JP2015134383A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨手段13の回転軸31は、パイプ状に形成され、研磨面に対して垂直な方向に延在し、研磨パッド70は、円板状に形成され、その中心を貫通する円孔73を有し、回転軸31は、モータ34によって駆動されて回転する。スラリー供給手段16は、回転軸31が回転可能に回転軸31に接続され、スラリー供給源からスラリー供給管を介して供給されるスラリーを回転軸31の内壁に沿って供給し、厚み測定手段15は、研磨パッド70の円孔73と回転軸31の内側の空洞311とを介して、研磨中における板状ワークの厚みを計測するため、研磨パッドの外側に板状ワークが露出していない状態であっても、板状ワークの厚みを計測することができ、厚み測定手段による計測にスラリーが影響することもない。
【選択図】図2
Description
さらに、板状ワークの上面で反射した光と下面で反射した光との光路長差を算出することで板状ワークの厚みを算出すれば、板状ワークの厚みを正確に計測することができる。
11 基台、12 チャックテーブル、121 保持面、
13 研磨手段、31 回転軸、311 空洞、312 スラリー取入口、
32 マウント、33 ハウジング、34 モータ、
14 送り手段、41 モータ、42 ねじ軸、43 移動部、44 ガイド、
15,15A 厚み測定手段、
51 測定部、511 発光部、512 ミラー、513 センサーヘッド、
514 回折格子、515 イメージセンサー、52 コリメータレンズ、
53 制御手段、54 棒状部、55 先端部、56 支持部、
591 測定光、592,593,595 光、594 反射光、
16,16A スラリー供給手段、61,61A 接続部、611 底面、
612 開口、62 スラリー供給管、63 スラリー供給ノズル、
70 研磨パッド、71 基台、72 研磨部、73 円孔、
80 スラリー供給源、81 スラリー、
90 板状ワーク、91 上面、92 下面
Claims (2)
- 保持面で板状ワークを保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルの上方に配置され、該チャックテーブルに保持された該板状ワークの上面を研磨する研磨手段と、
該研磨手段によって研磨される該板状ワークの該上面にスラリーを供給するスラリー供給手段と、
該研磨手段によって研磨される該板状ワークの厚みを計測する厚み測定手段と、
を備えた研磨装置であって、
該研磨手段は、
円板状に形成され中心を貫通する円孔を有する研磨パッドと、
該研磨パッドが該板状ワークに接する研磨面に対して垂直な方向に延在し、長さ方向に貫通する空洞を有するパイプ状の回転軸と、
該回転軸を回転させるモータと、
を備え、
該スラリー供給手段は、
スラリー供給源に接続されるスラリー供給管と、
該回転軸が回転可能となるように該回転軸に対して接続され、該スラリー供給管を介して該スラリー供給源から供給される該スラリーを該回転軸の内壁に沿って供給する接続部と、
を備え、
該厚み測定手段は、該研磨パッドの該円孔と該回転軸の該空洞とを介して、研磨中における該板状ワークの厚みを計測する、研磨装置。 - 前記厚み測定手段は、
測定光を放射する発光部と、
該発光部から放射された該測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、
該コリメータレンズによって変換された該平行光が前記板状ワークに入射し該板状ワークの上面で反射した光と該板状ワークの下面で反射した光とが干渉した反射光を分光する回折格子と、
該回折格子によって分光された光を受光するイメージセンサーと、
該イメージセンサーで受光した該光の受光量に基づいて、該板状ワークの該上面で反射した光と該板状ワークの該下面で反射した光との光路長差を算出することにより、該板状ワークの厚みを算出する制御手段と、
を備える、請求項1記載の研磨装置。
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