JP6968762B2 - 搬送機構、電子部品製造装置、搬送方法および電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
図1に、実施形態1の電子部品製造装置の模式的な平面図を示す。図1に示す実施形態1の電子部品製造装置は、基板供給機構Aと、基板切断機構Bと、洗浄機構Cと、搬送機構Dとを備えている。
実施形態2の電子部品製造装置は、第1の撮像素子31を備えた第1のカメラ201および第2の撮像素子41を備えた第2のカメラ202に加えて、第3の撮像素子51を備えた第3のカメラ203を備えていることを特徴としている。以下、図25〜図29の模式的平面図を参照して、実施形態2の電子部品製造装置の搬送機構の動作の一例について説明する。
実施形態3の電子部品製造装置は、図30および図31に模式的部分透視側面図が示される第1のカメラ301を備えている点に特徴がある。実施形態3の第1のカメラ301は、第1の光源32に加えて、第2の光源65も備えている。
Claims (13)
- 被搬送物を保持可能であって移動可能に構成された保持機構と、
光源と、
前記光源から発せられた光の光路に光学的マークを光学的に形成可能とする光学的マーク形成部と、
前記光学的マークおよび前記被搬送物の搬送目的箇所を撮像可能に構成された第1の撮像素子を備える第1のカメラと、
前記保持機構に保持された前記被搬送物および前記光学的マークを撮像可能に構成された第2の撮像素子を備えた第2のカメラと、
前記第1のカメラと前記第2のカメラとの相対的位置ズレ量に基づいて前記搬送目的箇所までの前記被搬送物の移動距離を補正可能に構成された演算機構と、を備え、
前記演算機構は、前記第1の撮像素子によって撮像された前記光学的マークの画像に基づいて算出された前記第1のカメラと前記光学的マークとの第1の位置ズレ量と、前記第2の撮像素子によって撮像された前記光学的マークの画像に基づいて算出された前記第2のカメラと前記光学的マークとの第2の位置ズレ量と、に基づいて前記相対的位置ズレ量を算出可能であり、
前記光学的マークを光学的に形成可能に構成された面をさらに備え、
前記第1の撮像素子は、前記面に光学的に形成された前記光学的マークを撮像することによって前記光学的マークの画像を取得する、搬送機構。 - 被搬送物を保持可能であって移動可能に構成された保持機構と、
光源と、
前記光源から発せられた光の光路に光学的マークを光学的に形成可能とする光学的マーク形成部と、
非光学的マークが設けられた面と、
前記被搬送物の搬送目的箇所および前記非光学的マークを撮像可能に構成された第1の撮像素子を備える第1のカメラと、
前記保持機構に保持された前記被搬送物および前記光学的マークを撮像可能に構成された第2の撮像素子を備えた第2のカメラと、
前記光学的マークおよび前記非光学的マークを撮像可能に構成された第3の撮像素子を備える第3のカメラと、
前記第1のカメラと前記第2のカメラとの相対的位置ズレ量に基づいて前記搬送目的箇所までの前記被搬送物の移動距離を補正可能に構成された演算機構と、を備える、搬送機構。 - 前記演算機構は、
前記第3の撮像素子によって撮像された前記光学的マークの画像のデータに基づいて算出された前記第3のカメラと前記光学的マークとの第1の位置ズレ量と、前記第2の撮像素子によって撮像された前記光学的マークの画像に基づいて算出された前記第2のカメラと前記光学的マークとの第2の位置ズレ量と、に基づいて前記第2のカメラと前記第3のカメラとの第1の相対的位置ズレ量を算出可能であり、
前記第1の撮像素子によって撮像された前記非光学的マークの画像と、前記第3の撮像素子によって撮像された前記非光学的マークの画像とに基づいて、前記第1のカメラと前記第3のカメラとの間の第1方向における距離および前記第1方向とは異なる第2方向における距離を算出可能である、請求項2に記載の搬送機構。 - 前記演算機構は、前記第2の撮像素子によって撮像された前記被搬送物の画像に基づいて算出された前記第2のカメラと前記被搬送物との位置ズレ量、および前記第1の撮像素子によって撮像された前記搬送目的箇所の画像に基づいて算出された前記第1のカメラと前記搬送目的箇所との位置ズレ量の少なくとも一方に基づいて前記移動距離を補正可能である、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の搬送機構。
- 前記光学的マーク形成部は、移動可能に構成されている、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の搬送機構。
- 前記光学的マーク形成部は、前記光を遮光するように構成された遮光部と、前記光を透光するように構成された透光部とを備える、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の搬送機構。
- 前記光路に光学系をさらに備える、請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の搬送機構。
- 前記光学的マーク形成部を含まない第2の光源をさらに備え、前記光源と前記第2の光源とを切り換えて用いる、請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の搬送機構。
- 請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の搬送機構を備える、電子部品製造装置。
- 被搬送物を保持機構により保持する工程と、
光学的マークを光学的に面に形成する工程と、
第1のカメラの第1の撮像素子によって前記面に形成された前記光学的マークを撮像する工程と、
第2のカメラの第2の撮像素子によって前記第1のカメラと前記第2のカメラとの間の光路に光学的に形成された光学的マークを撮像する工程と、
前記第2の撮像素子によって前記保持機構に保持された前記被搬送物を撮像する工程と、
前記第1の撮像素子によって前記被搬送物の搬送目的箇所を撮像する工程と、
前記第1のカメラと前記第2のカメラとの相対的位置ズレ量を算出する工程と、
前記相対的位置ズレ量に基づいて前記搬送目的箇所までの前記被搬送物の移動距離を補正する工程と、
前記被搬送物を前記搬送目的箇所に載置する工程と、を備える、搬送方法。 - 被搬送物を保持機構により保持する工程と、
光学的マークを光学的に形成する工程と、
第1のカメラの第1の撮像素子によって非光学的マークを撮像する工程と、
第2のカメラの第2の撮像素子によって前記光学的マークを撮像する工程と、
前記保持機構に取り付けられた第3のカメラの第3の撮像素子によって前記非光学的マークを撮像する工程と、
前記第2の撮像素子によって前記保持機構に保持された前記被搬送物を撮像する工程と、
前記第1の撮像素子によって前記被搬送物の搬送目的箇所を撮像する工程と、
前記第1のカメラと前記第2のカメラとの相対的位置ズレ量を算出する工程と、
前記相対的位置ズレ量に基づいて前記搬送目的箇所までの前記被搬送物の移動距離を補正する工程と、
前記被搬送物を前記搬送目的箇所に載置する工程と、を備える、搬送方法。 - 光学的マーク形成部を含む光源と前記光学的マーク形成部を含まない第2の光源とを切り換える工程をさらに備える、請求項10または請求項11に記載の搬送方法。
- 請求項10〜請求項12のいずれか1項に記載の搬送方法によって前記被搬送物を前記搬送目的箇所に搬送する工程を備え、
前記被搬送物は半導体パッケージを備え、
半導体パッケージ基板を切断して前記半導体パッケージを作製する工程をさらに備える、電子部品の製造方法。
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