JP7358647B2 - 成膜方法 - Google Patents
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Description
上記複数のロータリターゲットは、上記中心軸が互いに平行で、かつ上記中心軸が上記基板と平行になるように配置される。
上記複数のロータリターゲットに電力を投入しながら、上記複数のロータリターゲットのそれぞれの上記磁石を、上記中心軸の周りに、上記基板に最も近いA点を有する円弧上を移動させながら、上記基板にスパッタリング成膜を行い、上記複数のロータリターゲットの内、少なくとも両端に配置された一対のロータリターゲットの上記磁石は、上記円弧上において、上記A点より上記基板の中心から離れた領域で成膜する時間が上記A点より上記基板の中心に近い領域で成膜する時間より短い。
11…成膜面
12a、12b…端部
20…中心軸
21…ターゲット面
201~210…ロータリターゲット
301~310…磁石
400…成膜装置
401…真空容器
403…電源
404…基板ホルダ
405…圧力計
406…ガス供給系
407…ガス流量計
408…排気系
410…制御装置
Claims (4)
- 中心軸とターゲット面とを有し、前記中心軸の周りに回転可能な磁石を内部に備えた複数のロータリターゲットを少なくとも3個以上用いて基板にスパッタリング成膜を行う成膜方法であって、
前記複数のロータリターゲットは、前記中心軸が互いに平行で、かつ前記中心軸が前記基板と平行になるように配置され、
前記複数のロータリターゲットに電力を投入しながら、前記複数のロータリターゲットのそれぞれの前記磁石を、前記中心軸の周りに、前記基板に最も近いA点を有する円弧上を移動させながら、前記基板にスパッタリング成膜を行い、
前記複数のロータリターゲットの内、少なくとも両端に配置された一対のロータリターゲットは、前記複数のロータリターゲットが並設する方向において、それぞれの一部が前記基板からはみだすように配置され、前記一対のロータリターゲットの前記磁石は、前記円弧上において、前記A点より前記基板の中心から離れた領域で成膜する時間が前記A点より前記基板の中心に近い領域で成膜する時間より短く、
前記一対のロータリターゲットの前記磁石は、前記基板の側から前記基板の外側へ移動する場合は、前記A点を通過した後に速度が上がり、前記基板の外側から前記基板の側へ移動する場合は前記A点を通過する前に速度が下がり、
前記一対のロータリターゲットの一方から数えて前記複数のロータリターゲットの群の中心に向かってN番目の前記ロータリターゲットの前記磁石と、前記一対のロータリターゲットの他方から数えて前記複数のロータリターゲットの群の中心に向かってN番目の前記ロータリターゲットの前記磁石とは、それぞれの角度に対する角速度の変化が前記磁石が回転移動する範囲において対称である
成膜方法。 - 請求項1に記載された成膜方法においては、
前記A点の前記磁石の角度を0度とし、前記0度から反時計回り方向を負角度、時計回り方向を正角度とした場合、
前記一対のロータリターゲットの前記磁石は、20度から90度までの範囲のいずれかの角度での位置と、-20度から-90度までの範囲のいずれかの角度での位置との間において回転移動する
成膜方法。 - 請求項1または2に記載された成膜方法においては、
前記両端に配置された一対のロータリターゲットの一方は、前記円弧上の前記A点より前記基板の中心に近い領域から成膜を開始し、
前記両端に配置された一対のロータリターゲットの他方は、前記円弧上の前記A点より前記基板の中心から離れた領域から成膜を開始する
成膜方法。 - 請求項1~3のいずれか1つに記載された成膜方法においては、
前記両端に配置された一対のロータリターゲットの前記磁石の移動において、前記円弧上の前記A点より前記基板の中心から離れた領域を移動する平均の角速度が前記A点より前記基板の中心に近い領域を移動する平均の角速度より速い
成膜方法。
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