JP7353406B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
2 ・・・ウェハチャック
3 ・・・乾燥空気供給手段
4 ・・・移動手段
10 ・・・研磨ヘッド
12 ・・・収容部
13 ・・・開口
14 ・・・透光窓
20 ・・・スピンドル
21 ・・・モータ
22 ・・・回転部
23 ・・・固定部
24 ・・・ベアリング
25 ・・・被支持部
26 ・・・空洞
30 ・・・研磨パッド
31 ・・・研磨面
32 ・・・供給孔
40 ・・・送り機構
41 ・・・モータ
42 ・・・ボールネジ
43 ・・・スライダ
50 ・・・配管
51 ・・・ロータリージョイント
52 ・・・スラリー供給源
60 ・・・厚み測定手段
61 ・・・センサヘッド
62 ・・・ブラケット
70 ・・・制御装置
W ・・・ウェハ
a1 ・・・(ウェハチャックの)回転軸
a2 ・・・(研磨ヘッドの)回転軸
Claims (1)
- ウェハの研磨装置であって、
前記ウェハの上面を研磨する研磨パッドと、前記研磨パッドの研磨面に開口する収容部と、を備えている研磨ヘッドと、
前記収容部内に設けられたセンサヘッドを備え、前記開口を介して前記ウェハの厚みを非接触で測定する光学式の厚み測定手段と、
前記研磨ヘッドを前記ウェハに着座させた後に、前記センサヘッドを前記ウェハの上面から所定距離離れた測定位置まで降下させる送り機構と、
予め測定された研磨前の前記ウェハの高さに応じて、前記センサヘッドを前記測定位置まで降下させる前記送り機構の送り量を算出する制御装置と、
を備えていることを特徴とする研磨装置。
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JP2022031448A JP7353406B2 (ja) | 2018-03-20 | 2022-03-02 | 研磨装置 |
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