JP7397169B2 - 光ファイバ母材の製造方法および加熱炉 - Google Patents
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 21
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 11
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 10
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 13
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 4
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 3
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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Description
本願は、2020年3月25日に日本に出願された特願2020-054118号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
図1に示すように、加熱炉1は、炉心管2と、ヒータ3と、収容室4と、差圧計5と、排気路6と、絞り弁7と、開閉弁8と、制御部9と、供給路10と、を備える。
差圧計5は、炉心管2および収容室4に接続されており、炉心管2の内圧P1と収容室4の内圧P2との差圧ΔP(=P1-P2)を測定するように構成されている。
次に、供給路10から不活性ガスを供給しながら、ヒータ3によって未処理母材Mを加熱する。これにより、未処理母材Mはその下部から上部に向かって徐々に加熱され、スートが焼結する(焼結工程)。これにより、焼結後の光ファイバ母材Mが得られる。焼結工程の際に、または焼結工程の前に、脱水工程を行ってもよい。さらに、焼結工程の前あるいは焼結工程と同時に、光ファイバ母材Mにドーパントを添加するドープ工程を行ってもよい。
また、加熱炉1から取り出した光ファイバ母材Mを線引きすることで、光ファイバが得られる。
t=0の時点では、開閉弁8が閉じられているため、F=F1となっている。絞り弁7の流量F1は、開閉弁8が閉じられている場合に差圧ΔPが上昇するように設定されている。このため、図2(a)に示すように、t=0~t1の間は、差圧ΔPが上昇している。なお、t=0の時点における差圧ΔPの値は、正の値であれば、図2(a)のように下限値L2でなくてもよい。
ΔT1の値は、供給路10を通じて炉心管2に供給される不活性ガスの流量(以下、供給流量という)、第1排気管6b(絞り弁7の設定による)および第2排気管6cの許容流量、並びに、上限値L1および下限値L2等によって定まる。
ΔT1、ΔT2の値は、一つの焼結工程および脱水工程の間に変動してもよい。
ΔT1の値は、例えば0.25~1分の範囲内であることが好ましい。また、ΔT2の値は、1~10分の範囲内であることが好ましい。適切なΔT1、ΔT2の値にすることで、一回の焼結工程における開閉弁8の動作頻度を適切に設定したり、差圧ΔPが不意に上限値L1を超えたり下限値L2を下回ったりすることを抑制できる。
そして、炉心管2に不活性ガスを供給し、開閉弁8が閉じられた状態で差圧ΔPが上昇するように絞り弁7の通過流量を設定し、差圧ΔPが所定の上限値L1に到達したときに開閉弁8を開き、差圧ΔPが所定の下限値L2に到達したときに開閉弁8を閉じる。
このような構成により、開閉弁8を開閉するという簡易な制御内容で、差圧ΔPを所定の上限値L1および下限値L2の範囲内に維持することが可能となる。開閉弁8の動作は単純な開閉のみであるため、差圧ΔPに合わせて流量を制御する方式の弁と比較して、応答速度を高めることができ、光ファイバ母材の品質を安定させることができる。さらに、下限値L2をゼロ以上の値に設定することで、差圧ΔPが負の値になることを容易に防ぐことができる。
絞り弁7の通過流量は、開閉弁8が閉じられた状態で差圧ΔPが上昇するように設定され、制御部9は、差圧ΔPが所定の上限値L1に到達したときに開閉弁8を開き、差圧ΔPが所定の下限値L2に到達したときに開閉弁8を閉じるように構成されている。
このように、単純な開閉のみを行う開閉弁8を用いることで、差圧ΔPに合わせて流量を制御する方式の弁を用いる場合と比較して、応答速度を高めることができ、光ファイバ母材の品質を安定させることができる。
例えば、上記実施形態では主として焼結工程に関して記載したが、光ファイバ母材の製造時に行う焼結工程以外の工程に上記実施形態を適用してもよい。すなわち、先述の「未処理母材」は、焼結前の光ファイバ母材(未焼結母材)であってもよいし、その他の処理を行う前の光ファイバ母材であってもよい。また、いくつかの種類の工程を連続して行う場合に、前記実施形態を適用することも可能である。
Claims (5)
- 未処理母材を挿入可能な開口部を有する炉心管と、前記炉心管の外側から前記未処理母材を加熱するヒータと、前記ヒータを収容する収容室と、前記炉心管の内圧P1と前記収容室の内圧P2との差圧ΔP(=P1-P2)を測定する差圧計と、前記炉心管に接続された第1排気管および第2排気管と、前記第1排気管を通過する排気ガスの流量を制限する絞り弁と、前記第2排気管の開閉を切り替える開閉弁と、を備えた加熱炉を用意し、
前記炉心管に不活性ガスを供給し、
前記開閉弁が閉じられた状態で前記差圧ΔPが上昇するように前記絞り弁の通過流量を設定し、
前記差圧ΔPが所定の上限値に到達したときに前記開閉弁を開き、
前記差圧ΔPが所定の下限値に到達したときに前記開閉弁を閉じる、光ファイバ母材の製造方法。 - 前記開閉弁を開いてから前記開閉弁を閉じるまでの時間が0.25~1分の範囲内である、請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 前記開閉弁を閉じてから前記開閉弁を開くまでの時間が1~10分の範囲内である、請求項1または2に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 前記下限値が50Pa以上である、請求項1から3のいずれか1項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 未処理母材を挿入可能な開口部を有する炉心管と、
前記炉心管の外側から前記未処理母材を加熱するヒータと、
前記ヒータを収容する収容室と、
前記炉心管の内圧P1と前記収容室の内圧P2との差圧ΔP(=P1-P2)を測定する差圧計と、
前記炉心管に接続された第1排気管および第2排気管と、
前記第1排気管を通過する排気ガスの流量を制限する絞り弁と、
前記第2排気管の開閉を切り替える開閉弁と、
前記開閉弁を制御する制御部と、を備え、
前記絞り弁の通過流量は、前記開閉弁が閉じられた状態で前記差圧ΔPが上昇するように設定され、
前記制御部は、前記差圧ΔPが所定の上限値に到達したときに前記開閉弁を開き、前記差圧ΔPが所定の下限値に到達したときに前記開閉弁を閉じるように構成されている、加熱炉。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020054118 | 2020-03-25 | ||
JP2020054118 | 2020-03-25 | ||
PCT/JP2021/000768 WO2021192500A1 (ja) | 2020-03-25 | 2021-01-13 | 光ファイバ母材の製造方法および加熱炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2021192500A1 JPWO2021192500A1 (ja) | 2021-09-30 |
JP7397169B2 true JP7397169B2 (ja) | 2023-12-12 |
Family
ID=77890186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022509286A Active JP7397169B2 (ja) | 2020-03-25 | 2021-01-13 | 光ファイバ母材の製造方法および加熱炉 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7397169B2 (ja) |
CN (1) | CN115087624B (ja) |
WO (1) | WO2021192500A1 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000169173A (ja) | 1998-12-01 | 2000-06-20 | Fujikura Ltd | 石英炉心管の内圧制御装置 |
JP2003137584A (ja) | 2001-11-01 | 2003-05-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の熱処理装置および方法 |
JP2015191957A (ja) | 2014-03-27 | 2015-11-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61270231A (ja) * | 1985-05-22 | 1986-11-29 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 熱処理装置 |
JP2831802B2 (ja) * | 1990-05-16 | 1998-12-02 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
JP2735525B2 (ja) * | 1995-11-30 | 1998-04-02 | 日本電気株式会社 | 化学気相成長方法 |
JP5304031B2 (ja) * | 2008-06-02 | 2013-10-02 | 住友電気工業株式会社 | 多孔質ガラス母材の脱水焼結装置及びその排気制御方法 |
JP6299088B2 (ja) * | 2013-06-18 | 2018-03-28 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバの製造方法および製造装置 |
JP2017088458A (ja) * | 2015-11-13 | 2017-05-25 | 住友電気工業株式会社 | 多孔質ガラス母材の脱水焼結装置および脱水焼結方法 |
-
2021
- 2021-01-13 CN CN202180012420.XA patent/CN115087624B/zh active Active
- 2021-01-13 WO PCT/JP2021/000768 patent/WO2021192500A1/ja active Application Filing
- 2021-01-13 JP JP2022509286A patent/JP7397169B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015191957A (ja) | 2014-03-27 | 2015-11-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN115087624A (zh) | 2022-09-20 |
CN115087624B (zh) | 2024-01-02 |
JPWO2021192500A1 (ja) | 2021-09-30 |
WO2021192500A1 (ja) | 2021-09-30 |
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A621 | Written request for application examination |
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