JP7320036B2 - 半導体ストリップ切断及び分類設備におけるパッケージ乾燥装置 - Google Patents
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Description
200 切断ユニット
205 一時保管ユニット
210 ストリップピッカー
220 ピッカー
230 ガイドフレーム
240 チャックテーブル
250 カッター
260 洗浄ユニット
300 分類ユニット
310 反転テーブル
320 乾燥ユニット
330B ボール検査ユニット
330M マーク検査ユニット
340 第1パレット駆動部材
341 第1パレットテーブル
345 第2パレット駆動部材
346 第2パレットテーブル
350 第1搬出トレイ駆動部材
351 第1搬出トレイ
355 第2搬出トレイ駆動部材
356 第2搬出トレイ
360 検査部
370 ソーティングピッカー
380 ソーティングピッカー駆動部材
800 分類部
P 半導体パッケージ
S 半導体ストリップ
Claims (17)
- 半導体ストリップ切断及び分類設備で個別化されたパッケージを乾燥させるためのパッケージ乾燥装置であって、
前記パッケージを吸着し、上方又は下方を向くように回転可能な反転テーブルと、
前記反転テーブルの下部に配置され、前記パッケージから飛散した水気を収容するチャンバーと、
前記チャンバーの内部で水平方向に沿って移動可能に構成され、前記パッケージに向かって空気を噴射する上方空気噴射ユニットと、
前記チャンバーの下端に配置され、前記水気を吸引する吸引ユニットと、を含み、
前記反転テーブルは、前記チャンバーの上部に位置する間に、前記パッケージを吸引して上方を向いた状態から、下方を向いた状態に回転することによって、前記パッケージの水気が前記チャンバーに落ちるように誘導する、パッケージ乾燥装置。 - 前記反転テーブルは、第1水平方向に沿って第1長さを有し、前記第1水平方向に対して直交する第2水平方向に沿って前記第1長さよりも長い第2長さを有し、
前記上方空気噴射ユニットは、前記第1水平方向に沿って移動するように構成されることを特徴とする、請求項1に記載のパッケージ乾燥装置。 - 前記上方空気噴射ユニットは、
ハウジングと、
前記ハウジングの一側に設けられた空気流入口と、
前記ハウジングの内部で前記空気流入口の周辺に配置されたヒーターと、
前記ヒーターから発生した熱エネルギーを伝達する熱伝導フィルムと、
前記ハウジングの他側に設けられた空気排出口と、を含むことを特徴とする、請求項1に記載のパッケージ乾燥装置。 - 前記空気排出口は、
前記水平方向に対して上方に垂直な垂直方向に設けられた第1排出口と、
前記垂直方向から第1水平方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第2排出口と、
前記垂直方向から第1水平方向の反対方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第3排出口と、を含むことを特徴とする、請求項3に記載のパッケージ乾燥装置。 - 前記チャンバーの両側面にそれぞれ配置され、下方に空気を噴射する側面空気噴射ユニットをさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載のパッケージ乾燥装置。
- 前記チャンバーの内部で前記吸引ユニットの上部に位置した区分壁をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載のパッケージ乾燥装置。
- 半導体ストリップ切断及び分類設備で個別化されたパッケージをハンドリングするためのパッケージハンドリング装置であって、
前記パッケージのボール面が上方を向いた状態で前記パッケージのマーク面を下部で吸着し、前記パッケージのボール面が下方を向くように回転する反転テーブルと、
前記反転テーブルの下部に位置し、前記パッケージを乾燥させる乾燥ユニットと、
前記反転テーブルの下部に位置し、前記パッケージの前記ボール面を検査するボール検査ユニットと、
前記ボール面が下方を向いた状態で前記反転テーブルから前記パッケージを収容するパ
レットテーブルと、
前記パレットテーブルの上部に位置し、前記パッケージのマーク面を検査するマーク検査ユニットと、を含み、
前記乾燥ユニットは、
前記反転テーブルの下部に配置され、前記パッケージから飛散した水気を収容するチャンバーと、
前記チャンバーの内部で水平方向に沿って移動できるように構成され、前記パッケージに向かって空気を噴射する上方空気噴射ユニットと、
前記チャンバーの下端に配置され、前記水気を吸引する吸引ユニットと、を含み、
前記反転テーブルは、前記チャンバーの上部に位置する間に、前記パッケージを吸引して前記ボール面が上方を向いた状態から、前記ボール面が下方を向いた状態に回転することによって、前記パッケージの水気が前記チャンバーに落ちるように誘導する、パッケージハンドリング装置。 - 前記反転テーブルは、第1水平方向に沿って第1長さを有し、前記第1水平方向に対して直交する第2水平方向に沿って前記第1長さよりも長い第2長さを有し、
前記上方空気噴射ユニットは、前記第1水平方向に沿って移動するように構成されることを特徴とする、請求項7に記載のパッケージハンドリング装置。 - 前記上方空気噴射ユニットは、
ハウジングと、
前記ハウジングの一側に設けられた空気流入口と、
前記ハウジングの内部で前記空気流入口の周辺に配置されたヒーターと、
前記ヒーターから発生した熱エネルギーを伝達する熱伝導フィルムと、
前記ハウジングの他側に設けられた空気排出口と、を含むことを特徴とする、請求項7に記載のパッケージハンドリング装置。 - 前記空気排出口は、
前記水平方向に対して上方に垂直な垂直方向に設けられた第1排出口と、
前記垂直方向から第1水平方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第2排出口と、
前記垂直方向から第1水平方向の反対方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第3排出口と、を含むことを特徴とする、請求項9に記載のパッケージハンドリング装置。 - 前記チャンバーの両側面にそれぞれ配置され、下方に空気を噴射する側面空気噴射ユニットをさらに含むことを特徴とする、請求項7に記載のパッケージハンドリング装置。
- 前記チャンバーの内部で前記吸引ユニットの上部に位置した区分壁をさらに含むことを特徴とする、請求項7に記載のパッケージハンドリング装置。
- 半導体ストリップ切断及び分類設備において、
複数のパッケージが配置された半導体ストリップが積載されるローディングユニットと、
前記半導体ストリップを切断して個別化された半導体パッケージを移送する切断ユニットと、
前記半導体パッケージを乾燥及び検査してトレイに収納する分類ユニットと、を含み、
前記分類ユニットは、
前記パッケージのボール面が上方を向いた状態で前記パッケージのマーク面を下部で吸着し、前記パッケージのボール面が下方を向くように回転する反転テーブルと、
前記反転テーブルの下部に位置し、前記パッケージを乾燥させる乾燥ユニットと、
前記反転テーブルの下部に位置し、前記パッケージの前記ボール面を検査するボール検査ユニットと、
前記ボール面が下方を向いた状態で前記反転テーブルから前記パッケージを収容するパレットテーブルと、
前記パレットテーブルの上部に位置し、前記パッケージのマーク面を検査するマーク検査ユニットと、を含み、
前記乾燥ユニットは、
前記反転テーブルの下部に配置され、前記パッケージから飛散した水気を収容するチャンバーと、
前記チャンバーの内部で水平方向に沿って移動できるように構成され、前記パッケージに向かって空気を噴射する上方空気噴射ユニットと、
前記チャンバーの下端に配置され、前記水気を吸引する吸引ユニットと、を含み、
前記反転テーブルは、前記チャンバーの上部に位置する間に、前記パッケージを吸引して前記ボール面が上方を向いた状態から、前記ボール面が下方を向いた状態に回転することによって、前記パッケージの水気が前記チャンバーに落ちるように誘導する、半導体ストリップ切断及び分類設備。 - 前記反転テーブルは、第1水平方向に沿って第1長さを有し、前記第1水平方向に対して直交する第2水平方向に沿って前記第1長さよりも長い第2長さを有し、
前記上方空気噴射ユニットは、前記第1水平方向に沿って移動するように構成されることを特徴とする、請求項13に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。 - 前記上方空気噴射ユニットは、
ハウジングと、
前記ハウジングの一側に設けられた空気流入口と、
前記ハウジングの内部で前記空気流入口の周辺に配置されたヒーターと、
前記ヒーターから発生した熱エネルギーを伝達する熱伝導フィルムと、
前記ハウジングの他側に設けられた空気排出口と、を含むことを特徴とする、請求項13に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。 - 前記空気排出口は、
前記水平方向に対して上方に垂直な垂直方向に設けられた第1排出口と、
前記垂直方向から第1水平方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第2排出口と、
前記垂直方向から第1水平方向の反対方向に一定の角度だけ傾いた方向に設けられた第3排出口と、を含むことを特徴とする、請求項15に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。 - 前記チャンバーの両側面にそれぞれ配置され、下方に空気を噴射する側面空気噴射ユニットと、
前記チャンバーの内部で前記吸引ユニットの上部に位置した区分壁と、をさらに含むことを特徴とする、請求項13に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。
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