JP7364688B2 - トレンチに薄膜を堆積する方法 - Google Patents
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Description
図1Aは、基板102上に配置された第1の層110を含むワークピース100を示す。第1の層110は、単結晶シリコン(Si)、ポリシリコン、非晶質シリコン、窒化ケイ素(SiN)、酸化ケイ素(SiO)、酸窒化ケイ素(SiON)、溶融シリカ、一又は複数の金属酸化物、それらのドープされた誘導体、又はそれらの組み合わせを含み得る。第1の層110は、中に形成された複数の構造体114、115を含み得る。複数の構造体114、115は、垂直フィン、傾斜フィン、又はピラー(例えばナノピラー)を含み得る。
図3Aは、ワークピース200を示し、ワークピース200は、図1Aでワークピース100について上で討論されているように、基板102上に配置され、複数のトレンチ112、113と一又は複数の構造体114、115とを有する第1の層110を含む。
図5Aは、ワークピース300を示し、ワークピース300は、図1Aでワークピース100について上で討論されているように、基板102上に配置され、複数のトレンチ112、113と複数の構造体114、115とを有する第1の層110を含む。
Claims (14)
- ワークピースを処理するための方法であって、
基板上に配置された第1の層上にマスクを適用することであって、前記マスクが、前記第1の層の第1の部分を覆い、前記第1の層の第2の部分を曝露されたままにする、マスクを適用することと、
前記第1の層の前記第2の部分上に第2の層を堆積することと、
前記第1の層の前記第1の部分から前記マスクを除去することであって、前記第1の層の前記第1の部分が曝露され、前記第1の層の前記第2の部分が、上に堆積された前記第2の層を有する、前記マスクを除去することと、
前記第2の層を硬化プロセスに曝露することと、
を含み、
前記第1の層の前記第1の部分が、第1の複数のトレンチを含み、前記第1の層の前記第2の部分が、第2の複数のトレンチを含み、
前記第1の複数のトレンチの少なくとも一つが、前記第1の層の表面に対して15°から75°の角度をなす、
方法。 - ワークピースを処理するための方法であって、
基板上に配置された第1の層上にマスクを適用することであって、前記マスクが、前記第1の層の第1の部分を覆い、前記第1の層の第2の部分を曝露されたままにする、マスクを適用することと、
前記第1の層の前記第2の部分上に第2の層を堆積することと、
前記第1の層の前記第1の部分から前記マスクを除去することであって、前記第1の層の前記第1の部分が曝露され、前記第1の層の前記第2の部分が、上に堆積された前記第2の層を有する、前記マスクを除去することと、
前記第2の層を硬化プロセスに曝露することと、
を含み、
前記第1の層の前記第1の部分が、第1の複数のトレンチを含み、前記第1の層の前記第2の部分が、第2の複数のトレンチを含み、
前記第2の複数のトレンチの少なくとも一つが、前記第1の層の表面に対して15°から75°の角度をなす、
方法。 - 前記硬化プロセスが、熱硬化プロセス、紫外線硬化プロセス、プラズマ支援処理プロセス、イオンビーム処理プロセス、eビーム処理、ベイキング処理、及びそれらの任意の組み合わせからなる群より選択される、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記第2の層が、前記硬化プロセス中にオゾンに曝露される、請求項3に記載の方法。
- 前記マスクの除去後、エッチングプロセス中に前記第1の層の前記第1の部分から残留材料を除去することをさらに含む、請求項1又は2に記載の方法。
- ワークピースを処理するための方法であって、
未硬化組成物を含む第2の層を基板上に配置された第1の層上に堆積することと、
前記第2の層上にマスクを適用することであって、前記マスクが、前記第2の層の第1の部分を覆い、前記第2の層の第2の部分を曝露されたままにし、前記第1の層の第1の部分が、前記第2の層の前記第1の部分の下に配置され、前記第1の層の第2の部分が、前記第2の層の前記第2の部分の下に配置された、前記マスクを適用することと、
前記マスクと前記第2の層の前記第2の部分とを硬化プロセスに曝露することであって、前記マスクが前記第2の層の前記第1の部分を前記硬化プロセスから遮蔽し、その一方、前記第2の層の前記第2の部分が前記硬化プロセス中に少なくとも部分的に硬化され、前記硬化プロセスの後に、前記第2の層の前記第1の部分が前記未硬化組成物を含み、前記第2の層の前記第2の部分が前記未硬化組成物から形成された硬化組成物を含む、前記マスクと前記第2の層の前記第2の部分とを前記硬化プロセスに曝露することと、
前記マスクと、前記未硬化組成物を含む前記第2の層の前記第1の部分とを除去することと、
を含み、
前記第1の層の前記第1の部分が、第1の複数のトレンチを含み、前記第1の層の前記第2の部分が、第2の複数のトレンチを含み、
前記第1の複数のトレンチの少なくとも一つが、前記第1の層の表面に対して15°から75°の角度をなす、
方法。 - ワークピースを処理するための方法であって、
未硬化組成物を含む第2の層を基板上に配置された第1の層上に堆積することと、
前記第2の層上にマスクを適用することであって、前記マスクが、前記第2の層の第1の部分を覆い、前記第2の層の第2の部分を曝露されたままにし、前記第1の層の第1の部分が、前記第2の層の前記第1の部分の下に配置され、前記第1の層の第2の部分が、前記第2の層の前記第2の部分の下に配置された、前記マスクを適用することと、
前記マスクと前記第2の層の前記第2の部分とを硬化プロセスに曝露することであって、前記マスクが前記第2の層の前記第1の部分を前記硬化プロセスから遮蔽し、その一方、前記第2の層の前記第2の部分が前記硬化プロセス中に少なくとも部分的に硬化され、前記硬化プロセスの後に、前記第2の層の前記第1の部分が前記未硬化組成物を含み、前記第2の層の前記第2の部分が前記未硬化組成物から形成された硬化組成物を含む、前記マスクと前記第2の層の前記第2の部分とを前記硬化プロセスに曝露することと、
前記マスクと、前記未硬化組成物を含む前記第2の層の前記第1の部分とを除去することと、
を含み、
前記第1の層の前記第1の部分が、第1の複数のトレンチを含み、前記第1の層の前記第2の部分が、第2の複数のトレンチを含み、
前記第2の複数のトレンチの少なくとも一つが、前記第1の層の表面に対して15°から75°の角度をなす、
方法。 - 前記マスクと前記第2の層の前記第1の部分とが、同じプロセス中に除去される、請求項6又は7に記載の方法。
- 前記第2の層の前記第1の部分が、エッチングプロセスにより除去される、請求項6又は7に記載の方法。
- 前記硬化プロセスが、熱硬化プロセス、紫外線硬化プロセス、プラズマ支援処理プロセス、イオンビーム処理プロセス、eビーム処理、ベイキング処理、及びそれらの任意の組み合わせからなる群より選択される、請求項6又は7に記載の方法。
- ワークピースを処理するための方法であって、
未硬化組成物を含む第2の層を基板上に配置された第1の層上に堆積することと、
前記第2の層上にマスクを適用することであって、前記マスクが、前記第2の層の第1の部分を覆い、前記第2の層の第2の部分を曝露されたままにし、前記第1の層の第1の部分が、前記第2の層の前記第1の部分の下に配置され、前記第1の層の第2の部分が、前記第2の層の前記第2の部分の下に配置された、前記マスクを適用することと、
前記マスクと前記第2の層の前記第2の部分とをエッチングプロセスに曝露することであって、前記マスクが前記第2の層の前記第1の部分をエッチングプロセスから遮蔽し、その一方、前記第2の層の前記第2の部分が前記エッチングプロセス中に少なくとも部分的にエッチングされる、前記マスクと前記第2の層の前記第2の部分とをエッチングプロセスに曝露することと、
前記マスクを除去することと、
を含み、
前記第1の層の前記第1の部分が、第1の複数のトレンチを含み、前記第1の層の前記第2の部分が、第2の複数のトレンチを含み、
前記第1の複数のトレンチの少なくとも一つが、前記第1の層の表面に対して15°から75°の角度をなす、
方法。 - ワークピースを処理するための方法であって、
未硬化組成物を含む第2の層を基板上に配置された第1の層上に堆積することと、
前記第2の層上にマスクを適用することであって、前記マスクが、前記第2の層の第1の部分を覆い、前記第2の層の第2の部分を曝露されたままにし、前記第1の層の第1の部分が、前記第2の層の前記第1の部分の下に配置され、前記第1の層の第2の部分が、前記第2の層の前記第2の部分の下に配置された、前記マスクを適用することと、
前記マスクと前記第2の層の前記第2の部分とをエッチングプロセスに曝露することであって、前記マスクが前記第2の層の前記第1の部分をエッチングプロセスから遮蔽し、その一方、前記第2の層の前記第2の部分が前記エッチングプロセス中に少なくとも部分的にエッチングされる、前記マスクと前記第2の層の前記第2の部分とをエッチングプロセスに曝露することと、
前記マスクを除去することと、
を含み、
前記第1の層の前記第1の部分が、第1の複数のトレンチを含み、前記第1の層の前記第2の部分が、第2の複数のトレンチを含み、
前記第2の複数のトレンチの少なくとも一つが、前記第1の層の表面に対して15°から75°の角度をなす、
方法。 - 前記マスクを前記第2の層上に適用する前に、硬化プロセスを用いて前記第2の層を硬化することをさらに含む、請求項11又は12に記載の方法。
- 前記硬化プロセスが、熱硬化プロセス、紫外線硬化プロセス、プラズマ支援処理プロセス、イオンビーム処理プロセス、eビーム処理、ベイキング処理、及びそれらの任意の組み合わせからなる群より選択される、請求項13に記載の方法。
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