JP7245296B2 - 半導体製造装置用部品の製造方法 - Google Patents
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A-1.静電チャック100の構成:
図1は、本実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、本実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
次に、本実施形態における静電チャック100の製造方法を説明する。図3は、本実施形態における静電チャック100の製造方法を示すフローチャートであり、図4は、HIP装置60の構成を概略的に示す説明図である。
はじめに、未焼成の板状のセラミックス成形体12を準備する(S110)。本実施形態では、セラミックス成形体12を、シート積層法またはプレス成形法を用いて作製することによって準備することができる。
次に、準備したセラミックス成形体12を窒素中で脱脂し、その後、加湿した水素窒素雰囲気中で、所定の焼成温度(例えば1500~1600(℃))で焼成する(S120)。この焼成により、セラミックス焼成体14が形成される。ここで、例えば焼成時の温度ムラ等の要因により、セラミックス焼成体14に反りが発生することがある。
次に、セラミックス焼成体14に対して、該セラミックス焼成体14の反りを修正するための反り修正を行う(S130)。具体的には、反り修正では、加湿した水素窒素雰囲気中で、セラミックス焼成体14の上面14Uおよび下面14Dの両面を一対の第2の加圧部材(図示せず)によって挟んで荷重(例えば5(kPa))を加えつつ、所定の処理温度(例えば1550(℃))で加熱する。第2の加圧部材は、セラミックス焼成体14の各表面全体を覆うサイズである。第2の加圧部材は、例えば、カーボン板等でもよいが、例えばタングステンやモリブデンなどによって形成された高融点金属板が好ましい。また、第2の加圧部材は、後述する第1の加圧部材70に比べて、比重が高く、耐熱性の高い材料により形成されている。なお、第2の加圧部材は、後述する第1の加圧部材70と同じ材料により形成されているとしてもよい。セラミックス焼成体14の上面14Uは、特許請求の範囲における第1の表面に相当し、下面14Dは、特許請求の範囲における第2の表面に相当する。
反り修正後のセラミックス焼成体14に対して、荷重HIP工程を行う(S140)。荷重HIP工程は、セラミックス焼成体14の上面14Uおよび下面14Dの少なくとも一方に対して第1の加圧部材70によって荷重を加えつつ、セラミックス焼成体14に対してHIPを行う工程(S140)である。
A-3-1.各評価について:
図5は、各種の製造方法の評価結果を示す説明図である。図5に示すように、本性能評価では、各工程の条件と反り修正の有無との組み合わせが互いに異なる複数の製造方法により製造された13種類のサンプルを用いた。図5中の各用語の意味は、次の通りである。
「HIP工程」:
上述した公知のHIP工程と、本実施形態における荷重HIP工程とが含まれる。
「密度(g/cm3)」:
各工程(焼成工程、HIP工程、反り修正工程)におけるセラミックス焼成体14の密度(g/cm3)の評価結果を意味する。この密度の評価では、セラミックス焼成体14から、内部電極40およびヒータ50等の導体を避けてセラミックス部分を切り出し、このセラミックス部分について公知のアルキメデス法を用いて密度を測定した。
「密度変化(%)」:
HIP工程の前後におけるセラミックス焼成体14の密度変化の評価結果を意味し、次の式で表すことができる。
密度変化(%)=((HIP後の密度-焼成工程後(HIP前)の密度)/焼成工程後の密度)×100
なお、反り修正される場合、焼成工程後の密度と反り修正後の密度とは略同一である。
この密度変化の評価では、同じ製造方法により2つのサンプルを作製し、一方のサンプルについてはHIP工程前に密度を測定し、他方のサンプルについてはHIP工程後の密度を測定し、2つのサンプルについて互いに同じ箇所の密度を比較して、密度変化を算出した。
「反り量(μm)」:
各工程後におけるセラミックス焼成体14の反り量の評価結果を意味する。この反り量の評価では、Nikon(登録商標)製の画像測定システム(NEXIV)を用いて、直径約300(mm)のセラミックス焼成体14の表面上における2500点の高さを測定し、反り量を測定した。
「クラックの発生頻度」:
HIP工程後におけるセラミックス焼成体14のクラックの発生頻度の評価結果を意味する。このクラックの発生頻度の評価では、同じ製造方法により複数のサンプルを作製し、外観検査および超音波探傷検査を用いて、セラミックス焼成体14におけるクラックの発生の有無と発生頻度とを評価した。
なお、焼成工程およびHIP工程における処理時間は、いずれも2時間である。
実施例1~6は、焼成工程およびHIP工程(荷重HIP)を行うが、反り修正を行わない点で共通し、各工程における条件の組み合わせが互いに異なる。なお、実施例1~6における第1の加圧部材70による荷重は、2(kPa)~10(kPa)である。実施例1~6について、密度の評価と反り量の評価との結果によれば、荷重HIP前では、セラミックス焼成体14の密度は3.80(g/cm3)~3.92(g/cm3)であり、反り量は250(μm)~320(μm)であったが、荷重HIP後では、密度は3.97(g/cm3)~3.98(g/cm3)に向上し、反り量は40(μm)~80(μm)に軽減された。これは、セラミックス焼成体14に対して、荷重HIPを行うことにより、セラミックス板10の緻密化と反り抑制との両立を図ることができることを意味する。ただし、クラックの発生頻度の評価によれば、密度変化が4.0%以下であった実施例1~3,5,6では、クラックの発生は検出されなかったが、密度変化が4.0%を超えた実施例4だけ、サンプル5につき1個の割合でクラックの発生が検出された。これは、密度変化が4.0%を超えると、荷重HIPにおいて、セラミックス焼成体14にクラックが発生する可能性が高くなることを意味する。
上述したように、本実施形態の静電チャック100の製造方法では、焼成後のセラミックス焼成体14に対して第1の加圧部材70による荷重を加えつつ、該セラミックス焼成体14に対してHIPを行う。これにより、従来の製造方法に比べて、HIPにおけるセラミックス焼成体14の反りが抑制される。また、HIP後に高温の反り修正を行う必要がないため、反り修正によるセラミックス焼成体14の密度の低下を抑制することができる。すなわち、本実施形態の製造方法によれば、セラミックス板10の緻密化と反り抑制との両立を図ることができる。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (7)
- 板状のセラミックス部材を備える半導体製造装置用部品の製造方法であって、
セラミックスにより形成された板状のセラミックス成形体を準備する準備工程と、
前記セラミックス成形体を焼成することによって板状のセラミックス焼成体を形成する焼成工程と、
前記セラミックス焼成体の第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面との少なくとも一方に対して第1の加圧部材によって荷重を加えつつ、前記セラミックス焼成体に対して熱間等方加圧を行うことによって前記セラミックス部材を形成する荷重HIP工程と、を含み、
前記荷重HIP工程における前記セラミックス焼成体の密度変化は、1.5%以下であり、かつ、
前記荷重HIP工程後の前記セラミックス焼成体の反り量が80μm以下となるように、前記荷重HIP工程において前記第1の加圧部材によって荷重を加えることを特徴とする、半導体製造装置用部品の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体製造装置用部品の製造方法において、さらに、
前記荷重HIP工程により形成された前記セラミックス部材とペース板とを接合層を介して接合する接合工程を含むことを特徴とする、半導体製造装置用部品の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体製造装置用部品の製造方法において、さらに、
前記荷重HIP工程を行う前に、前記セラミックス焼成体に対して、前記第1の加圧部材より重い第2の加圧部材によって荷重を加えつつ加熱する反り修正工程を含むことを特徴とする、半導体製造装置用部品の製造方法。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の半導体製造装置用部品の製造方法において、
前記第1の加圧部材における少なくとも前記セラミックス焼成体と対向する面の表面粗さは、前記セラミックス焼成体における少なくとも前記第1の加圧部材と対向する面の表面粗さより粗いことを特徴とする、半導体製造装置用部品の製造方法。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の半導体製造装置用部品の製造方法において、
前記焼成工程における焼成温度は、1550℃以上であることを特徴とする、半導体製造装置用部品の製造方法。 - 請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の半導体製造装置用部品の製造方法において、
前記荷重HIP工程前における前記セラミックス焼成体の反り量が100(μm)以上である場合、前記荷重HIP工程における前記第1の加圧部材による荷重を、2(kPa)以上とすることを特徴とする、半導体製造装置用部品の製造方法。 - 請求項1から請求項6までのいずれか一項に記載の半導体製造装置用部品の製造方法において、
前記荷重HIP工程前における前記セラミックス焼成体の反り量が100(μm)未満である場合、前記荷重HIP工程における前記第1の加圧部材による荷重を、0.5(kPa)以上とすることを特徴とする、半導体製造装置用部品の製造方法。
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WO2009128386A1 (ja) | 2008-04-18 | 2009-10-22 | 株式会社東芝 | 耐摩耗性部材、耐摩耗性機器および耐摩耗性部材の製造方法 |
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