JP2831802B2 - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents

光ファイバ母材の製造方法

Info

Publication number
JP2831802B2
JP2831802B2 JP12420590A JP12420590A JP2831802B2 JP 2831802 B2 JP2831802 B2 JP 2831802B2 JP 12420590 A JP12420590 A JP 12420590A JP 12420590 A JP12420590 A JP 12420590A JP 2831802 B2 JP2831802 B2 JP 2831802B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical fiber
gas
furnace
tube
preform
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP12420590A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0421535A (ja
Inventor
雅俊 三上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
Priority to JP12420590A priority Critical patent/JP2831802B2/ja
Publication of JPH0421535A publication Critical patent/JPH0421535A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2831802B2 publication Critical patent/JP2831802B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • C03B37/0146Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、光ファイバ用多孔質母材を脱水・焼結処理
して透明ガラス化することにより光ファイバ母材を得る
光ファイバ母材の製造方法に関するものである。
[従来の技術] 従来、光ファイバ用多孔質母材を透明ガラス化する熱
処理装置は、第2図に示すように炉心管1を備え、該炉
心管1内には光ファイバ用多孔質母材2が支持棒3を介
して吊り下げ支持されている。炉心管1の外周には、炉
体4内に発熱体5を収容した構造の加熱炉6が設けら
れ、光ファイバ用多孔質母材2の加熱が行われるように
なっている。炉心管1内には、炉心管ガス供給手段7の
給気管8より透明ガラス化処理用ガスが供給されるよう
になっている。このような透明ガラス化処理用ガスの雰
囲気中で光ファイバ用多孔質母材2が加熱されると、脱
水及び焼結がなされて透明ガラス化され、光ファイバ母
材が得られる。光ファイバ用多孔質母材2との反応ガス
や水分及び余剰のガスは、排気管9を有する排気手段10
から排ガス処理装置11を経てブロアー12により排気され
るようになっている。通常、排気管9には炉心管1から
の排気の強さを調整するための絞り弁13と炉心管1内の
内部圧力を監視するための圧力計14が設けられている。
炉心管1は、高温に耐え、且つ光ファイバにとって有
害な不純物を避けるため、通常は石英で形成されてい
る。また、加熱炉6においては、充分な高温を得るため
発熱体5及び炉体4の断熱材はカーボンで形成されてい
る。カーボンを高温で使用すると酸化するため、これを
防止する目的で炉体4内へは外部圧力より高くなるよう
に不活性ガスが炉体ガス供給手段15で供給されるように
なっている。この場合、大気圧をP0、炉心管1内の圧力
をP1,炉体4内の圧力をP2とすると、P1>P2>P0となる
ことが必要である。炉心管1の内圧が最も高温なのは、
光ファイバ用多孔質母材2を高温でガラス化させる時の
温度が炉心管1を構成する石英の軟化温度と同等かそれ
以上のため、炉心管1の内圧が小さいと該炉心管1がつ
ぶれてしまうので、それを防止するためである。
このような装置で、炉体4の内圧と炉心管1の内圧と
を測定し、その差圧が一定になるように絞り弁13を自動
コントロールする場合もある。
手動,自動のいずれの圧力コントロールの場合も、従
来は排気量を調整していた。
このような従来の光ファイバ母材の製造方法で、光フ
ァイバ用多孔質母材2が外径40mm,長さ300mm程度の小型
の場合には、炉心管1のサイズも内径60mm,長さ1000mm
程度なので使用するガス量は表−1の通りであった。
しかし、近年光ファイバ用多孔質母材2が大型化し、
外径120mm,長さ1000mm程度になった場合には、炉心管1
のサイズも大型化し、内径180mm,長さ2200mm程度にな
る。このように炉心管1が大型化すると、該炉心管1内
のガス置換及びガラス化用雰囲気維持のためのガス量も
表−1のように格段に増える。
[発明が解決しようとする課題] このように従来の光ファイバ母材の製造方法では、光
ファイバ用多孔質母材2が大型化し、炉心管1が大型化
するにつれて使用するガス量も増え、光ファイバの製造
コストが増加する問題点があった。
本発明の目的は、ガスの使用量を低減することができ
る光ファイバ母材の製造方法を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 上記の目的を達成するため本発明の手段を説明する
と、本発明は、炉心管内とその外周の加熱炉内の差圧を
所望の圧力に維持しつつ前記炉心管内の透明ガラス化処
理用ガス雰囲気中で光ファイバ用多孔質母材を前記加熱
炉で加熱しつつ透明ガラス化して光ファイバ母材を得る
光ファイバ母材の製造方法において、前記炉心管からの
前記透明ガラス化処理用ガスの排気を止めた状態で前記
光ファイバ用多孔質母材の透明ガラス化処理を行うこと
を特徴とする。
[作用] このように炉心管内での光ファイバ用多孔質母材の透
明ガラス化処理作業中に該炉心管からの透明ガラス化処
理用ガスの排出を止めると、該透明ガラス化処理用ガス
の使用量は圧力の低下に伴う補給量だけとなり、ガスの
使用量を従来に比べて著しく低減できる。
[実施例] 以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明す
る。
第1図は、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法を
実施する熱処理装置の一実施例を示したものである。な
お、前述した第2図と対応する部分には同一符号を付け
て示している。本実施例においては、炉心管1の上部に
は光ファイバ用多孔質母材2を該炉心管1内に挿入後に
その開口部を閉じるように炉心管シール蓋16が設けられ
ている。該炉心管シール蓋16にはN2又はAr等の不活性ガ
スが供給され、支持棒3と該蓋16とのクリアランスの大
きさに応じて流量を調整してシールをするようになって
いる。また、排気管9には排気用自動弁17が設けられ、
メイン制御器28の指令で開閉の制御がなされるようにな
っている。炉心管1の内圧を検出するため炉心管内検出
センサ19が設けられ、また炉体4の内圧を検出するため
炉体内圧検出センサ20が設けられている。これらセンサ
19,20の検出信号は差圧検出器21に入力され、炉心管1
の内圧と炉体4の内圧との差圧が検出されるようになっ
ている。該差圧検出器21で検出された差圧信号は、制御
器18に入力されるようになっている。
一方、炉心管ガス供給手段7は、Heガスを供給するた
めのHeガスユニット22Aと、Cl2ガスを供給するためのCl
2ガスユニット22Bと、O2ガスを供給するためのO2ガスユ
ニット22Cとを有する。これらガスユニット22A〜22Cは
ガス供給制御器23で制御され、該ガス供給制御器23はメ
イン制御器18で制御されるようになっている。
次に、このような熱処理装置による光ファイバ母材の
製造方法の一例を説明する。シール蓋16を不活性ガスで
シールした状態で、炉心管1内の空気又は不活性ガスを
透明ガラス化処理用ガスで置換する。このとき、排気用
自動弁17を開く指令がメイン制御器18から発せられ、該
弁17を開いた状態でガスの置換作業が行われる。
所定の時間が経過してガスの置換作業が終了した段階
でメイン制御器18から該排気用自動弁17を閉じる指令が
発せられ、該弁17が閉じられる。
置換作業時のガスは、ガスユニット22A〜22Cから供給
される。これらガスユニット22A〜22Cには、光ファイバ
母材の製造に必要なガス容積比がガス供給制御器23から
指示される。
このようにして炉心管1内を透明ガラス化処理用ガス
で置換し、そのガスが排出しないように自動弁17を閉じ
た状態で、加熱炉6からの加熱により光ファイバ用多孔
質母材2を焼結,脱水して透明ガラス化する。従って、
ガス置換後は気密が保たれ、炉心管1の内圧が減少する
ことはない。しかし、支持棒3とシール蓋16とのシール
がガスシールであることから、ガラス化に要する約6時
間の間、正圧(P1>P2)を保つことは難しい。このた
め、炉心管1の内圧をセンサ19で検出し、炉体4の内圧
をセンサ20で検出し、これらの検出値を差圧検出器21に
入力して差圧を検出し、得られた差圧信号をメイン制御
器18に入力して、該メイン制御器18から前述した圧力条
件P1>P2>P0を保つようにガス供給制御器23に指令を発
する。このガス供給制御器23からの制御により、ガスユ
ニット22A〜22Cから製造条件で決められたガス容積比で
ガスが炉心管1に自動的に供給される。
実験によると、本発明の方法によれば、光ファイバ用
多孔質母材2を充分に透明ガラス化でき、特性上も従来
品と同じであった。
使用したガス量の比較を行ったところ表−2のような
結果が得られた。
この場合、ガラス化時間はいずれも6時間であった。
本発明の場合の使用ガスの内訳は、Heに関しては 光ファイバ用多孔質母材2を炉心管1内に挿入した後の
ガス置換(約30分)時 …1m3 P1>P2調整時 6.6m3 であった。
[発明の効果] 以上説明したように本発明に係る光ファイバ母材の製
造方法では、炉心管内での光ファイバ用多孔質母材の透
明ガラス化処理作業中に該炉心管からの透明ガラス化処
理用ガスの排出を止めるので、該透明ガラス化処理用ガ
スの使用量は圧力の低下に伴う補給量だけとなり、処理
用ガスの使用量を従来に比べて著しく低減することがで
き、光ファイバの製造コストの低減を図ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の方法を実施する装置の一実施例の縦断
面図、第2図は従来の装置の縦断面図である。 1……炉心管、2……光ファイバ用多孔質母材、3……
支持棒、4……炉体、5……発熱体、6……加熱炉、7
……炉心管ガス供給手段、8……給気管、9……排気
管、10……排気手段、11……排ガス処理装置、12……ブ
ロアー、15……炉体ガス供給手段、16……炉心管シール
蓋、17……排気用自動弁、18……メイン制御器、19……
炉心管内圧検出センサ、20……炉体内圧検出センサ、21
……差圧検出、22A〜22C……ガスユニット、23……ガス
供給制御器。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】炉心管内とその外周の加熱炉内の差圧を所
    望の圧力に維持しつつ前記炉心管内の透明ガラス化処理
    用ガス雰囲気中で光ファイバ用多孔質母材を前記加熱炉
    で加熱しつつ透明ガラス化して光ファイバ母材を得る光
    ファイバ母材の製造方法において、前記炉心管からの前
    記透明ガラス化処理用ガスの排気を止めた状態で前記光
    ファイバ用多孔質母材の透明ガラス化処理を行うことを
    特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
JP12420590A 1990-05-16 1990-05-16 光ファイバ母材の製造方法 Expired - Lifetime JP2831802B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12420590A JP2831802B2 (ja) 1990-05-16 1990-05-16 光ファイバ母材の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12420590A JP2831802B2 (ja) 1990-05-16 1990-05-16 光ファイバ母材の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0421535A JPH0421535A (ja) 1992-01-24
JP2831802B2 true JP2831802B2 (ja) 1998-12-02

Family

ID=14879594

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12420590A Expired - Lifetime JP2831802B2 (ja) 1990-05-16 1990-05-16 光ファイバ母材の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2831802B2 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0746299A (ja) * 1993-07-31 1995-02-14 Nec Corp 無線電話機
US6543257B1 (en) * 1999-05-28 2003-04-08 The Furukawa Electric Co., Ltd. Dehydration and sintering apparatus for porous optical fiber preform
JP2001064032A (ja) 1999-08-26 2001-03-13 Furukawa Electric Co Ltd:The 多孔質プリフォームガラス化装置
KR100374352B1 (ko) * 2000-03-23 2003-03-04 삼성전자주식회사 광섬유 모재 제조공정에서 압력 제어 시스템 및 방법
US20060242998A1 (en) * 2005-04-29 2006-11-02 The Boc Group, Inc. Preform consolidation process
WO2021192500A1 (ja) * 2020-03-25 2021-09-30 株式会社フジクラ 光ファイバ母材の製造方法および加熱炉

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0421535A (ja) 1992-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9458051B2 (en) Graphite heating furnace
US5432319A (en) Furnace for heat treatment of dental products in an inert atmosphere
CN109264985B (zh) 一种光纤预制棒的脱气方法及装置
WO2017181649A1 (zh) 光纤预制棒的制造装置及其制造方法
JP2011521882A (ja) 石英ガラスるつぼの製造方法及び装置
JP2831802B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
US20110100064A1 (en) Method and apparatus for manufacturing an optical fiber core rod
JP2005507845A (ja) 塩素ドープ光導波路プリフォームを形成する方法および装置
JPS61270231A (ja) 熱処理装置
EP0450124B1 (en) Furnace for producing high purity quartz glass preform
US11787726B2 (en) Sintering method of porous glass base material for optical fiber
JPS62176936A (ja) 光フアイバプリフオ−ムの製造方法および製造装置
KR100506221B1 (ko) 젤 튜브를 소결시키기 위한 장치 및 방법
JP4062407B2 (ja) ガラス母材の製造方法および製造装置
JP7397169B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法および加熱炉
JP3169357B2 (ja) 多孔質ガラス母材の焼結装置および焼結方法
JPH10279326A (ja) 光ファイバの線引加熱炉
JPH11322356A (ja) 光ファイバ多孔質母材の脱水・透明ガラス化方法及び装置
JPH1111957A (ja) ガラス物品の製造方法及び装置
JP7024489B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JPH0646982Y2 (ja) 高純度石英母材製造用加熱炉
JP2000344538A (ja) 光ファイバ多孔質母材燒結装置
JP2006151715A (ja) ガラス母材の製造方法及び製造装置
JPH05221676A (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JPH11335130A (ja) 光ファイバ多孔質母材の脱水・透明ガラス化方法及び装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080925

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090925

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100925

Year of fee payment: 12

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100925

Year of fee payment: 12