JP7244568B2 - 基板処理装置及び液供給方法 - Google Patents
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Description
また、本発明の一実施形態によれば、液の圧力損失を最小にすることができる。
本発明の効果が上述した効果によって限定されることはなく、言及されなかった効果は本明細書及び添付された図面から本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に明確に理解されることができる。
380 ノズルユニット
400 液供給ユニット
410 液供給源
420 タンク
440 第1循環ライン
443 第1ヒーター
445 第1フィルター
460 第2循環ライン
470 加熱部
473 第2ヒーター
475 第2フィルター
480 アウトレットライン
490 回収ライン
Claims (13)
- 基板を処理する装置において、
内部に基板を処理する処理空間を有するハウジングと、
前記処理空間で前記基板を支持する支持ユニットと、
前記支持ユニットに置かれる前記基板に液を供給するノズルと、
前記ノズルに前記液を供給する液供給ユニットと、
前記液供給ユニットを制御する制御器と、を含み、
前記液供給ユニットは、
前記液を貯蔵する内部空間を有するタンクと、
前記内部空間に格納された液を循環させ、第1ヒーターが設置される第1循環ラインと、
前記第1循環ラインから分岐されて前記ノズルに前記液を供給するアウトレットラインと、
を含み、
前記アウトレットラインは、
前記ノズルに隣接するように提供され、第2ヒーターが設置される加熱部を含み、
前記加熱部は、
前記液が流れる配管と、
前記配管を囲むように提供され、内部に加熱液が流れるチューブと、を含み、
前記第2ヒーターは、前記加熱液を加熱するように提供され、
前記配管は、
前記加熱部の一側端に提供される第1側部と前記加熱部の他側端に提供される第2側部そして前記第1側部と前記第2側部を連結する複数の連結管を含み、
前記連結管の直径は、前記第1側部及び前記第2側部の直径より小さく提供され、
前記制御器は、
前記第1ヒーターが前記液を前記液内部にパーティクルが溶出されない第1温度まで加熱するように前記第1ヒーターを制御し、かつ
前記第2ヒーターが前記液を前記液が基板を処理する第2温度に加熱するように前記第2ヒーターを制御し、
前記第2温度は、前記第1温度と異なるように提供される、
基板処理装置。 - 前記第1循環ラインは、
前記第1ヒーターの下流に前記第1ヒーターと隣接するように提供される第1フィルターが設置される請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記第2温度は、前記第1温度より高く提供される請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記加熱部は、
前記第2ヒーターの下流に第2ヒーターと隣接するように提供される第2フィルターが設置される請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記第2ヒーターは、前記加熱液を第3温度に加熱し、
前記第3温度は、前記第2温度より高く提供される請求項1に記載の基板処理装置。 - 基板を処理する装置において、
内部に基板を処理する処理空間を有するハウジングと、
前記処理空間で前記基板を支持する支持ユニットと、
前記支持ユニットに置かれる前記基板に液を供給するノズルと、
前記ノズルに前記液を供給する液供給ユニットと、
前記液供給ユニットを制御する制御器と、を含み、
前記液供給ユニットは、
前記液を貯蔵する内部空間を有するタンクと、
前記内部空間に貯蔵された液を循環させ、第1ヒーターが設置される第1循環ラインと、
前記第1循環ラインから分岐されて前記ノズルに前記液を供給するアウトレットラインと、を含み、
前記アウトレットラインは、
前記ノズルに隣接するように提供され、第2ヒーターが設置される加熱部を含み、
前記加熱部は、
前記液が流れる配管と、
前記配管を囲むように提供され、内部に加熱液が流れるチューブと、を含み、
前記第2ヒーターは、前記加熱液を加熱するように提供され、
前記配管は、
前記加熱部の一側端に提供される第1側部と前記加熱部の他側端に提供される第2側部そして前記第1側部と前記第2側部を連結する複数の連結管を含み、
前記連結管の直径は、前記第1側部及び前記第2側部の直径より小さく提供され、
前記制御器は、
前記第1ヒーターが前記液を第1温度まで加熱し、前記第2ヒーターが前記液を第2温度まで加熱するように前記第1ヒーターと前記第2ヒーターを制御し、
前記第2温度は、前記第1温度より高く提供される基板処理装置。 - 前記第1温度は、常温乃至70°Cである請求項6に記載の基板処理装置。
- 前記第2温度は、70°C乃至90°Cである請求項6に記載の基板処理装置。
- 前記アウトレットラインは、
前記第1ヒーターの下流に前記第1ヒーターと隣接するように提供される第1フィルターが設置される請求項6に記載の基板処理装置。 - 前記加熱部は、
前記第2ヒーターの下流に前記第2ヒーターと隣接するように提供される第2フィルターが設置される請求項6に記載の基板処理装置。 - 前記第2ヒーターは、前記加熱液を第3温度に加熱し、
前記第3温度は、前記第2温度より高く提供される請求項6に記載の基板処理装置。 - 前記液は、IPAである請求項6乃至請求項11のいずれかの一項に記載の基板処理装置。
- 液を供給する方法において、
液をノズルに供給する前に前記液を第1温度に循環させる循環段階と、
前記循環段階の後に前記液を前記ノズルに供給する供給段階と、を含み、
前記循環段階で前記液は、前記液内部にパーティクルが溶出されない第1温度まで加熱され、
前記供給段階で前記液は、第2温度に加熱され、
前記第2温度は、前記第1温度より高く提供され、
前記第2温度は、前記液で基板を処理する工程温度であり、
前記液は、IPAである、
液供給方法。
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Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220085582A (ko) * | 2020-12-15 | 2022-06-22 | 세메스 주식회사 | 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치 |
US11940734B2 (en) * | 2022-04-21 | 2024-03-26 | Semes Co., Ltd. | Apparatus and method for treating substrate |
JP2024042242A (ja) * | 2022-09-15 | 2024-03-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、および、フィルタの気泡除去方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008171956A (ja) | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Tokyo Electron Ltd | 半導体装置の製造方法、半導体製造装置及び記憶媒体 |
JP2012153934A (ja) | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Tokyo Electron Ltd | めっき処理装置、めっき処理方法および記録媒体 |
JP2012204746A (ja) | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2013007099A (ja) | 2011-06-24 | 2013-01-10 | Tokyo Electron Ltd | めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 |
JP2014082513A (ja) | 2012-02-27 | 2014-05-08 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置及び液処理方法 |
JP2017175166A (ja) | 2017-06-23 | 2017-09-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2020047857A (ja) | 2018-09-20 | 2020-03-26 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW402737B (en) * | 1997-05-27 | 2000-08-21 | Tokyo Electron Ltd | Cleaning/drying device and method |
JP2002110617A (ja) | 2000-10-02 | 2002-04-12 | Mitsubishi Electric Corp | ポリマー除去装置およびこれを用いたポリマー除去方法 |
KR101049441B1 (ko) * | 2008-02-28 | 2011-07-15 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
JP5235734B2 (ja) | 2009-03-12 | 2013-07-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄方法 |
JP2010265501A (ja) | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Sharp Corp | Cvd装置 |
KR101022783B1 (ko) * | 2009-12-11 | 2011-03-17 | 세메스 주식회사 | 기판 건조 방법 |
KR20110071616A (ko) * | 2009-12-21 | 2011-06-29 | 삼성전자주식회사 | 열교환기, 용접부재와 공기조화기 |
JP5829444B2 (ja) | 2011-07-08 | 2015-12-09 | 株式会社Screenホールディングス | リン酸再生方法、リン酸再生装置および基板処理システム |
CN102330126B (zh) * | 2011-09-13 | 2013-10-16 | 南京航空航天大学 | 多元喷射电沉积加工多层膜的方法及装置 |
US20140290698A1 (en) * | 2013-03-29 | 2014-10-02 | Semes Co., Ltd. | Chemical supplying unit, substrate treatment apparatus, and method of treating substrate using the substrate treatment appparatus |
JP6022431B2 (ja) * | 2013-10-17 | 2016-11-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置及び基板液処理方法 |
KR101696194B1 (ko) * | 2014-05-29 | 2017-01-17 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
JPWO2016001973A1 (ja) * | 2014-06-30 | 2017-04-27 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット供給装置、ターゲット物質の精製方法、ターゲット物質の精製プログラム、ターゲット物質の精製プログラムを記録した記録媒体、および、ターゲット生成器 |
KR101671118B1 (ko) * | 2014-07-29 | 2016-10-31 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
JP6587865B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2019-10-09 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP6499414B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2019-04-10 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
KR101880232B1 (ko) * | 2015-07-13 | 2018-07-19 | 주식회사 제우스 | 기판 액처리 장치 및 방법 |
JP6900274B2 (ja) | 2017-08-16 | 2021-07-07 | 株式会社Screenホールディングス | 薬液供給装置、基板処理装置、薬液供給方法、および基板処理方法 |
KR20190019229A (ko) * | 2017-08-16 | 2019-02-27 | 세메스 주식회사 | 세정액 공급 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 세정액 공급 방법 |
JP6979852B2 (ja) | 2017-10-26 | 2021-12-15 | 株式会社Screenホールディングス | 処理液供給装置、基板処理装置、および処理液供給方法 |
JP6632684B2 (ja) * | 2018-10-19 | 2020-01-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
KR102586053B1 (ko) * | 2020-07-08 | 2023-10-10 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
KR102585284B1 (ko) * | 2020-12-28 | 2023-10-05 | 세메스 주식회사 | 액 공급 유닛 및 액 공급 방법 |
-
2020
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-
2021
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008171956A (ja) | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Tokyo Electron Ltd | 半導体装置の製造方法、半導体製造装置及び記憶媒体 |
JP2012153934A (ja) | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Tokyo Electron Ltd | めっき処理装置、めっき処理方法および記録媒体 |
JP2012204746A (ja) | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2013007099A (ja) | 2011-06-24 | 2013-01-10 | Tokyo Electron Ltd | めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 |
JP2014082513A (ja) | 2012-02-27 | 2014-05-08 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置及び液処理方法 |
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