JP2005507845A - 塩素ドープ光導波路プリフォームを形成する方法および装置 - Google Patents
塩素ドープ光導波路プリフォームを形成する方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005507845A JP2005507845A JP2003540096A JP2003540096A JP2005507845A JP 2005507845 A JP2005507845 A JP 2005507845A JP 2003540096 A JP2003540096 A JP 2003540096A JP 2003540096 A JP2003540096 A JP 2003540096A JP 2005507845 A JP2005507845 A JP 2005507845A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chlorine
- atmosphere
- preform
- soot preform
- dope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/20—Doped silica-based glasses doped with non-metals other than boron or fluorine
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2203/00—Fibre product details, e.g. structure, shape
- C03B2203/10—Internal structure or shape details
- C03B2203/22—Radial profile of refractive index, composition or softening point
- C03B2203/223—Matching viscosities or softening points of glass layers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
光導波路プリフォームを製造する方法は、スートプリフォームを、塩素含有化合物を含む雰囲気に露出し、それによって、スートプリフォームに塩素をドープする工程を含み、ここで、雰囲気の絶対圧は約1.013×102kPaより大きい。スートプリフォームを使用して光導波路プリフォームを製造するための装置は、スートプリフォームを含むように適用されたチャンバを画成し、チャンバを加熱するように動作できる加熱装置を備えた炉を含む。流体制御装置は、約1.013×102kPaより大きい絶対圧でチャンバ内に塩素含有化合物を含む雰囲気を提供するように動作できる。
Description
【技術分野】
【0001】
本発明は、光導波路に関し、より詳しくは、光導波路プリフォームを形成する方法に関する。
【背景技術】
【0002】
ガラスから形成された光導波路またはファイバは、典型的に、約1600から2150℃の適切な線引き温度でプリフォームから線引きされている。一般に、そのような光ファイバは、第1の材料のコアおよび第2の材料のクラッドを持つように形成される。線引き温度では、コア材料とクラッド材料は互いに異なる粘度を持つであろう。一旦ファイバが冷めると、高い粘度を持つ層は、ファイバ中で引張応力下に置かれる。そのような引張応力は、製造中または使用に際して、ファイバまたはその部分を機械的および/または光学的損傷にさらす弱点を誘発するかもしれない。コア材料の粘度がクラッド材料の粘度よりも大きい場合、そのような引張応力により、コア中の減衰が増すか、そうでなければその光学的性質が損なわれるであろう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
プリフォームのある部分(例えば、ファイバのコアに対応する部分)に塩素をドープして、線引き中にその部分の粘度を減少させてもよい。例えば、プリフォームを形成するためのスートプリフォームを、スートプリフォームの固結中(すなわち、焼結の前および/または最中)に塩素雰囲気に露出することにより、プリフォームに塩素をドープしてもよい。しかしながら、公知の塩素ドープ法では、様々なファイバの設計のために所望の粘度に適合または調整するほど十分なドープレベルが得られないであろう。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明の方法の実施の形態によれば、光導波路プリフォームを製造する方法は、スートプリフォームを、塩素含有化合物を含む雰囲気に露出し、それによって、スートプリフォームに塩素をドープする工程を含む。この雰囲気の絶対圧は約1.013×102kPaより大きい。
【0005】
本発明のさらに別の方法の実施の形態によれば、光導波路プリフォームを製造する方法は、少なくとも60分間に亘り塩素含有化合物を含む雰囲気にスートプリフォームを露出し、それによって、スートプリフォームに塩素をドープする工程を有してなり、雰囲気の絶対圧が約1.013×102kPaより大きく、雰囲気中に存在する塩素のモル百分率は約20%より大きく、スートプリフォーム中に存在する塩素の重量百分率は約1%より大きく、塩素含有化合物は、SiCl4、Cl2、CCl4、SOCl2およびPOCl3からなる群より選択され、雰囲気は少なくとも約1000℃の温度である。
【0006】
本発明の実施の形態によれば、スートプリフォームを用いて光導波路プリフォームを製造するための装置は、スートプリフォームを収容するように適合されたチャンバを画成し、チャンバを加熱するように動作できる加熱装置を備えた炉を含む。流体制御装置は、約1.013×102kPaより大きい絶対圧でチャンバ内に塩素含有化合物を含む雰囲気を提供するように動作できる。
【0007】
本発明の目的は、以下の好ましい実施の形態の図面および詳細な説明を読むことによって、当業者により理解されるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【0008】
添付の図面は、本明細書に含まれ、その一部を構成するものであり、本発明の実施の形態を示し、説明と共に本発明の原理を説明するように働く。
【0009】
ここで、本発明の好ましい実施の形態が示されている添付の図面を参照して、本発明をより詳しく説明する。しかしながら、本発明は、多くの異なる形態で具体化してもよく、ここに述べた実施の形態に制限されるものと解釈すべきではない。むしろ、これらの実施の形態は、この開示が徹底的かつ完全であるように提供されており、当業者に本発明の範囲を十分に伝える。同じ数は全体を通じて同じ要素を示す。
【0010】
本発明による方法および装置を用いて、スートプリフォーム中に高レベルの塩素ドープが得られるであろう。塩素ドープスートプリフォームは、転じて、プリフォームまたは層が高レベルの塩素ドープを示すものであるガラスプリフォームまたはその層を形成するように固結させてもよい。
【0011】
多層プリフォームの場合には、塩素ドープ層中の高レベルの塩素ドープにより、選択された線引き温度範囲で層の粘度をそれに対応して減少させてもよく、これにより、線引き温度範囲において、塩素ドープ層とガラスプリフォームの別の層との間での粘度一致または調整が改善されるであろう。改善された粘度一致または調整により、ガラスプリフォームからファイバを線引きする工程中の粘度差から生じる引張応力または圧縮応力がなくなるかまたは最小になるであろうし、もしくはそのような応力の選択的かつ所望の発生および制御が可能になる。塩素ドープにより、塩素ドープ層の屈折率を感知できるほど変えずに、前述の効果が得られるであろう。
【0012】
スートプリフォームの促進された塩素ドープは、線熱膨張(LTE)不一致による熱応力の減少、粘度不一致からの機械的応力の減少、および屈折率の調節にとって都合よいであろう。
【0013】
実例として、GeO2−SiO2のコアおよびF−SiO2の別の層を含む光導波路またはファイバを形成することが望ましいであろう。ファイバをそこから線引きすべきガラスプリフォームも同様に、GeO2−SiO2のコアまたは内側層およびF−SiO2の外側層を持たなければならない。ガラスプリフォームのコアのGeO2−SiO2は、ガラスプリフォームの外側層のF−SiO2よりも高い粘度を有するので、冷却されたファイバのコアは、外側層により引張応力下に維持されるであろう。ガラスプリフォームのコアに塩素をドープすることにより、コアの粘度を、外側層の粘度と一致するように、または冷却されたファイバ中でコアに引張または圧縮もかからないように外側層の粘度未満まで低下させてもよい。ある実施の形態において、外側層はコアの堀(moat)領域に対応する。しかしながら、外側層はクラッド層であってもよい。
【0014】
スートプリフォームは、図1の流れ図により示した本発明の実施の形態による方法および図2に示した装置100を用いて、ドープし、固結してもよい。
【0015】
スートプリフォーム5(図2)は、化学的気相堆積法(CVD)などの任意の適切な方法(ブロック10)を用いて形成する。スートプリフォームを形成する適切な方法は当業者に知られており、それには外付け溶着法(OVD)もある。例えば、米国特許第3933454号明細書には、スートプリフォームを形成する適切な方法および装置が開示されている。スートプリフォーム5は、純粋なシリカから形成しても、またはドープシリカ(例えば、Ge,Al,F,B,Er,Ti,Pおよび/またはSbをドープしたシリカ)から形成してもよい。スートプリフォーム5は、SiO2,Al2O3,Er2O3,TiO2,FまたはGeO2などの適切なガラス改質剤またはガラス形成剤を含んでもよい。スートプリフォーム5は、複数の隙間が画成されている多孔質構造体である。スートプリフォーム5はその全長に亘り延在する通路5Aを含むことが好ましく、この通路は化学的気相堆積装置のマンドレルがそこから取り除かれた跡である。スートプリフォームは、図示したガラスプリフォームハンドル50を含んでもよい。
【0016】
装置100は、圧力チャンバ112を画成する圧力容器110を含む。この容器は、環状マッフル110Aおよび蓋110Bを含む。蓋110Bは、蓋と容器の間に高圧気密シールを提供するように容器110上に取り付けられることが好ましい。ハンドル120は、蓋110Bからチャンバ112中に延在している。駆動装置170が容器110上に取り付けられている。駆動装置170は、蓋110Bの外側に取り付けられた駆動モータ172および蓋110Bの内側に取り付けられた伝達ユニット174を含む。駆動モータ172は、伝達ユニット174がハンドル120を、したがって、プリフォーム5を回転させ(好ましくは、図示したように垂直軸の周りに)るように蓋110Bを通して、伝達ユニット174に磁気結合されている。駆動装置170により、相対的に動く部品の間にシールを必要とせずに、プリフォーム5を回転させることができる。
【0017】
装置100は、適切に改良された従来の固結炉を含んでもよい。例えば、圧力容器110を、以下に論じるように比較的大きな内部ドープ圧に耐えられるように強化する必要があるであろう。チャンバ112およびスートプリフォーム5は、純粋な石英マッフルにより実質的に完全に取り囲まれていることが好ましい。
【0018】
スートプリフォーム5は、圧力チャンバ112内に配置され、ハンドル120から吊り下げられている(ブロック15)。回転させるときに、スートプリフォーム5は、それにより回転させるためにハンドル120から吊り下げてもよい。必要に応じて、スートプリフォーム5は、チャンバ112を通してスートプリフォーム5の周りに適切な乾燥用ガスを流して、スートプリフォーム5から水およびヒドロキシルイオンを除去することにより、乾燥させてもよい(ブロック20)。乾燥用ガス(好ましくは、塩素含有ガス)は、約30から90分間に亘り約10から40slpm(標準リットル毎分)の流量で提供され、一方で、スートプリフォーム5は、約1000から1200℃の温度に維持される。適切な乾燥用ガスとしては、Cl2,GeCl4,SiCl4,CCl4,SOC2およびPOCl3が挙げられる。圧力チャンバ112は、加熱装置114(例えば、抵抗ヒータまたは誘電コイルヒータ)を用いて加熱してもよい。乾燥用ガスの流れは、以下に記載するように流体制御装置152を用いて、または他の適した手段により提供してもよい。
【0019】
ドープ雰囲気150が圧力チャンバ112内においてスートプリフォーム5の周りに提供される(ブロック25)。ドープ雰囲気は、流体制御装置152を用いて提供される。流体制御装置152は、制御器130、チャンバ入口弁132、チャンバ出口弁134、圧縮機136、搬送ガスIGの供給源140、搬送ガス弁142、塩素含有ガスCG(すなわち、塩素含有化合物を含むガス)の供給源144、塩素ガス弁146および圧力計126を含む。弁132,134,142および146並びに圧縮機136は、制御器130により制御されていてもよい。
【0020】
最初に、弁132および134を開いて、圧縮機136から、入口122、チャンバ112および出口121を通る流路を提供する。圧縮機136および弁142と146は協働して、搬送ガスIGおよび塩素含有ガスCGを所望の比率で含むドープガスDGを調製し、ドープガスDGを圧力チャンバ112中に送り込む。先にチャンバ112中にあった雰囲気がパージされ、チャンバ112がドープガスDGで実質的に完全に満たされるまで、弁134は開いたままである。
【0021】
圧力チャンバ112がドープガスDGで実質的に満たされた後、制御器130が圧縮機136および弁142,146を作動させて、選択された量のドープガスDGをチャンバ112中に導入し、それによって、ドープ雰囲気150を形成する。制御器130はさらに、弁132,134、圧縮機136および/または加熱装置114を作動させて、ドープ雰囲気150を選択されたドープ圧PDまで加圧し、ドープ雰囲気150を選択されたドープ温度まで加熱する。このことは、出口弁134を閉じ、ドープ雰囲気150を選択されたドープ温度TDに維持し、ドープ雰囲気150がドープ圧PD(圧力計126により制御器130に示されるように)に到達するまでドープガスDGをチャンバ112中に送り込み続ける。弁132は、ドープ雰囲気150をドープ圧PDに維持するように閉じられていてもよく、一方で、加熱装置114は、ドープ雰囲気150の温度をドープ温度TDに維持する。
【0022】
当業者には、ドープ雰囲気150にドープ圧PDと同時にドープ温度TDを与える他の方法を用いてもよいことがこの説明から分かるであろう。例えば、ドープ雰囲気150は、充填温度TFに維持し、充填圧PFに維持してもよく、充填温度TFおよび充填圧PFは、チャンバ112が密閉され、ドープ雰囲気150がドープ温度TDまで加熱される場合、ドープ雰囲気150の圧力はドープ圧PDと等しくなるように選択される。
【0023】
ドープ雰囲気150は、選択された反応時間tRに亘り、圧力チャンバ112内のスートプリフォーム5の周りで、ドープ圧PDおよびドープ温度TDに維持される。ドープ圧PDは少なくとも1.013×102kPaであり、ドープ温度TDおよび反応時間tRは、選択された塩素ドープレベルをスートプリフォーム5に与えるように選択される。ドープガスDG中に存在する塩素は、スートプリフォーム5に高レベルの塩素がドープされるように、多孔質スートプリフォーム5と反応し、その中に拡散する。スートプリフォーム5は、反応時間tRの間に回転されていてもよい。圧力容器110は、反応時間tR中ずっと気密に密閉されていることが好ましい。
【0024】
絶対ドープ圧PDは少なくとも約2.026×102kPaであることが好ましい。絶対ドープ圧PDは約4.052×102kPaから約16.32×102kPaであることがより好ましい。塩素含有ガスCGのドープ分圧PPDは、例えば、排気弁134を閉じたままにしながら塩素含有ガスCGをチャンバ中に加えることにより、反応時間tR中ずっと実質的に一定に維持される。しかしながら、ドープ分圧PPDは変更してもよい。ドープ圧PDは、反応時間tR中ずっと10%以下しか変動しないことが好ましい。
【0025】
ドープ温度TDは少なくとも約1000℃であることが好ましい。ドープ温度TDは約1250から1350℃であることがより好ましい。ドープ温度TDは反応時間tR中ずっと約1%以下しか変動しないことが好ましい。
【0026】
ドープ雰囲気150中の塩素のモル百分率は約20%より大きいことが好ましい。ドープ雰囲気150中に存在する塩素のモル百分率は約20から40%であることがより好ましい。
【0027】
反応時間tRは少なくとも60分であることが好ましい。反応時間tRは約60から180分であることがより好ましい。
【0028】
ドープされたスートプリフォーム5中に存在する塩素の重量百分率は、粘度、線熱膨張(LTE)、屈折率、および/または他の選択された特性を適合させるのに必要なように選択してよい。ドープされたスートプリフォーム5中に存在する塩素の重量百分率は1%より大きいことが好ましい。ドープされたスートプリフォーム5中に存在する塩素の重量百分率は約1から1.5%であることがより好ましい。
【0029】
塩素含有ガスCGは、以下を一つ以上含んでもよい:GeCl4,SiCl4,Cl2,CCl4,SOCl2およびPOCl3。塩素含有ガスCGがSiCl4またはCl2を含有することが好ましい。適切な搬送ガスIGとしては、He,Ar,CO,およびN2が挙げられる。
【0030】
反応時間tRの終わりに、ドープ雰囲気150は減圧される(ブロック40)。SiCl4,GeO,Cl2,O2,He,ArまたはN2などの排出ガスEGは、弁134を開放することにより、出口121を通して放出してもよい。所望であれば、加圧ドープ工程は、スートプリフォーム5をさらにドープするために繰り返してもよい。最後のドープ工程後、スートプリフォーム5を焼結(すなわち、固結)して、ドープされたガラスプリフォームを形成してもよい。焼結工程は、公知または他の適切な技法を利用してスートプリフォーム5を焼結するために、加熱装置114および/または別の加熱装置を用いて、圧力チャンバ112内でドープされたスートプリフォーム5を加熱する工程を含んでもよい。焼結工程は、スートプリフォーム5を約1300から1600℃の温度まで加熱する工程を含むことが好ましい。
【0031】
あるいは、ドープされたスートプリフォームを反応時間の終わり(ブロック30)に焼結してもよい(ブロック50)。その後、ドープ雰囲気150を減圧してもよい(ブロック55)。上述したように、焼結工程(ブロック50)の前に、多数のドープ周期を行ってもよい。ブロック55の焼結工程は、ブロック45の焼結工程について上述したのと同じ様式で同じパラメータを用いて行うことが好ましい。
【0032】
公知の様式で、塩素ドープガラスプリフォームを線引きし、切断して、塩素ドープガラスケインを形成してもよい。OVDなどの適切な堆積法を用いて、ガラスケインの周りにシリカスートの第2の外側層を堆積してもよい。次に、外側のスート層を塩素ドープガラスケインの周りに固結させて、図3に示すような多層のガラスプリフォーム2を形成する。プリフォーム2は、固結された塩素ドープスートプリフォーム5から形成されたコア5B、および固結された外側スート層から形成された外層6を含む。
【0033】
層5Bおよび6は、これらの層5Bおよび6がそこから形成される材料は、層5Bに塩素がドープされていないと、約1600から2150℃の範囲の線引き温度で互いに異なる粘度を有することにより特徴付けられるであろう。層5Bの塩素ドープは、内側層5Bが本発明により塩素ドープされていない場合よりも、線引き温度での内側層5Bと外側層6との合致がより近くなるように働くであろう。内側層5Bは塩素がドープされたSiO2−GeO2から形成されていることが好ましい。外側層6はF−SiO2から形成されていることが好ましい。必要に応じて、内側層5Bは塩素ドープシリカから形成され、外側層6はフッ素ドープシリカから形成されていてもよい。
【0034】
前述した多層プリフォーム2は塩素ドープコアを含む。しかしながら、コア以外の内側層が塩素ドープされ、外側層はクラッド層であってもよい。内側層がコアの内側部分であり、外側層がコアの外側部分であってもよい。同様に、塩素ドープ層がクラッドの内側部分であり、外側層がクラッドの外側部分であってもよい。
【0035】
特に、反応時間tR中ずっと圧力チャンバ112を密閉することにより、排出された未反応塩素の量を実質的に減少させてもよい。さらに、排出ガスの全体量は実質的に減少する。したがって、ドープガスDGの相当な費用および排出ガスを処理、再利用または廃棄するための相当な費用が、同様に減少するであろう。
【0036】
上述したように、圧力チャンバ112は反応時間tR中ずっと完全に密閉されていることが好ましい。しかしながら、上述した方法は、ドープ雰囲気をドープ圧PDに維持しながら、ドープガスDGの流れを圧力チャンバ112中に導入し、実質的に同量の排出ガスEGの流れを圧力チャンバ112から排出するように改良されていてもよい。
【0037】
上記は、本発明の説明であって、本発明を限定するものと解釈すべきではない。本発明のいくつかの実施の形態を説明してきたが、本発明の新規の教示および利点から実質的に逸脱せずに、実施の形態に多くの改変を行うことができるのが当業者には容易に理解されるであろう。したがって、そのような改変の全ては、特許請求の範囲に定義された本発明の範囲内に含むことが意図されている。したがって、上記は本発明の説明であって、開示された特定の実施の形態に制限されるものと解釈されるべきではなく、開示された実施の形態並びに他の実施の形態の改変は、添付された特許請求の範囲に含まれることを意図するものであるのが理解されよう。本発明は特許請求の範囲により定義され、請求項の同等物もその中に含まれるべきである。
【図面の簡単な説明】
【0038】
【図1】塩素ドープガラスプリフォームを形成するための、本発明の実施の形態による方法を示す流れ図
【図2】塩素ドープガラスプリフォームを形成するための、本発明の実施の形態による装置を示す概略図
【図3】本発明の方法を用いて形成された多層ガラスプリフォームの断面図
【符号の説明】
【0039】
2 多層ガラスプリフォーム
5 スートプリフォーム
6 外側層
100 本発明の装置
110 圧力容器
112 圧力チャンバ
114 加熱装置
120 ハンドル
130 制御器
150 ドープ雰囲気
170 駆動装置
【0001】
本発明は、光導波路に関し、より詳しくは、光導波路プリフォームを形成する方法に関する。
【背景技術】
【0002】
ガラスから形成された光導波路またはファイバは、典型的に、約1600から2150℃の適切な線引き温度でプリフォームから線引きされている。一般に、そのような光ファイバは、第1の材料のコアおよび第2の材料のクラッドを持つように形成される。線引き温度では、コア材料とクラッド材料は互いに異なる粘度を持つであろう。一旦ファイバが冷めると、高い粘度を持つ層は、ファイバ中で引張応力下に置かれる。そのような引張応力は、製造中または使用に際して、ファイバまたはその部分を機械的および/または光学的損傷にさらす弱点を誘発するかもしれない。コア材料の粘度がクラッド材料の粘度よりも大きい場合、そのような引張応力により、コア中の減衰が増すか、そうでなければその光学的性質が損なわれるであろう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
プリフォームのある部分(例えば、ファイバのコアに対応する部分)に塩素をドープして、線引き中にその部分の粘度を減少させてもよい。例えば、プリフォームを形成するためのスートプリフォームを、スートプリフォームの固結中(すなわち、焼結の前および/または最中)に塩素雰囲気に露出することにより、プリフォームに塩素をドープしてもよい。しかしながら、公知の塩素ドープ法では、様々なファイバの設計のために所望の粘度に適合または調整するほど十分なドープレベルが得られないであろう。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明の方法の実施の形態によれば、光導波路プリフォームを製造する方法は、スートプリフォームを、塩素含有化合物を含む雰囲気に露出し、それによって、スートプリフォームに塩素をドープする工程を含む。この雰囲気の絶対圧は約1.013×102kPaより大きい。
【0005】
本発明のさらに別の方法の実施の形態によれば、光導波路プリフォームを製造する方法は、少なくとも60分間に亘り塩素含有化合物を含む雰囲気にスートプリフォームを露出し、それによって、スートプリフォームに塩素をドープする工程を有してなり、雰囲気の絶対圧が約1.013×102kPaより大きく、雰囲気中に存在する塩素のモル百分率は約20%より大きく、スートプリフォーム中に存在する塩素の重量百分率は約1%より大きく、塩素含有化合物は、SiCl4、Cl2、CCl4、SOCl2およびPOCl3からなる群より選択され、雰囲気は少なくとも約1000℃の温度である。
【0006】
本発明の実施の形態によれば、スートプリフォームを用いて光導波路プリフォームを製造するための装置は、スートプリフォームを収容するように適合されたチャンバを画成し、チャンバを加熱するように動作できる加熱装置を備えた炉を含む。流体制御装置は、約1.013×102kPaより大きい絶対圧でチャンバ内に塩素含有化合物を含む雰囲気を提供するように動作できる。
【0007】
本発明の目的は、以下の好ましい実施の形態の図面および詳細な説明を読むことによって、当業者により理解されるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【0008】
添付の図面は、本明細書に含まれ、その一部を構成するものであり、本発明の実施の形態を示し、説明と共に本発明の原理を説明するように働く。
【0009】
ここで、本発明の好ましい実施の形態が示されている添付の図面を参照して、本発明をより詳しく説明する。しかしながら、本発明は、多くの異なる形態で具体化してもよく、ここに述べた実施の形態に制限されるものと解釈すべきではない。むしろ、これらの実施の形態は、この開示が徹底的かつ完全であるように提供されており、当業者に本発明の範囲を十分に伝える。同じ数は全体を通じて同じ要素を示す。
【0010】
本発明による方法および装置を用いて、スートプリフォーム中に高レベルの塩素ドープが得られるであろう。塩素ドープスートプリフォームは、転じて、プリフォームまたは層が高レベルの塩素ドープを示すものであるガラスプリフォームまたはその層を形成するように固結させてもよい。
【0011】
多層プリフォームの場合には、塩素ドープ層中の高レベルの塩素ドープにより、選択された線引き温度範囲で層の粘度をそれに対応して減少させてもよく、これにより、線引き温度範囲において、塩素ドープ層とガラスプリフォームの別の層との間での粘度一致または調整が改善されるであろう。改善された粘度一致または調整により、ガラスプリフォームからファイバを線引きする工程中の粘度差から生じる引張応力または圧縮応力がなくなるかまたは最小になるであろうし、もしくはそのような応力の選択的かつ所望の発生および制御が可能になる。塩素ドープにより、塩素ドープ層の屈折率を感知できるほど変えずに、前述の効果が得られるであろう。
【0012】
スートプリフォームの促進された塩素ドープは、線熱膨張(LTE)不一致による熱応力の減少、粘度不一致からの機械的応力の減少、および屈折率の調節にとって都合よいであろう。
【0013】
実例として、GeO2−SiO2のコアおよびF−SiO2の別の層を含む光導波路またはファイバを形成することが望ましいであろう。ファイバをそこから線引きすべきガラスプリフォームも同様に、GeO2−SiO2のコアまたは内側層およびF−SiO2の外側層を持たなければならない。ガラスプリフォームのコアのGeO2−SiO2は、ガラスプリフォームの外側層のF−SiO2よりも高い粘度を有するので、冷却されたファイバのコアは、外側層により引張応力下に維持されるであろう。ガラスプリフォームのコアに塩素をドープすることにより、コアの粘度を、外側層の粘度と一致するように、または冷却されたファイバ中でコアに引張または圧縮もかからないように外側層の粘度未満まで低下させてもよい。ある実施の形態において、外側層はコアの堀(moat)領域に対応する。しかしながら、外側層はクラッド層であってもよい。
【0014】
スートプリフォームは、図1の流れ図により示した本発明の実施の形態による方法および図2に示した装置100を用いて、ドープし、固結してもよい。
【0015】
スートプリフォーム5(図2)は、化学的気相堆積法(CVD)などの任意の適切な方法(ブロック10)を用いて形成する。スートプリフォームを形成する適切な方法は当業者に知られており、それには外付け溶着法(OVD)もある。例えば、米国特許第3933454号明細書には、スートプリフォームを形成する適切な方法および装置が開示されている。スートプリフォーム5は、純粋なシリカから形成しても、またはドープシリカ(例えば、Ge,Al,F,B,Er,Ti,Pおよび/またはSbをドープしたシリカ)から形成してもよい。スートプリフォーム5は、SiO2,Al2O3,Er2O3,TiO2,FまたはGeO2などの適切なガラス改質剤またはガラス形成剤を含んでもよい。スートプリフォーム5は、複数の隙間が画成されている多孔質構造体である。スートプリフォーム5はその全長に亘り延在する通路5Aを含むことが好ましく、この通路は化学的気相堆積装置のマンドレルがそこから取り除かれた跡である。スートプリフォームは、図示したガラスプリフォームハンドル50を含んでもよい。
【0016】
装置100は、圧力チャンバ112を画成する圧力容器110を含む。この容器は、環状マッフル110Aおよび蓋110Bを含む。蓋110Bは、蓋と容器の間に高圧気密シールを提供するように容器110上に取り付けられることが好ましい。ハンドル120は、蓋110Bからチャンバ112中に延在している。駆動装置170が容器110上に取り付けられている。駆動装置170は、蓋110Bの外側に取り付けられた駆動モータ172および蓋110Bの内側に取り付けられた伝達ユニット174を含む。駆動モータ172は、伝達ユニット174がハンドル120を、したがって、プリフォーム5を回転させ(好ましくは、図示したように垂直軸の周りに)るように蓋110Bを通して、伝達ユニット174に磁気結合されている。駆動装置170により、相対的に動く部品の間にシールを必要とせずに、プリフォーム5を回転させることができる。
【0017】
装置100は、適切に改良された従来の固結炉を含んでもよい。例えば、圧力容器110を、以下に論じるように比較的大きな内部ドープ圧に耐えられるように強化する必要があるであろう。チャンバ112およびスートプリフォーム5は、純粋な石英マッフルにより実質的に完全に取り囲まれていることが好ましい。
【0018】
スートプリフォーム5は、圧力チャンバ112内に配置され、ハンドル120から吊り下げられている(ブロック15)。回転させるときに、スートプリフォーム5は、それにより回転させるためにハンドル120から吊り下げてもよい。必要に応じて、スートプリフォーム5は、チャンバ112を通してスートプリフォーム5の周りに適切な乾燥用ガスを流して、スートプリフォーム5から水およびヒドロキシルイオンを除去することにより、乾燥させてもよい(ブロック20)。乾燥用ガス(好ましくは、塩素含有ガス)は、約30から90分間に亘り約10から40slpm(標準リットル毎分)の流量で提供され、一方で、スートプリフォーム5は、約1000から1200℃の温度に維持される。適切な乾燥用ガスとしては、Cl2,GeCl4,SiCl4,CCl4,SOC2およびPOCl3が挙げられる。圧力チャンバ112は、加熱装置114(例えば、抵抗ヒータまたは誘電コイルヒータ)を用いて加熱してもよい。乾燥用ガスの流れは、以下に記載するように流体制御装置152を用いて、または他の適した手段により提供してもよい。
【0019】
ドープ雰囲気150が圧力チャンバ112内においてスートプリフォーム5の周りに提供される(ブロック25)。ドープ雰囲気は、流体制御装置152を用いて提供される。流体制御装置152は、制御器130、チャンバ入口弁132、チャンバ出口弁134、圧縮機136、搬送ガスIGの供給源140、搬送ガス弁142、塩素含有ガスCG(すなわち、塩素含有化合物を含むガス)の供給源144、塩素ガス弁146および圧力計126を含む。弁132,134,142および146並びに圧縮機136は、制御器130により制御されていてもよい。
【0020】
最初に、弁132および134を開いて、圧縮機136から、入口122、チャンバ112および出口121を通る流路を提供する。圧縮機136および弁142と146は協働して、搬送ガスIGおよび塩素含有ガスCGを所望の比率で含むドープガスDGを調製し、ドープガスDGを圧力チャンバ112中に送り込む。先にチャンバ112中にあった雰囲気がパージされ、チャンバ112がドープガスDGで実質的に完全に満たされるまで、弁134は開いたままである。
【0021】
圧力チャンバ112がドープガスDGで実質的に満たされた後、制御器130が圧縮機136および弁142,146を作動させて、選択された量のドープガスDGをチャンバ112中に導入し、それによって、ドープ雰囲気150を形成する。制御器130はさらに、弁132,134、圧縮機136および/または加熱装置114を作動させて、ドープ雰囲気150を選択されたドープ圧PDまで加圧し、ドープ雰囲気150を選択されたドープ温度まで加熱する。このことは、出口弁134を閉じ、ドープ雰囲気150を選択されたドープ温度TDに維持し、ドープ雰囲気150がドープ圧PD(圧力計126により制御器130に示されるように)に到達するまでドープガスDGをチャンバ112中に送り込み続ける。弁132は、ドープ雰囲気150をドープ圧PDに維持するように閉じられていてもよく、一方で、加熱装置114は、ドープ雰囲気150の温度をドープ温度TDに維持する。
【0022】
当業者には、ドープ雰囲気150にドープ圧PDと同時にドープ温度TDを与える他の方法を用いてもよいことがこの説明から分かるであろう。例えば、ドープ雰囲気150は、充填温度TFに維持し、充填圧PFに維持してもよく、充填温度TFおよび充填圧PFは、チャンバ112が密閉され、ドープ雰囲気150がドープ温度TDまで加熱される場合、ドープ雰囲気150の圧力はドープ圧PDと等しくなるように選択される。
【0023】
ドープ雰囲気150は、選択された反応時間tRに亘り、圧力チャンバ112内のスートプリフォーム5の周りで、ドープ圧PDおよびドープ温度TDに維持される。ドープ圧PDは少なくとも1.013×102kPaであり、ドープ温度TDおよび反応時間tRは、選択された塩素ドープレベルをスートプリフォーム5に与えるように選択される。ドープガスDG中に存在する塩素は、スートプリフォーム5に高レベルの塩素がドープされるように、多孔質スートプリフォーム5と反応し、その中に拡散する。スートプリフォーム5は、反応時間tRの間に回転されていてもよい。圧力容器110は、反応時間tR中ずっと気密に密閉されていることが好ましい。
【0024】
絶対ドープ圧PDは少なくとも約2.026×102kPaであることが好ましい。絶対ドープ圧PDは約4.052×102kPaから約16.32×102kPaであることがより好ましい。塩素含有ガスCGのドープ分圧PPDは、例えば、排気弁134を閉じたままにしながら塩素含有ガスCGをチャンバ中に加えることにより、反応時間tR中ずっと実質的に一定に維持される。しかしながら、ドープ分圧PPDは変更してもよい。ドープ圧PDは、反応時間tR中ずっと10%以下しか変動しないことが好ましい。
【0025】
ドープ温度TDは少なくとも約1000℃であることが好ましい。ドープ温度TDは約1250から1350℃であることがより好ましい。ドープ温度TDは反応時間tR中ずっと約1%以下しか変動しないことが好ましい。
【0026】
ドープ雰囲気150中の塩素のモル百分率は約20%より大きいことが好ましい。ドープ雰囲気150中に存在する塩素のモル百分率は約20から40%であることがより好ましい。
【0027】
反応時間tRは少なくとも60分であることが好ましい。反応時間tRは約60から180分であることがより好ましい。
【0028】
ドープされたスートプリフォーム5中に存在する塩素の重量百分率は、粘度、線熱膨張(LTE)、屈折率、および/または他の選択された特性を適合させるのに必要なように選択してよい。ドープされたスートプリフォーム5中に存在する塩素の重量百分率は1%より大きいことが好ましい。ドープされたスートプリフォーム5中に存在する塩素の重量百分率は約1から1.5%であることがより好ましい。
【0029】
塩素含有ガスCGは、以下を一つ以上含んでもよい:GeCl4,SiCl4,Cl2,CCl4,SOCl2およびPOCl3。塩素含有ガスCGがSiCl4またはCl2を含有することが好ましい。適切な搬送ガスIGとしては、He,Ar,CO,およびN2が挙げられる。
【0030】
反応時間tRの終わりに、ドープ雰囲気150は減圧される(ブロック40)。SiCl4,GeO,Cl2,O2,He,ArまたはN2などの排出ガスEGは、弁134を開放することにより、出口121を通して放出してもよい。所望であれば、加圧ドープ工程は、スートプリフォーム5をさらにドープするために繰り返してもよい。最後のドープ工程後、スートプリフォーム5を焼結(すなわち、固結)して、ドープされたガラスプリフォームを形成してもよい。焼結工程は、公知または他の適切な技法を利用してスートプリフォーム5を焼結するために、加熱装置114および/または別の加熱装置を用いて、圧力チャンバ112内でドープされたスートプリフォーム5を加熱する工程を含んでもよい。焼結工程は、スートプリフォーム5を約1300から1600℃の温度まで加熱する工程を含むことが好ましい。
【0031】
あるいは、ドープされたスートプリフォームを反応時間の終わり(ブロック30)に焼結してもよい(ブロック50)。その後、ドープ雰囲気150を減圧してもよい(ブロック55)。上述したように、焼結工程(ブロック50)の前に、多数のドープ周期を行ってもよい。ブロック55の焼結工程は、ブロック45の焼結工程について上述したのと同じ様式で同じパラメータを用いて行うことが好ましい。
【0032】
公知の様式で、塩素ドープガラスプリフォームを線引きし、切断して、塩素ドープガラスケインを形成してもよい。OVDなどの適切な堆積法を用いて、ガラスケインの周りにシリカスートの第2の外側層を堆積してもよい。次に、外側のスート層を塩素ドープガラスケインの周りに固結させて、図3に示すような多層のガラスプリフォーム2を形成する。プリフォーム2は、固結された塩素ドープスートプリフォーム5から形成されたコア5B、および固結された外側スート層から形成された外層6を含む。
【0033】
層5Bおよび6は、これらの層5Bおよび6がそこから形成される材料は、層5Bに塩素がドープされていないと、約1600から2150℃の範囲の線引き温度で互いに異なる粘度を有することにより特徴付けられるであろう。層5Bの塩素ドープは、内側層5Bが本発明により塩素ドープされていない場合よりも、線引き温度での内側層5Bと外側層6との合致がより近くなるように働くであろう。内側層5Bは塩素がドープされたSiO2−GeO2から形成されていることが好ましい。外側層6はF−SiO2から形成されていることが好ましい。必要に応じて、内側層5Bは塩素ドープシリカから形成され、外側層6はフッ素ドープシリカから形成されていてもよい。
【0034】
前述した多層プリフォーム2は塩素ドープコアを含む。しかしながら、コア以外の内側層が塩素ドープされ、外側層はクラッド層であってもよい。内側層がコアの内側部分であり、外側層がコアの外側部分であってもよい。同様に、塩素ドープ層がクラッドの内側部分であり、外側層がクラッドの外側部分であってもよい。
【0035】
特に、反応時間tR中ずっと圧力チャンバ112を密閉することにより、排出された未反応塩素の量を実質的に減少させてもよい。さらに、排出ガスの全体量は実質的に減少する。したがって、ドープガスDGの相当な費用および排出ガスを処理、再利用または廃棄するための相当な費用が、同様に減少するであろう。
【0036】
上述したように、圧力チャンバ112は反応時間tR中ずっと完全に密閉されていることが好ましい。しかしながら、上述した方法は、ドープ雰囲気をドープ圧PDに維持しながら、ドープガスDGの流れを圧力チャンバ112中に導入し、実質的に同量の排出ガスEGの流れを圧力チャンバ112から排出するように改良されていてもよい。
【0037】
上記は、本発明の説明であって、本発明を限定するものと解釈すべきではない。本発明のいくつかの実施の形態を説明してきたが、本発明の新規の教示および利点から実質的に逸脱せずに、実施の形態に多くの改変を行うことができるのが当業者には容易に理解されるであろう。したがって、そのような改変の全ては、特許請求の範囲に定義された本発明の範囲内に含むことが意図されている。したがって、上記は本発明の説明であって、開示された特定の実施の形態に制限されるものと解釈されるべきではなく、開示された実施の形態並びに他の実施の形態の改変は、添付された特許請求の範囲に含まれることを意図するものであるのが理解されよう。本発明は特許請求の範囲により定義され、請求項の同等物もその中に含まれるべきである。
【図面の簡単な説明】
【0038】
【図1】塩素ドープガラスプリフォームを形成するための、本発明の実施の形態による方法を示す流れ図
【図2】塩素ドープガラスプリフォームを形成するための、本発明の実施の形態による装置を示す概略図
【図3】本発明の方法を用いて形成された多層ガラスプリフォームの断面図
【符号の説明】
【0039】
2 多層ガラスプリフォーム
5 スートプリフォーム
6 外側層
100 本発明の装置
110 圧力容器
112 圧力チャンバ
114 加熱装置
120 ハンドル
130 制御器
150 ドープ雰囲気
170 駆動装置
Claims (12)
- 光導波路プリフォームの製造方法であって、
スートプリフォームを、塩素含有ガスを含む雰囲気に露出し、それによって、該スートプリフォームに塩素をドープする工程を有してなり、前記雰囲気の絶対圧が1.013×102kPaより実質的に大きいことを特徴とする方法。 - 前記雰囲気中に存在する塩素のモル百分率が約20%より大きいことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記雰囲気中に存在する塩素のモル百分率が約20%から約40%までであることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記スートプリフォーム中に存在する塩素の重量百分率が約1%より大きいことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記塩素含有ガスが、GeCl4,SiCl4,Cl2,CCl4,SOCl2、POCl3およびそれらの組合せからなる群より選択されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記雰囲気が少なくとも約1000℃の温度であることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記雰囲気が約1250℃から約1350℃の範囲の温度であることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記雰囲気の絶対圧が約2.026×102kPaより大きいことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記雰囲気の絶対圧が約4.052×102kPaから約16.32×102kPaまでであることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記スートプリフォームを前記雰囲気に少なくとも60分間に亘り露出する工程を含むことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記スートプリフォームを前記雰囲気に約60分から約180分間に亘り露出する工程を含むことを特徴とする請求項1記載の方法。
- スートプリフォームを用いて光導波路プリフォームを製造するための装置において、
a) 前記スートプリフォームを収容するように適合された圧力チャンバを画成し、該チャンバを加熱するように動作できる加熱装置を含む炉であって、前記圧力チャンバが、実質的に1.013×102kPaより実質的に大きい絶対圧を達成できるものである炉、および
b) 1.013×102kPaより実質的に大きい絶対圧で前記チャンバ内に塩素含有ガスを含む雰囲気を提供するように動作できる流体制御装置、
を備えたことを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/035,535 US20030079504A1 (en) | 2001-10-26 | 2001-10-26 | Methods and apparatus for forming a chlorine-doped optical waveguide preform |
PCT/US2002/030173 WO2003037810A1 (en) | 2001-10-26 | 2002-09-23 | Methods and apparatus for forming a chlorine-doped optical waveguide preform |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005507845A true JP2005507845A (ja) | 2005-03-24 |
Family
ID=21883310
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003540096A Pending JP2005507845A (ja) | 2001-10-26 | 2002-09-23 | 塩素ドープ光導波路プリフォームを形成する方法および装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20030079504A1 (ja) |
EP (1) | EP1438268A4 (ja) |
JP (1) | JP2005507845A (ja) |
WO (1) | WO2003037810A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1285522C (zh) * | 2001-06-13 | 2006-11-22 | 住友电气工业株式会社 | 玻璃预制棒及用于制造玻璃预制棒的方法 |
US6917740B2 (en) | 2003-05-30 | 2005-07-12 | Corning Incorporated | Optical fiber having reduced viscosity mismatch |
JP2006151715A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法及び製造装置 |
JP2012189804A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ |
CN105916823A (zh) * | 2014-01-16 | 2016-08-31 | 古河电气工业株式会社 | 光纤预制棒的制造方法以及光纤的制造方法 |
US9586853B2 (en) * | 2014-07-09 | 2017-03-07 | Corning Incorporated | Method of making optical fibers in a reducing atmosphere |
US9618692B2 (en) | 2014-07-10 | 2017-04-11 | Corning Incorporated | High chlorine content low attenuation optical fiber |
US9594210B2 (en) | 2015-06-30 | 2017-03-14 | Corning Incorporated | Optical fiber with large effective area and low bending loss |
EP3516435B1 (en) | 2016-09-21 | 2022-04-27 | Corning Incorporated | Optical fibers having a varying clad index and methods of forming same |
NL2019876B1 (en) | 2017-10-20 | 2019-04-29 | Corning Inc | Optical fiber preforms with halogen doping |
US10947149B2 (en) * | 2017-10-30 | 2021-03-16 | Corning Incorporated | Halogen-doped silica for optical fiber preforms |
US11175450B2 (en) | 2018-08-08 | 2021-11-16 | Corning Incorporated | Halogen co-doped optical fibers |
WO2020033199A1 (en) * | 2018-08-08 | 2020-02-13 | Corning Incorporated | Methods of making halogen doped silica preforms for optical fibers |
US11733459B2 (en) * | 2018-12-31 | 2023-08-22 | Sterlite Technologies Limited | Method for modification of surface of optical fiber preform |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3933454A (en) * | 1974-04-22 | 1976-01-20 | Corning Glass Works | Method of making optical waveguides |
US4629485A (en) * | 1983-09-26 | 1986-12-16 | Corning Glass Works | Method of making fluorine doped optical preform and fiber and resultant articles |
EP0181595A3 (en) * | 1984-11-15 | 1986-08-06 | Polaroid Corporation | Dielectric waveguide with chlorine dopant |
CA1290942C (en) * | 1985-03-18 | 1991-10-22 | Michihisa Kyoto | Method for producing glass preform for optical fiber |
JPS61247633A (ja) * | 1985-04-25 | 1986-11-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ−用ガラス母材の製造方法 |
US4950319A (en) * | 1986-01-30 | 1990-08-21 | Corning Incorporated | Heating oven for preparing optical waveguide fibers |
IT1223660B (it) * | 1988-07-04 | 1990-09-29 | Pirelli Cavi Spa | Procedimento per la fabbricazione di guide ottiche integrate in vetro a base di fluoruri |
US5259856A (en) * | 1989-09-06 | 1993-11-09 | Sumitomo Electric Industrial, Ltd. | Method of producing glass preform in furnace for heating glass |
DE4028275A1 (de) * | 1990-09-06 | 1992-03-12 | Kabelmetal Electro Gmbh | Verfahren zur herstellung von glasfaser-lichtwellenleitern mit erhoehter zugfestigkeit |
DE19505929C1 (de) * | 1995-02-21 | 1996-03-28 | Heraeus Quarzglas | Optisches Bauteil |
JP3845906B2 (ja) * | 1996-08-09 | 2006-11-15 | 住友電気工業株式会社 | 合成シリカガラスの製造方法 |
WO2000042458A1 (fr) * | 1999-01-18 | 2000-07-20 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Fibre optique et son procede de fabrication |
-
2001
- 2001-10-26 US US10/035,535 patent/US20030079504A1/en not_active Abandoned
-
2002
- 2002-09-23 EP EP02780342A patent/EP1438268A4/en not_active Withdrawn
- 2002-09-23 JP JP2003540096A patent/JP2005507845A/ja active Pending
- 2002-09-23 WO PCT/US2002/030173 patent/WO2003037810A1/en not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030079504A1 (en) | 2003-05-01 |
EP1438268A1 (en) | 2004-07-21 |
EP1438268A4 (en) | 2005-06-01 |
WO2003037810A1 (en) | 2003-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2005507845A (ja) | 塩素ドープ光導波路プリフォームを形成する方法および装置 | |
US7363776B2 (en) | Method for forming fused quartz using deuterium | |
FI68391B (fi) | Vaesentligen kontinuerligt foerfarande foer framstaellning av ett aemne foer en optisk vaogledare | |
US20120036896A1 (en) | Method of Manufacturing an Optical Fibre Preform | |
CN105939974B (zh) | 缩短光纤预制件的加工时间的方法 | |
JP4475387B2 (ja) | スートプリフォームをパルス式ドープするまたは乾燥させる方法および装置 | |
US6487880B1 (en) | Optical fiber preform manufacturing apparatus | |
US20130025326A1 (en) | Methods for manufacturing low water peak optical waveguide | |
JP2007516929A (ja) | 光ファイバ・プリフォームの製造方法 | |
JPH05351B2 (ja) | ||
CN107848865B (zh) | 制造用于具有低的衰减损失的光纤的预制件的方法 | |
EP3473603B1 (en) | Method of making halogen doped silica | |
CN111278780B (zh) | 制造卤素掺杂的二氧化硅的方法 | |
GB1596088A (en) | Method of making glass articles | |
US6050108A (en) | Method for producing glass preform | |
US8011209B2 (en) | Method of making glass | |
JP2003212561A (ja) | ガラス母材の製造方法および製造装置 | |
JPS6065742A (ja) | Vad法による光フアイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
WO2002098806A1 (en) | Method of manufacturing an optical fiber from a perform and optical fiber made by the method | |
JPH0350134A (ja) | フッ化物ガラス光ファイバの線引き方法 | |
JP2003321238A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法および装置 | |
JPH0781957A (ja) | 石英系ガラス微粒子体の透明ガラス化炉及びその透明ガラス化方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050714 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080304 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080805 |