KR20060045884A - 회전가능한 마그네트론의 대면적 어셈블리를 구비한코팅장치 - Google Patents
회전가능한 마그네트론의 대면적 어셈블리를 구비한코팅장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (13)
- 코팅 챔버 및 스퍼터링되어질 물질이 코팅과정중 회전하고 곡선 표면을 가지는 표적(4)상에, 특히 실린더의 측면상에 위치된 캐소드 어셈블리(cathode assembly)를 구비한 캐소드 스퍼터링(cathode sputtering)에 의한 대면적 기지의 코팅용 코팅장치에 있어서, 회전가능한 곡선화 표적(4)을 구비한 적어도 3개, 바람직하게는 그 이상 갯수의 캐소드 어셈블리(2)가 밀착 코팅 구역을 위한 단일의 코팅 챔버에서 서로 간격을 두고 위치하는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 회전가능한 곡선화 표적(4)을 구비한 캐소드 어셈블리가 말단면 영역의 한 말단에서 지지되는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 회전가능한 곡선화 표적(4)을 구비한 캐소드 어셈블리가 마그네트론인 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제3항에 있어서, 마그네트론 캐소드가 특히 캐소드의 세로축에 대하여 회전가능하거나 선회가능할 수 있는 자석(3) 또는 자석 어셈블리인 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제3항에 있어서, 상기 자석 어셈블리의 자석(3), 특히 가장자리 영역의 자석 은 자기장 영역(6)을 확대하기 위하여 선회 또는 옮겨질 수 있다.
- 제1항 내지 제5항중 어느 한 항에 있어서, 많은 수의 캐소드 어셈블리들이 코팅 구역에 위치되어질 기지으로부터 상이한 거리로 정렬되며, 상기 어셈블리들이 특히 코팅 구역 주위에 곡선을 형성하는 표면을 따라서 정렬되는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제1항 내지 제6항중 어느 한 항에 있어서, 많은 수의 캐소드 어셈블리들이 서로 간격을 두고, 세로축으로 서로 평행하도록 배치되며, 상기 캐소드 어셈블리들이 특히 같은 거리로 배치되고, 바람직하게는 오직 외부 캐소드 어셈블리들이 인접한 캐소드에 보다 근접하도록 간격을 두어 배치되는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제6항 또는 제7항중 어느 한 항에 있어서, 상기 캐소드 어셈블리가 캐소드 어셈블리에서 관찰할때 실린더 세로축이 코팅 구역 내부 또는 뒤쪽에 위치한 실린더의 측면상에 정렬되고, 바람직하게는 오직 2개의 외부 캐소드 어셈블리들만이 코팅 구역을 향하여 측면으로부터 옮겨지는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제8항에 있어서, 상기 실린더의 반지름이 코팅 구역과 캐소드 어셈블리간의 걸리보다 큰 것을 특징으로 코팅장치.
- 제3항 내지 제9항중 어느 한 항에 있어서, 상기 캐소드 어셈블리의 자석 또는 자석 어셈블리가 특히 코팅 구역을 향하여 방사상으로 배향되고, 특히 청구항 3항에 따른 상기 자석 또는 자석 어셈블리가 이와 같은 위치에 대하여 특히 정해진 속도로 선회가능한 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제3항 내지 제10항중 어느 한 항에 있어서, 코팅 구역에서 떨어져서 대향하는 측면상에, 특히 캐소드 어셈블리의 말단면 근처에 추가의 자석 또는 자석 어셈블리가 제공되며, 상기 자석 또는 자석 어셈블리는 코팅 공정중 플라즈마를 발생시켜 재침적을 방지하는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제1항 내지 제11항중 어느 한 항에 있어서, 상기 기지이 코팅 공정중 수송 장치에 의해 이동되는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제1항 내지 제12항중 어느 한 항에 있어서, 상기 코팅 구역이 평면인 것을 특징으로 하는 코팅장치
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