JP7242363B2 - 研磨ブラシ及び研磨加工物の製造方法 - Google Patents
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Description
〔1〕
支持部と、
該支持部上に形成された複数の突起部群と、を有し、
前記突起部群間の最小間隔L2が、前記突起部群を構成する突起部の高さHに対して、0.8~3倍である、
研磨ブラシ。
〔2〕
前記突起部間の最大間隔L1が、前記突起部群を構成する突起部の高さHに対して0.2~0.9倍である、
〔1〕に記載の研磨ブラシ。
〔3〕
前記突起部群間の最小間隔L2が、前記突起部間の最大間隔L1に対して、2~6倍である、
〔1〕又は〔2〕に記載の研磨ブラシ。
〔4〕
前記突起部の高さHが2mm~6mmである、
〔1〕~〔3〕のいずれか一項に記載の研磨ブラシ。
〔5〕
前記突起部の幅Rが0.5mm~5.5mmである、
〔1〕~〔4〕のいずれか一項に記載の研磨ブラシ。
〔6〕
前記突起部群が形成されていない部分が格子状パターンとなるように、複数の前記突起部群が形成される、
〔1〕~〔5〕のいずれか一項に記載の研磨ブラシ。
〔7〕
前記突起部の先端が、角錐台形状を有する、
〔1〕~〔6〕のいずれか一項に記載の研磨ブラシ。
〔8〕
前記支持部と前記突起部とが、樹脂含浸不織布により一体形成されたものである、
〔1〕~〔7〕のいずれか一項に記載の研磨ブラシ。
〔9〕
〔1〕~〔8〕のいずれか一項に記載の研磨ブラシを用いて、被研磨物を研磨する研磨工程を有する、
研磨加工物の製造方法。
本実施形態の研磨ブラシは、支持部と、該支持部上に形成された複数の突起部群と、を有し、前記突起部群間の最小間隔L2が、前記突起部群を構成する突起部の高さHに対して、0.8~3倍である。
本実施形態の研磨ブラシの製造方法は、特に制限されないが、例えば、樹脂含浸不織布を切削等することにより所定形状の研磨ブラシを形成する方法、板状等の所定の形状を有する樹脂硬化物を切削等することにより所定形状の研磨ブラシを形成する方法、樹脂組成物を研磨ブラシの形状に成形する方法が挙げられる。
本実施形態の研磨加工物の製造方法は、上記研磨ブラシを用いて、被研磨物を研磨する研磨工程を有する。
エステル系ポリウレタン樹脂22質量部と、溶媒としてN,N-ジメチルホルムアミド78質量部とを含む樹脂溶液を調製した。次に、上記樹脂溶液に繊維基材を浸漬した後、1対のローラ間を加圧可能なマングルローラを用いて樹脂溶液を絞り落として、繊維基材に樹脂溶液を略均一に含浸させた。次いで、室温の水およびからなる凝固液中に繊維基材を浸漬することにより、ポリエステル系ポリウレタン樹脂を凝固再生させて研磨ブラシ前駆体シートを得た。
最小間隔L2を6mmにすること以外は、実施例1と同様にして、研磨ブラシを得た。
実施例1において、スライス後の研磨ブラシ基材の厚みを6mmのものを用い、突起部の高さHを5mmにすること以外は、実施例1と同様にして、研磨ブラシを得た。
最小間隔L2を2mmにすること以外は、実施例1と同様にして、研磨ブラシを得た。
最小間隔L2を10mmにすること以外は、実施例1と同様にして、研磨ブラシを得た。
実施例1において、スライス後の研磨ブラシ基材の厚みを8mmのものを用い、突起部の高さHを7mmにすること以外は、実施例1と同様にして、研磨ブラシを得た。
実施例2において、スライス後の研磨ブラシ基材の厚みを2.5mmのものを用い、突起部の高さHを1.5mm、にすること以外は、実施例2と同様にして、研磨ブラシを得た。
ショッパー型厚さ測定器(加圧面:直径1cmの円形)を用いて、日本工業規格(JIS L 1021)に準拠して、研磨パッドの圧縮率を測定した。具体的には、初荷重で30秒間加圧した後の厚さt0を測定し、次に最終荷重のもとで5分間放置後の厚さt1を測定した。全ての荷重を除き、1分間放置後、再び初荷重で30秒間加圧した後の厚さt0'を測定した。このとき、初荷重は100g/cm2、最終荷重は1120g/cm2であった。圧縮率は、下記数式(1)で算出した。
数式(1):圧縮率(%)=(t0-t1)/t0×100
上記のようにして得られた研磨ブラシの研磨面と反対面側に両面テープを貼付し厚さ3mmのスポンジを接着し更に片面研磨機の研磨定盤に研磨ブラシを両面テープを用いて固定した。下記条件にて研磨試験を行い、研磨レート、未研磨部について評価を行った。なお、被研磨物としては、図7に示す形状を有するガラス基板を用い、4枚のガラス基板に対して研磨を行った。ガラス基板は、ガラス材から削り出されたものであり、研磨前の表面には、研削痕が無数に存在し磨りガラス用となっていた。
(研磨条件)
・使用研磨機:不二越機械工業(株)製、「型番:MCP-150X」
・定盤回転数:60rpm
・加工応力 :200g/cm2
・研磨剤 :酸化セリウムスラリー10%水分散液
・研磨時間 :20分/バッチ
研磨終了後の被研磨物Wの表面(凸部側面、凸部上面、及び平面部)を目視判定し、磨りガラス様部分が残存しているか否かを確認した。磨りガラス様部分が残存していない場合には、所定時間内に十分な研磨レートで鏡面研磨が達成され、未研磨部分も生じないものと判定し、「○」と評価した。未研磨部分はないが、縁ダレが大きいものを「△」とした。また、磨りガラス様部分が残存している場合には、研磨レートが不十分であり、未研磨部分も研磨不十分と判定し、「×」と評価した。
Claims (8)
- 支持部と、
該支持部上に形成された複数の突起部群と、を有し、
前記突起部群間の最小間隔L2が、前記突起部群を構成する突起部の高さHに対して、0.8~3倍であり、
前記突起部群間の最小間隔L2が、前記突起部間の最大間隔L1に対して、2~6倍である、
研磨ブラシ。 - 前記突起部間の最大間隔L1が、前記突起部群を構成する突起部の高さHに対して0.2~0.9倍である、
請求項1に記載の研磨ブラシ。 - 前記突起部の高さHが2mm~6mmである、
請求項1又は2に記載の研磨ブラシ。 - 前記突起部の幅Rが0.5mm~5.5mmである、
請求項1~3のいずれか一項に記載の研磨ブラシ。 - 前記突起部群が形成されていない部分が格子状パターンとなるように、複数の前記突起部群が形成される、
請求項1~4のいずれか一項に記載の研磨ブラシ。 - 前記突起部の先端が、角錐台形状を有する、
請求項1~5のいずれか一項に記載の研磨ブラシ。 - 前記支持部と前記突起部とが、樹脂含浸不織布により一体形成されたものである、
請求項1~6のいずれか一項に記載の研磨ブラシ。 - 請求項1~7のいずれか一項に記載の研磨ブラシを用いて、被研磨物を研磨する研磨工程を有する、
研磨加工物の製造方法。
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