JP7283694B2 - 垂直共振器型面発光素子 - Google Patents
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表面がオフ角を有するc面であるGaN基板と、
前記GaN基板上に形成された半導体DBR(Distributed Bragg Reflector)と、
前記半導体DBR上に形成された、III族窒化物半導体からなるデバイス層と、
前記デバイス層上に形成された誘電体DBRと、
を有し、
前記デバイス層は、
第1の導電型の第1の半導体層、活性層、前記第1の導電型とは反対導電型である第2の導電型の第2の半導体層、がこの順で前記半導体DBR上に形成された発光構造層と、
前記第2の半導体層上に順に形成された第2導電型の高不純物濃度半導体層及び第1導電型の高不純物濃度半導体層からなるトンネル接合層のトンネル接合領域を含むメサ形状のトンネル接合メサと、
前記トンネル接合メサを埋め込むように前記第2の半導体層上に形成された半導体埋込み層と、からなり、
前記トンネル接合メサの高さをH、前記第1導電型の前記高不純物濃度半導体層の層厚をTB、前記半導体埋込み層の層厚をTHとしたとき、
TB < H < TH/20 を満たし、
前記半導体DBR及び前記誘電体DBRによって形成される共振器の共振波長をλc、共振器内の実効屈折率をneffとしたとき、
1.75λc/neff ≦ TH ≦ 18.75λc/neff
を満たす。
[半導体発光装置の構造]
図1は、本発明の1実施態様による垂直共振器型面発光素子10の構造を模式的に示す断面図である。図1を参照して、垂直共振器型面発光素子10の構造の一例について説明する。
[垂直共振器型面発光素子の製法]
図1及び図2を参照して、本発明の1実施態様による垂直共振器型面発光素子10の製造方法の一例について説明する。
(第1工程)
(-1100)方向、すなわちm軸方向に0.4°のオフ角を有するc面GaN基板11上にアンドープのGaNバッファ層、その上部に40ペアのAlInN/GaNからなる半導体DBR12を成長する。
(第2工程)
上記の層を成長した基板(成長層付き基板)に、電流狭窄を行うためのトンネル接合メサMSを形成する。すなわち、まず、成長層付き基板上にフォトリソグラフィおよびイオンビーム蒸着法(EB)を用いて、直径が6~10μmの円形SiO2マスクをパターニングにより形成する。
(第3工程)
トンネル接合メサMSが形成された基板に対して埋め込み成長を行う。n-GaN埋込み層19の形成は2段階からなる。
(第4工程)
成長が終了した基板に対して、面発光レーザとして動作する素子構造を形成する。先ず、トンネル接合メサMSよりも直径が30μm大きいメサ(デバイスメサDM)をフォトリソグラフィ、Cl2ガスを用いたドライエッチングにより形成する。ドライエッチングはn-GaN層13が露出するまで行う。
[表面が平坦な埋込層の形成]
本発明は、前述のように、特に埋め込みトンネル接合VCSELの発振を阻害する要因であった埋め込み成長後の表面凸部による散乱損失の低減を図るために考案されたものである。
(1)メサ高さHと埋め込み膜厚THとの関係
図3A-3Dは、垂直共振器型面発光素子10の製造方法における埋込工程を模式的に示す断面図である。
(2)メサ高さH
図1に示した場合においては、トンネル接合メサMSの外側において、p+-GaInN層18A(第2導電型の高不純物濃度半導体層:層厚TA)及びn+-GaN層18B(第1導電型の高不純物濃度半導体層:層厚TB)がp-GaN層17Bの最表面まで除去されている。すなわち、トンネル接合メサMSの高さHが、H=TA+TBである場合について図示している。
(3)埋め込み膜厚TH
埋込み層厚は所望する共振器長で決まる。共振器長が長くなると回折損失は増加するが、熱抵抗の低減が望める。熱抵抗の低減効果は共振器長が15λ程度で飽和することが分かった。また、埋込み層厚(共振器長)が大きすぎるとモードホッピング(縦モード)が生じやすくなる。モード間隔から、全体の共振器長は20λまでと見積もられた(モード間隔が10nm(DBR帯域幅の1/2を切っていること)。半導体DBR12~p+-GaInN層18Aの中心までの共振器長は最低1.25λ(共振器全体の最小の共振器長は3λ)であるため、埋め込み膜厚TH(nm)は以下の条件を満たす必要がある。
1.75λc/neff≦TH ≦ 18.75λc/neff ・・・(式2)
を満たすことが好ましい。
(4)オフ角θ
窒化物VCSELでは、エピ層表面に高反射率を必要とする誘電体DBR形成するため、エピ層表面は原子的に平坦であることが重要である。c面GaN基板上で良好なモフォロジーが得られるオフ角の範囲は上記した非特許文献1において報告されている。平坦なエピ層表面は、オフ角を有する基板上への成長において、ステップフロー成長を促すことで達成できる。本発明では、オフ角θは以下の範囲である。
また、オフ角θは、m軸方向又はa軸方向に対する角度であることが好ましい。
(5)メサ径D
応用時に光学部品等との結合効率を考慮すると、横モードシングルモード発振が望ましい。一般に横方向光閉じ込めや電流注入径を大きくすると多モード発振が促進される。導波構造(0≦d(neff)≦0.01、ここでdは屈折率差)を有する窒化物系VCSELに関してシングルモードで発振させるためには、トンネル接合メサMSの直径Dが10μm以下、好ましくは、6μm以下である。
[埋込層19の表面の平坦性]
再び、図2を参照すると、メサMSの直上領域の埋込層19の表面はステップが明瞭に見える原子的に平坦な表面となっている。換言すれば、メサMSの直上領域の表面がステップ・アンド・テラス状の周期性を有したモフォロジーを呈する平坦性を有していた。なお、図2に示すように、縞状ステップの進行方向はm軸方向であることが確認された。
[デバイス特性]
上記した構成及び製造方法で作製した垂直共振器型面発光素子10の室温CW動作におけるELスペクトルを図8に、光出力-電流特性を図9に示す。
11 基板
12 半導体DBR
13 n-GaN層(第1の半導体層)
15 活性層
17 第2の半導体層
17A 電子ブロック層
17B p-GaN層
18 トンネル接合層
18A p+-GaInN層
18B n+-GaN層
19 n-GaN埋込み層
22 デバイス層
25 絶縁体
27 誘電体DBR
MS トンネル接合メサ
Claims (6)
- 表面がオフ角を有するc面であるGaN基板と、
前記GaN基板上に形成された半導体DBR(Distributed Bragg Reflector)と、
前記半導体DBR上に形成された、III族窒化物半導体からなるデバイス層と、
前記デバイス層上に形成された誘電体DBRと、
を有し、
前記デバイス層は、
第1の導電型の第1の半導体層、活性層、前記第1の導電型とは反対導電型である第2の導電型の第2の半導体層、がこの順で前記半導体DBR上に形成された発光構造層と、
前記第2の半導体層上に順に形成された第2導電型の高不純物濃度半導体層及び第1導電型の高不純物濃度半導体層からなるトンネル接合層のトンネル接合領域を含むメサ形状のトンネル接合メサと、
前記トンネル接合メサを埋め込むように前記第2の半導体層上に形成された半導体埋込み層と、からなり、
前記トンネル接合メサの高さをH、前記第1導電型の前記高不純物濃度半導体層の層厚をTB、前記半導体埋込み層の層厚をTHとしたとき、
TB < H < TH/20 を満たし、
前記半導体DBR及び前記誘電体DBRによって形成される共振器の共振波長をλc、共振器内の実効屈折率をneffとしたとき、
1.75λc/neff≦TH ≦ 18.75λc/neff
を満たし、
前記半導体埋込み層の少なくとも前記トンネル接合メサの直上領域の表面はステップ・アンド・テラス状の周期性を有したモフォロジーを呈する垂直共振器型面発光素子。 - 前記半導体埋込み層の少なくとも前記トンネル接合メサの直上領域の表面粗さRaは、0.06≦Ra≦0.3nmである、請求項1に記載の垂直共振器型面発光素子。
- 前記トンネル接合メサは円柱形状又は楕円柱形状を有し、その直径又は長径Dは3μm≦D≦10μmを満たす、請求項1又は2に記載の垂直共振器型面発光素子。
- 前記GaN基板の前記オフ角(θ)は、0.3°≦θ≦0.7°である、請求項1ないし3のいずれか1項に記載の垂直共振器型面発光素子。
- 前記GaN基板の前記オフ角(θ)は、m軸方向又はa軸方向に関する角度である、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の垂直共振器型面発光素子。
- 前記半導体埋込み層の表面であって前記トンネル接合メサの直上部に対応する領域とその外周部との段差が5nm以下である、請求項1ないし5のいずれか1項に記載の垂直共振器型面発光素子。
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Masaru Kuramoto, et al.,High-Power GaN-Based Vertical-Cavity Surface Emitting Lasers with AlInN/GaN Distributed Bragg Reflectors,Applied Sciences,2019年01月26日,Vol.9, Article 416,p.1-13 |
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