JP7316181B2 - 静電チャック - Google Patents
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ln(d/a)≧0.08×L ・・・ (1)
ln(d/a)≧5 ・・・ (2)
S1/S≦0.4 ・・・ (3)
S1/S≦0.3 ・・・ (4)
Claims (4)
- 絶縁性基板が上方に載置される主面を有する板状の基体と、
前記主面に平行な同一平面上にて、前記基体に内蔵される一対の静電吸着用電極とを備える静電チャックであって、
前記主面に平行な同一平面上にて隣り合う前記一対の静電吸着用電極の間を通る線分であって、前記一対の静電吸着用電極それぞれとの距離が等しい中心線の合計長さをL[m]、隣り合う前記一対の静電吸着用電極同士の最短距離をd[m]、前記一対の静電吸着用電極の厚さを2a[m]としたとき、
ln(d/a)≧0.08×L
の関係式を満たすことを特徴とする静電チャック。 - ln(d/a)≧5の関係式を満たすことを特徴とする請求項1に記載の静電チャック。
- 前記一対の静電吸着用電極を前記基体の厚み方向に前記主面に投影したときの前記一対の静電吸着用電極を全て含む最小の円の面積をS[m2]、前記一対の静電吸着用電極を前記基体の厚み方向に前記主面に投影したときの総面積をS1[m2]としたとき、
S1/S≦0.4の関係式を満たすことを特徴とする請求項1又は2に記載の静電チャック。 - S1/S≦0.3の関係式を満たすことを特徴とする請求項3に記載の静電チャック。
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JP2019187333A JP7316181B2 (ja) | 2019-10-11 | 2019-10-11 | 静電チャック |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019187333A JP7316181B2 (ja) | 2019-10-11 | 2019-10-11 | 静電チャック |
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JP2021064657A JP2021064657A (ja) | 2021-04-22 |
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JP2019187333A Active JP7316181B2 (ja) | 2019-10-11 | 2019-10-11 | 静電チャック |
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JP2000332091A (ja) | 1999-05-25 | 2000-11-30 | Toto Ltd | 静電チャックおよび処理装置 |
JP2003179128A (ja) | 2001-12-11 | 2003-06-27 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 静電チャック |
JP2005223185A (ja) | 2004-02-06 | 2005-08-18 | Toto Ltd | 静電チャックとその製造方法 |
JP2005245106A (ja) | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Kyocera Corp | 静電チャック |
-
2019
- 2019-10-11 JP JP2019187333A patent/JP7316181B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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JP2000332091A (ja) | 1999-05-25 | 2000-11-30 | Toto Ltd | 静電チャックおよび処理装置 |
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JP2005223185A (ja) | 2004-02-06 | 2005-08-18 | Toto Ltd | 静電チャックとその製造方法 |
JP2005245106A (ja) | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Kyocera Corp | 静電チャック |
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