JP7300260B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
10 ・・・インデックステーブル
11 ・・・チャック
12 ・・・回転軸
20 ・・・砥石
21 ・・・スピンドル
22 ・・・スピンドル送り機構
23 ・・・ジャケット
24 ・・・コラム
25 ・・・リニアガイド
26 ・・・ボールネジスライダ機構
30 ・・・固定式厚み測定器
31、32・・・センサヘッド
40 ・・・移動式厚み測定器
41 ・・・センサ
42 ・・・アーム
43 ・・・駆動軸
50 ・・・研削水供給機構
51 ・・・ノズル
52 ・・・吐出口
53 ・・・配管
54 ・・・バルブ
55 ・・・リンク機構
A ・・・第1のノズル群
B ・・・第2のノズル群
C ・・・チャンバ
O ・・・開口部
Claims (4)
- ウェハを研削する研削装置であって、
前記ウェハを吸着保持するチャックと、
前記ウェハを研削する砥石が下端に装着され、前記チャックの上方に設けられて昇降可能なスピンドルと、
前記スピンドルを収容し、昇降可能に設けられたジャケットと、
前記チャックに向けて研削水を吐出するノズルを有する研削水供給機構と、
を備え、
前記ノズルは、前記チャック内の異なる位置にそれぞれ対応して複数設けられ、前記ジャケットと一体で昇降可能に前記ジャケットに取り付けられ、
前記ノズルは、前記砥石が前記ウェハの中心から外周に向かって前記ウェハを研削するダウンカットに対応する第1の位置に対応して設けられた少なくとも1つの第1のノズルと、前記砥石が前記ウェハの外周から中心に向かって前記ウェハを研削するアップカットの加工ラインに対応する第2の位置に対応して設けられた少なくとも1つの第2のノズルと、であることを特徴とする研削装置。 - 前記ノズルは、変形不能な定形部材であることを特徴とする請求項1記載の研削装置。
- 前記研削水供給機構は、前記第1のノズル及び前記第2のノズルのうち前記研削水を通水させる一方を切替可能な切替手段を備えていることを特徴とする請求項1記載の研削装置。
- 前記ノズルと前記ジャケットとの間に設けられたリンク機構をさらに備え、
前記ノズルは、前記リンク機構を支点として前記ノズルの向きを調整可能であることを特徴とする請求項1から3の何れか1項記載の研削装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018210968A JP7300260B2 (ja) | 2018-11-08 | 2018-11-08 | 研削装置 |
JP2023099742A JP2023115106A (ja) | 2018-11-08 | 2023-06-19 | 研削装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018210968A JP7300260B2 (ja) | 2018-11-08 | 2018-11-08 | 研削装置 |
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JP2023099742A Division JP2023115106A (ja) | 2018-11-08 | 2023-06-19 | 研削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2020075335A JP2020075335A (ja) | 2020-05-21 |
JP7300260B2 true JP7300260B2 (ja) | 2023-06-29 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018210968A Active JP7300260B2 (ja) | 2018-11-08 | 2018-11-08 | 研削装置 |
JP2023099742A Pending JP2023115106A (ja) | 2018-11-08 | 2023-06-19 | 研削装置 |
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JP2023099742A Pending JP2023115106A (ja) | 2018-11-08 | 2023-06-19 | 研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP7300260B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011025380A (ja) | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
JP2013055149A (ja) | 2011-09-01 | 2013-03-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
JP2015030055A (ja) | 2013-08-01 | 2015-02-16 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
JP2016040063A (ja) | 2014-08-13 | 2016-03-24 | 株式会社ディスコ | バイト切削装置 |
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2018
- 2018-11-08 JP JP2018210968A patent/JP7300260B2/ja active Active
-
2023
- 2023-06-19 JP JP2023099742A patent/JP2023115106A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011025380A (ja) | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
JP2013055149A (ja) | 2011-09-01 | 2013-03-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
JP2015030055A (ja) | 2013-08-01 | 2015-02-16 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
JP2016040063A (ja) | 2014-08-13 | 2016-03-24 | 株式会社ディスコ | バイト切削装置 |
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Publication number | Publication date |
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JP2023115106A (ja) | 2023-08-18 |
JP2020075335A (ja) | 2020-05-21 |
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