JP7242377B2 - パッケージ基板の加工方法 - Google Patents
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切削ブレード :レジン砥石
切削ブレードサイズ :直径58mm、厚み0.3mm
スピンドル回転数 :35,000rpm
切削送り速度 :27mm/秒
切削ブレード :レジン砥石
切削ブレードサイズ :直径58mm、厚み0.3mm
スピンドル回転数 :35,000rpm
切り込み深さ :0.99mm
切削送り速度 :60mm/秒
10a:電極基板側
10b:モールド樹脂側
12:放熱板
14:連結電極
14a:凹み部
14b:バリ
16:外周領域
18:切削予定ライン
20:電極基板
22:モールド樹脂
24:デバイスチップ
26:パッケージチップ
30:切削手段
36:切削ブレード
36a:先端部
40:高圧水噴射手段
42:高圧水噴射ノズル
100、110:切削溝
Claims (2)
- 隣接するデバイスチップに対応して連結し中央に凹み部を有する連結電極を備えた電極基板に複数のデバイスチップが配設され、該電極基板のデバイスチップが配設された側であって該複数のデバイスチップが配設されたデバイス領域に対応する領域がモールド樹脂で覆われ、該電極基板の該モールド樹脂で覆われた領域を囲繞する外周領域において電極基板が露出したパッケージ基板をデバイスチップ毎のパッケージチップに分割するパッケージ基板の加工方法であって、
パッケージ基板のモールド樹脂側をチャックテーブルに保持して電極基板側を露出させ、該電極基板側から連結電極の中央を切削ブレードで切断して個々のデバイスチップに対応して該連結電極を2等分する切削溝を形成する連結電極2等分工程と、
高圧水を電極基板側から噴射して該切削溝から切削屑を除去する切削屑除去工程と、
該電極基板側に保護部材を配設する保護部材配設工程と、
該保護部材側をチャックテーブルに保持しモールド樹脂側を露出させ、該電極基板側に形成された該切削溝に対応する位置にモールド樹脂側から切削ブレードを位置付けると共に、該切削ブレードの先端部を、該連結電極の凹み部に至り該保護部材には至らない深さに位置づけて切削してデバイスチップ毎のパッケージチップに分割する分割工程と、
から少なくとも構成されるパッケージ基板の加工方法。 - 該分割工程において、該電極基板の外周領域に形成された該切削溝を基準にして該切削ブレードを切削位置に位置付ける請求項1に記載のパッケージ基板の加工方法。
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JP2019062293A JP7242377B2 (ja) | 2019-03-28 | 2019-03-28 | パッケージ基板の加工方法 |
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JP2020161757A JP2020161757A (ja) | 2020-10-01 |
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---|---|---|---|---|
JP2005039088A (ja) | 2003-07-16 | 2005-02-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 切削方法、切削装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2010225648A (ja) | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Casio Computer Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2015177061A (ja) | 2014-03-14 | 2015-10-05 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2018186133A (ja) | 2017-04-24 | 2018-11-22 | 株式会社ディスコ | ウォータージェット加工装置 |
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2019
- 2019-03-28 JP JP2019062293A patent/JP7242377B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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