JP7320035B2 - 半導体ストリップ切断及び分類設備におけるパッケージ乾燥装置 - Google Patents
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Description
200 切断ユニット
205 一時保管ユニット
210 ストリップピッカー
220 パッケージピッカー
230 ガイドフレーム
240 チャックテーブル
250 カッター
260 洗浄ユニット
300 分類ユニット
310 反転テーブル
311 外郭フレーム
312 ベース
313 回転軸
320 乾燥ユニット
321 ガントリ
322 空気噴射ユニット
323 吸引ユニット
324 移動体
325 第1連結部材
326 第2連結部材
330B ボール検査ユニット
330M マーク検査ユニット
340 第1パレット駆動部材
341 第1パレットテーブル
345 第2パレット駆動部材
346 第2パレットテーブル
350 第1搬出トレイ駆動部材
351 第1搬出トレイ
355 第2搬出トレイ駆動部材
356 第2搬出トレイ
360 検査部
370 ソーティングピッカー
380 ソーティングピッカー駆動部材
800 分類部
P 半導体パッケージ
S 半導体ストリップ
Claims (18)
- 半導体ストリップ切断及び分類設備で個別化されたパッケージを乾燥させるためのパッケージ乾燥装置であって、
前記パッケージが装着されるベースと、
前記ベースの上部または下部に移動可能に設置されるガントリと、
前記ガントリに設置され、前記ベースに装着されたパッケージに向けて空気を噴射する空気噴射ユニットと、
前記ガントリにおいて前記空気噴射ユニットに隣接して設置され、前記パッケージから飛散する液を吸引する吸引ユニットと、を含み、
前記ベースは、前記パッケージが装着される装着部と、前記装着部よりも突出して前記パッケージが装着される溝を形成する突出部と、を含み、
前記空気噴射ユニットは、前記パッケージが前記溝に装着された状態で、前記パッケージに空気を噴射する、パッケージ乾燥装置。 - 前記装着部は、前記パッケージと同じサイズ及び形状を有する、請求項1に記載のパッケージ乾燥装置。
- 前記突出部は、前記装着部から前記パッケージの厚さと同じ高さだけ突出する、請求項1に記載のパッケージ乾燥装置。
- 前記空気噴射ユニットは、傾いた方向に空気を噴射する、請求項1に記載のパッケージ乾燥装置。
- 前記吸引ユニットは、前記空気噴射ユニットが傾いた方向に位置する、請求項4に記載のパッケージ乾燥装置。
- 前記吸引ユニットは、前記空気噴射ユニットが傾いた方向に対して反対方向に傾いた、請求項5に記載のパッケージ乾燥装置。
- 半導体ストリップ切断及び分類設備で個別化されたパッケージをハンドリングするパッケージハンドリング装置であって、
前記パッケージが装着されるベース、及び前記ベースを回転させるための回転軸を含む反転テーブルと、
前記ベースに装着された前記パッケージを乾燥させる乾燥ユニットと、
前記反転テーブルから前記パッケージを収容するパレットテーブルと、を含み、
前記乾燥ユニットは、
前記ベースの上部または下部に移動可能に設置されるガントリと、
前記ガントリに設置され、前記ベースに装着されたパッケージに向けて空気を噴射する空気噴射ユニットと、
前記ガントリにおいて前記空気噴射ユニットに隣接して設置され、前記パッケージから飛散する液を吸引する吸引ユニットと、を含み、
前記ベースは、前記パッケージが装着される装着部と、前記装着部よりも突出して前記パッケージが装着される溝を形成する突出部と、を含み、
前記空気噴射ユニットは、前記パッケージが前記溝に装着された状態で、前記パッケージに空気を噴射する、パッケージハンドリング装置。 - 前記装着部は、前記パッケージと同じサイズ及び形状を有する、請求項7に記載のパッケージハンドリング装置。
- 前記突出部は、前記装着部から前記パッケージの厚さと同じ高さだけ突出する、請求項7に記載のパッケージハンドリング装置。
- 前記空気噴射ユニットは、一定の角度だけ傾いた状態で前記パッケージに空気を噴射する、請求項7に記載のパッケージハンドリング装置。
- 前記吸引ユニットは、前記空気噴射ユニットが傾いた方向に位置する、請求項10に記載のパッケージハンドリング装置。
- 前記吸引ユニットは、前記空気噴射ユニットが傾いた方向に対して反対方向に傾いた、請求項11に記載のパッケージハンドリング装置。
- 半導体ストリップ切断及び分類設備であって、
複数のパッケージが配置された半導体ストリップが積載されるローディングユニットと、
前記半導体ストリップを切断して個別化された半導体パッケージを移送する切断ユニットと、
前記半導体パッケージを乾燥及び検査してトレイに収納する分類ユニットと、を含み、前記分類ユニットは、
前記パッケージが装着されるベース、及び前記ベースを回転させるための回転軸を含む反転テーブルと、
前記ベースに装着された前記パッケージを乾燥させる乾燥ユニットと、
前記反転テーブルから前記パッケージを収容するパレットテーブルと、を含み、
前記ベースは、
前記パッケージが装着される装着部と、
前記ベースから前記装着部を除いた残りの領域に形成され、前記装着部よりも突出した突出部と、を含み、
前記乾燥ユニットは、
前記ベースの上部または下部に移動可能に設置されるガントリと、
前記ガントリに設置され、前記ベースに装着されたパッケージに向けて空気を噴射する空気噴射ユニットと、
前記ガントリにおいて前記空気噴射ユニットに隣接して設置され、前記パッケージから飛散する液を吸引する吸引ユニットと、を含み、
前記ベースは、前記パッケージが装着される装着部と、前記装着部よりも突出して前記パッケージが装着される溝を形成する突出部と、を含み、
前記空気噴射ユニットは、前記パッケージが前記溝に装着された状態で、前記パッケージに空気を噴射する、半導体ストリップ切断及び分類設備。 - 前記装着部は、前記パッケージと同じサイズ及び形状を有する、請求項13に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
- 前記突出部は、前記装着部から前記パッケージの厚さと同じ高さだけ突出する、請求項13に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
- 前記空気噴射ユニットは、一定の角度だけ傾いた状態で前記パッケージに空気を噴射する、請求項13に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
- 前記吸引ユニットは、前記空気噴射ユニットが傾いた方向に位置する、請求項16に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
- 前記吸引ユニットは、前記空気噴射ユニットが傾いた方向に対して反対方向に傾いた、請求項17に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
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