KR100692584B1 - 회전가능한 마그네트론의 대면적 어셈블리를 구비한코팅장치 - Google Patents
회전가능한 마그네트론의 대면적 어셈블리를 구비한코팅장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (15)
- 원통형 표면을 가지는 표적(4)상에 스퍼터링 되어질 물질이 위치된 캐소드 어셈블리(cathode assembly) 및 코팅 챔버를 구비한 캐소드 스퍼터링(cathode sputtering)에 의한 대면적 기지의 코팅용 코팅장치로서, 자석(3) 또는 자석 어셈블리는 상기 표적(4)의 내부에 정렬되어 있고, 회전가능한 원통형 표적(4)을 가진 3개 이상의 캐소드 어셈블리(2)는 밀착된 코팅 구역을 위하여 하나의 코팅 챔버에서 서로 옆에 위치하며, 상기 표적(4)은 움직이지 않는 대면적 기지에도 균질하게 코팅될 수 있도록 동일한 스퍼터링 되어질 물질을 담고 있는 코팅장치에 있어서, 코팅 공정 중에 상기 자석 또는 자석 어셈블리 주위로 상기 표적을 계속적으로 회전시키기 위한 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제1항에 있어서, 상기 회전가능한 원통형 표적(4)을 구비한 캐소드 어셈블리가 말단면 영역의 한 말단에서 지지되는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 삭제
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 마그네트론 캐소드가 캐소드의 세로축에 대하여 회전가능하거나 선회가능할 수 있는 상기 자석(3) 또는 자석 어셈블리를 가지는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 가장자리 영역에 있는 상기 자석 어셈블리의 자석(3)이 자기장 영역(6)을 확대하기 위하여 선회 또는 옮겨질 수 있는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제1항에 있어서, 많은 수의 상기 캐소드 어셈블리들이 코팅 구역에 위치된 기지로부터 상이한 거리로 정렬되는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제6항에 있어서, 많은 수의 상기 캐소드 어셈블리들이 서로 간격을 두고, 세로축으로 서로 평행하도록 배치되며, 상기 캐소드 어셈블리들이 같은 거리로 배치되고, 오직 외부 캐소드 어셈블리들이 인접한 캐소드에 보다 근접하도록 간격을 두어 배치되는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제6항에 있어서, 상기 캐소드 어셈블리가 캐소드 어셈블리에서 관찰할 때 실린더 세로축이 코팅 구역 내부 또는 뒤쪽에 위치한 실린더의 측면상에 정렬되고, 오직 2개의 외부 캐소드 어셈블리들만이 코팅 구역을 향하여 측면으로부터 옮겨지는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제8항에 있어서, 상기 실린더의 반지름이 상기 코팅 구역과 캐소드 어셈블리간의 거리보다 큰 것을 특징으로 코팅장치.
- 제6항에 있어서, 상기 캐소드 어셈블리의 자석 또는 자석 어셈블리가 상기 코팅 구역을 향하여 방사상으로 배향되고, 상기 자석 또는 자석 어셈블리가 이와 같은 위치에 대하여 정해진 속도로 선회가능한 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제1항에 있어서, 코팅 구역에서 떨어져서 대향하는 측면상에 추가의 자석 또는 자석 어셈블리가 제공되며, 상기 자석 또는 자석 어셈블리는 코팅 공정 중 플라즈마를 발생시켜 재침적을 방지하는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제1항에 있어서, 상기 기지가 코팅 공정 중 수송 장치에 의해 이동되는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 삭제
- 제6항에 있어서, 많은 수의 상기 캐소드 어셈블리는 코팅 구역 주위에 곡선을 형성하는 표면을 따라서 정렬되는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
- 제11항에 있어서, 상기 추가의 자석 또는 자석 어셈블리는 상기 캐소드 어셈블리의 말단면 근처에 제공되는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
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TH20708A (th) | การใช้แอโนดหลายตัวในแมกนีตรอนสำหรับการปรับปรุงสภาพสม่ำเสมอของพลาสมาสำหรับแมกนีตรอนให้ดีขึ้น |
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