JP7270645B2 - 半導体封止用成形材料の製造方法 - Google Patents
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Description
[1]大きさ100μm超の凝集物及び/又はゲル状物質の含有率が50ppm以下である半導体封止用成形材料。
[2]エポキシ樹脂、硬化剤及び無機充填剤を含む原材料を混合する混合工程と、前記混合工程で得られた混合物を混練して混練物とする混練工程と、前記混練工程で得られた混練物を圧延ロールでシート状組成物に圧延する圧延工程と、前記圧延工程で圧延したシート状組成物を冷却コンベアにて搬送しながら、気体中で冷却する冷却工程と、前記冷却工程で冷却したシート状組成物を粉砕機にて粉砕する粉砕工程と、を有する半導体封止用成形材料の製造方法であって、さらに粉砕対象物を粒度100μm以下に粉砕・分級する粉砕・分級工程を有することを特徴とする上記[1]に記載の半導体封止用成形材料の製造方法。
[3]エポキシ樹脂、硬化剤及び無機充填剤を含む原材料を混合する混合工程と、前記混合工程で得られた混合物を混練して混練物とする混練工程と、前記混練工程で得られた混練物を圧延ロールでシート状組成物に圧延する第1の圧延工程と、前記第1の圧延工程で圧延したシート状組成物を冷却コンベアにて搬送しながら、気体中で冷却する第1の冷却工程と、前記第1の冷却工程で冷却したシート状組成物を粉砕機にて粉砕する第1の粉砕工程と、前記第1の粉砕工程で得られた粉砕物を粒度100μm以下に粉砕・分級する粉砕・分級工程と、前記粉砕・分級工程で得られた粉砕物を圧延ロールでシート状に圧延する第2の圧延工程と、前記第2の圧延工程で圧延したシート状組成物を冷却コンベアにて搬送しながら、気体中で冷却する第2の冷却工程と、前記第2の冷却工程で冷却したシート状組成物を粉砕機にて粉砕する第2の粉砕工程と、を有する上記[1]に記載の半導体封止用成形材料の製造方法。
[4]前記粉砕・分級工程において、粉砕・分級を10℃以下の低温雰囲気で行う上記[2]又は[3]に記載の半導体封止用成形材料の製造方法。
[5]半導体素子を、上記[1]に記載の半導体封止用成形材料で封止してなる半導体装置。
<半導体封止用成形材料>
本開示の半導体封止用成形材料(以下、単に封止用成形材料ともいう)は、大きさ100μm超の凝集物及び/又はゲル状物質の含有率が50ppm以下である。封止用成形材料中に含まれる大きさ100μm超の凝集物及び/又はゲル状物質の含有率が50ppmを超えると、半導体パッケージのチップ上樹脂厚さが100μm以下となるように上記封止用成形材料により上記チップを封止する場合、樹脂表面に凝集物及びゲル状物質が突起として現れ、外観異常、ワイヤ変形、チップの割れ等の不具合を発生させるおそれがある。このような観点から、封止用成形材料中に含まれる大きさ100μm超の凝集物及び/又はゲル状物質の含有率は、30ppm以下であってもよく、10ppm以下であってもよく、0ppmであってもよい。
ここで、本明細書において、大きさ100μm超の凝集物及びゲル状物質としては、無機充填剤の凝集物及びゲル状物質、無機充填剤及びシランカップリング剤の凝集物及びゲル状物質、熱硬化性樹脂の反応硬化物等が挙げられる。
なお、本明細書において、無機充填材の平均粒径は、例えば、レーザー回折式粒度分布測定装置により求めることができる。平均粒径は、同装置で測定された粒度分布において積算体積が50%になる粒径(d50)である。
本開示の第一の実施形態の半導体封止用成形材料の製造方法(以下、単に第一の実施形態ともいう)は、エポキシ樹脂、硬化剤及び無機充填剤を含む原材料を混合する混合工程と、前記混合工程で得られた混合物を混練して混練物とする混練工程と、前記混練工程で得られた混練物を圧延ロールでシート状組成物に圧延する圧延工程と、前記圧延工程で圧延したシート状組成物を冷却コンベアにて搬送しながら、気体中で冷却する冷却工程と、前記冷却工程で冷却したシート状組成物を粉砕機にて粉砕する粉砕工程と、を有する半導体封止用成形材料の製造方法であって、さらに粉砕対象物を粒度100μm以下に粉砕・分級する粉砕・分級工程を有する。
以下、各工程を順番に説明する。
混合工程は、エポキシ樹脂、硬化剤及び無機充填剤を含む原材料を混合する工程であり、従来公知の混合方法を用いることができる。混合方法としては、例えば、ブレンダー法、へンシェル法、パンミル法、パワーミル法、バーチカル法等が挙げられるが、特に限定されるものではない。
また、混合機としては、従来公知のものを特に制限なく用いることができ、例えば、V型混合機、ヘンシェルミキサー、ロッキングミキサー、ナウターミキサー、スーパーミキサーなどが挙げられる。
混練工程は、前記混合工程で得られた混合物を混練して混練物とする工程である。この混練工程は、従来使用されている混練機を用いて、上記混合物を混練するもので、混練機としては、従来公知の二軸混練機、ロール混練機等が挙げられ、特に限定されるものではない。
圧延工程は、前記混練工程で得られた混練物を圧延ロールでシート状組成物に圧延する工程である。ここで、シート状組成物の厚みは1mm以上5mm以下であってもよく、このシート状組成物の冷却効率を上げるためには1mm以上3mm以下であってもよい。
圧延ロール温度は、通常10~60℃であり、10~50℃であってもよい。
冷却工程は、前記圧延工程で得られたシート状組成物を冷却コンベアにて搬送しながら、気体中で冷却する工程である。この冷却工程では、圧延工程で得られたシート状組成物を冷却コンベアにて搬送しながら、低温の気体雰囲気下を通過させながら冷却する。
粉砕工程は、前記冷却工程で冷却されたシート状組成物を粉砕機にて粉砕する工程である。本工程において、シート状組成物は、従来公知の一般的な半導体封止用成形材料の製造方法に使用される粉砕機にて粉砕され粉砕物となる。粉砕機は、例えば粒径5mm以下の大きさに粉砕可能なものであれば特に限定されるものではなく、例えば、カッティングミル、ボールミル、サイクロンミル、ハンマーミル、振動ミル、カッターミル、グラインダーミル、スピードミル等が挙げられる。中でも、粉砕機はスピードミルであってもよい。
粉砕機による粉砕は、例えば、シート状組成物を粗粉砕機などにより比較的粗く粉砕してから、微粉砕機にてさらに細かく粉砕して粉砕物とする2段階以上で行なってもよい。
粉砕・分級工程は、粉砕対象物を粒度100μm以下に粉砕・分級する工程である。
本工程において、粉砕対象物は、10~40μmの粒度範囲となるように粉砕される。粉砕対象物を粒度100μm以下に粉砕することにより、製造工程中で発生した無機充填剤等の凝集物またはゲル状物質がより細かく解砕される。
ここで、本明細書において、粒度とは、例えば、レーザー回折式粒度分布測定装置により測定された粒度分布において積算体積が50%になる粒径(d50)をいう。
寒冷源としては、例えば液化窒素式冷凍機が用いられる。また、寒冷源は回転式のロータを用いた乾式除湿装置(低温度低露点空気発生装置)などを用いてもよい。
篩い分級に用いられる篩目の開きは、60~100μmであってもよく、60~80μmであってもよい。
以下、各工程を順番に説明する。
第二の実施形態における粉砕・分級工程は、第1の粉砕工程の後に行う。これにより、半導体封止用成型材料の大きさを所望のサイズに加工することができる。
粉砕・分級工程では、第1の粉砕工程で得られた粉砕物を粒度100μm以下に粉砕し、次いで粒度100μm以下の粉砕物に分級する。粉砕方法及び分級方法は、第一の実施形態の粉砕・分級工程と同じであるので詳細な説明は省略する。また、粉砕装置及び分級装置は第一の実施形態の(粉砕・分級工程)の項で例示した装置を用いることができる。
第2の圧延工程は、前記粉砕・分級工程で得られた粉砕物を、第1の圧延工程と同様にして、圧延ロールを用いてシート状に圧延する工程である。ここで、シート状組成物の厚みは第1の圧延工程と同様に、1mm以上5mm以下であってもよく、冷却効率を上げる観点から1mm以上3mm以下であってもよい。
また、圧延ロール温度は、通常10~60℃であり、10~50℃であってもよい。
第2の冷却工程は、前記第2の圧延工程で得られたシート状組成物を、第1の冷却工程と同様にして、冷却コンベアにて搬送しながら、気体中で冷却する工程である。
第2の粉砕工程は、第2の冷却工程で冷却されたシート状組成物を、第1の粉砕工程と同様にして、粉砕機にて粉砕する工程である。粉砕装置は、第一の実施形態の(粉砕工程)の項で例示した装置を用いることができる。
本開示の半導体装置は、半導体素子を、前述の半導体封止用成形材料で封止してなる。具体的には、リードフレーム、テープキャリア、配線板、シリコンウエハ等の支持部材に、半導体チップ、トランジスタ、ダイオード、サイリスタ等の能動素子、コンデンサ、抵抗体、コイル等の受動素子等の素子を搭載し、必要な部分を本開示の半導体封止用成形材料で封止した半導体装置が挙げられる。
封止用成形材料の原料として、エポキシ樹脂 YL-6121H(商品名、三菱化学株式会社製)を5.64質量部、硬化剤として、フェノール樹脂 MEH-7500(商品名、明和化成株式会社製)3.36質量部、無機充填剤として、球状シリカ混合物 FB-105FC(商品名、電気化学工業株式会社製、平均粒径:12μm)89質量部、カルナバワックス 0.3質量部、硬化促進剤として、2MZ-P(商品名、四国化成株式会社製)0.1質量部、シランカップリング剤として、γ-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン 0.4質量部、カーボンブラック 0.2質量部、1mm以上2mm以下の球状シリカとカップリング剤の凝集物0.05質量部(封止用成形材料中の含有率505ppm)を準備し、図1に示す各工程により処理し封止用成形材料を得た。
封止用成形材料の原料として、エポキシ樹脂 YL-6121H(商品名、三菱化学株式会社製)を5.64質量部、硬化剤として、フェノール樹脂 MEH-7500(商品名、明和化成株式会社製)3.36質量部、無機充填剤として、球状シリカ混合物 FB-105FC(商品名、電気化学工業株式会社製、平均粒径:12μm)89質量部、カルナバワックス 0.3質量部、硬化促進剤として、2MZ-P(商品名、四国化成株式会社製)0.1質量部、シランカップリング剤として、γ-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン 0.4質量部、カーボンブラック 0.2質量部、1mm以上2mm以下の球状シリカとカップリング剤の凝集物0.05質量部(封止用成形材料中の含有率505ppm)を準備し、図2に示す各工程により処理し封止用成形材料を得た。
実施例2において、第1の圧延工程、第1の冷却工程、第1の粉砕工程、粉砕・分級工程を行わなかったこと以外は実施例2と同様にして比較例1の封止用成形材料を得た。
[封止用成形材料中の凝集物及び/又はゲル状物質除去性評価]
実施例1、2及び比較例1で得られた封止用成形材料をそれぞれ150g秤量し、アセトン200ccに分散させ、30分間撹拌した。その後、公称目開き106μmの篩を用いてろ過し、大きさ106μmより大きい凝集物及びゲル状物質の残さの重量を測定し、封止用成形材料中に含まれる大きさ106μm超の凝集物及び/又はゲル状物質の含有率を算出し、下記判定基準により評価した。
A:10ppm以下
B:10ppm超、50ppm以下
C:50ppm超
前記封止用成形材料を用いて、チップ上樹脂厚さが100μmとなるように設定したFBGA(50mm×50mm×0.54mm)を、175℃で、2分間成形した後、成形品表面を目視観察し、下記判定基準により評価した。
A:突起の発生なし
C:突起の発生あり
Claims (3)
- 大きさ100μm超の凝集物及び/又はゲル状物質の含有率が50ppm以下である半導体封止用成形材料の製造方法であって、
エポキシ樹脂、硬化剤及び無機充填剤を含む原材料を混合する混合工程と、
前記混合工程で得られた混合物を混練して混練物とする混練工程と、
前記混練工程で得られた混練物を圧延ロールでシート状組成物に圧延する圧延工程と、
前記圧延工程で圧延したシート状組成物を冷却コンベアにて搬送しながら、気体中で冷却する冷却工程と、
前記冷却工程で冷却したシート状組成物を粉砕機にて粉砕する粉砕工程と、
を有し、
さらに粉砕対象物を粒度100μm以下に粉砕・分級する粉砕・分級工程を有し、
前記粉砕・分級工程において、粉砕対象物の粉砕と、粉砕した粉砕物の分級とを10℃以下の低温または冷凍雰囲気で同時に行うことを特徴とする半導体封止用成形材料の製造方法。 - 大きさ100μm超の凝集物及び/又はゲル状物質の含有率が50ppm以下である半導体封止用成形材料の製造方法であって、
エポキシ樹脂、硬化剤及び無機充填剤を含む原材料を混合する混合工程と、
前記混合工程で得られた混合物を混練して混練物とする混練工程と、
前記混練工程で得られた混練物を圧延ロールでシート状組成物に圧延する第1の圧延工程と、
前記第1の圧延工程で圧延したシート状組成物を冷却コンベアにて搬送しながら、気体中で冷却する第1の冷却工程と、
前記第1の冷却工程で冷却したシート状組成物を粉砕機にて粉砕する第1の粉砕工程と、
前記第1の粉砕工程で得られた粉砕物を粒度100μm以下に粉砕・分級する粉砕・分級工程と、
前記粉砕・分級工程で得られた粉砕物を圧延ロールでシート状に圧延する第2の圧延工程と、
前記第2の圧延工程で圧延したシート状組成物を冷却コンベアにて搬送しながら、気体中で冷却する第2の冷却工程と、
前記第2の冷却工程で冷却したシート状組成物を粉砕機にて粉砕する第2の粉砕工程と、を有する半導体封止用成形材料の製造方法。 - 前記粉砕・分級工程において、粉砕・分級を10℃以下の低温雰囲気で行う請求項2に記載の半導体封止用成形材料の製造方法。
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