
US10950473B2 (en) | Heat source device and substrate processing apparatus including same | |
WO2020116521A1 (ja) | ガラス微粒子堆積体製造用バーナ、ガラス微粒子堆積体の製造装置および製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210215 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20210215 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220407 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230414 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230616 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231115 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7406503 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |