JP7378824B2 - 微細パターン成形方法、インプリント用モールド製造方法およびインプリント用モールド並びに光学デバイス - Google Patents
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Description
2,2A 被成形物
3 樹脂膜
4,4A,4B レジスト膜
5 アライメントマーク
6 光学素子
11 微細パターン
21,21A,21B 微細パターン
31,31A,31B 第1マスクパターン
41,41A,41B 第2マスクパターン
Claims (10)
- 微細パターンを形成するための成形方法であって、
インプリント法によって、前記微細パターンを形成するための第1マスクパターンを被成形物の少なくとも前記微細パターンが形成されていない領域を含む表面に形成する第1マスクパターン形成工程と、
前記被成形物および前記第1マスクパターン上にレジスト膜を形成し、当該レジスト膜に光照射によって露光すると共に現像をして、前記微細パターンが形成されておらず前記第1マスクパターンが形成されている領域が露出する第2マスクパターンを形成する第2マスクパターン形成工程と、
前記第1マスクパターンおよび前記第2マスクパターンを利用してエッチングを行い、前記被成形物上に微細パターンを形成する微細パターン形成工程と、
を有し、前記第1マスクパターン形成工程、前記第2マスクパターン形成工程および前記微細パターン形成工程をこの順番で繰り返して微細パターンを形成することを特徴とする成形方法。 - 前記第2マスクパターン形成工程における前記光照射は、レーザ描画を用いることを特徴とする請求項1記載の成形方法。
- 前記第1マスクパターン形成工程、前記第2マスクパターン形成工程および前記微細パターン形成工程を3回繰り返すことを特徴とする請求項1又は2記載の成形方法。
- 少なくとも2回目以降の前記第2マスクパターン形成工程における前記光照射は、前記被成形物に形成されたアライメントマークを用いて行われることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の成形方法。
- 前記被成形物上にレジスト膜を形成し、当該レジスト膜に光照射によって露光すると共に現像して、アライメントマーク用マスクパターンを形成し、当該アライメントマーク用マスクパターンを利用してエッチングを行い、前記被成形物上にアライメントマークを形成するアライメントマーク形成工程を有することを特徴とする請求項4記載の成形方法。
- 前記アライメントマーク形成工程は、1回目の前記第2マスクパターン形成工程で形成したレジスト膜に光照射によって露光し、当該第2マスクパターン形成工程の現像によって前記第2マスクパターンの形成と同時に前記アライメントマーク用マスクパターンを形成し、1回目の前記微細パターン形成工程のエッチングによって前記アライメントマークを形成することを特徴とする請求項5記載の成形方法。
- 前記微細パターンは、ピッチが200nm以下であることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の成形方法。
- 前記インプリント法は、
膜厚が200nm以下の樹脂からなる膜が形成されたスタンプ台に前記第1マスクパターンを反転させた反転パターンを有する型を接触させて、当該型の表面に前記樹脂を塗布する塗布工程と、
前記被成形物に前記型を押圧し、前記樹脂を硬化させた後に離型して、前記被成形物の表面に前記第1マスクパターンを形成する転写工程と、
を有することを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の成形方法。 - 基板上の前記被成形物に、前記請求項1ないし8のいずれかの記載の成形方法で第1の前記微細パターンを有するハードマスクを形成するハードマスク形成工程と、
前記ハードマスクを利用してエッチングを行い、前記基板上に第2の微細パターンを形成する第2微細パターン形成工程と、
を有することを特徴とする成形方法。 - 請求項9記載の成形方法によってインプリント用モールドを形成することを特徴とするインプリント用モールド製造方法。
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